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各種シリコンデバイスの界面の各部寸法を鮮明な画像で計測する赤外線反射顕微鏡システム
『IR1300RL』は、顕微鏡本体にオリンパス製BX53を使用した 赤外線顕微鏡です。 高解像度赤外線CMOSカメラとイメージエンハンサソフトにより、 各種シリコンデバイスの界面の各部寸法を鮮明な画像で計測できます。 また、独自のイメージエンハンサソフトにより、張り合わせウエハーの アライメントマークずれ計測が可能です。 【特長】 ■各種シリコンデバイスの界面の各部寸法を鮮明な画像で計測 ■顕微鏡本体にBX53オリンパス製を使用 ■X軸、Y軸、Z軸は手動動作タイプ ■アライメントマークずれ計測が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
傷や異物の寸法計測も可能！シリコンチップの内部観察に適しています！
高解像度赤外線ＣＭＯＳカメラとエンハンサソフトウェアにより各種 シリコンデバイスの界面検査を鮮明な画像で表示する赤外線透過顕微鏡システムです！！ ～特徴～ ●反射/透過照明での不鮮明画像をエンハンサソフトで鮮明な画像を入手。 ●デバイス界面のボイド・傷・異物の欠陥画像観察、保存が可能。 ●画面上での寸法計測、面積計測が可能。 ※詳細はカタログをダウンロードして下さい。
VCSELの酸化部の観測、計測に特化した赤外線顕微鏡です。
高解像度赤外線ＣＭＯＳカメラとリアルタイムエンハンスソフトウェアによりVCSELの酸化部を鮮明な画像で表示する赤外線透過顕微鏡システムです！！ ～特徴～ ●反射/透過照明での不鮮明画像をリアルタイムエンハスサソフトで鮮明な画像に改善表示します。 ●VCSELの酸化部や境界部の画像観察、保存が可能。 ●画面上での寸法計測、面積計測が可能。 ●反射照明光の波長を変化させることが可能。
手動動作タイプ！各種シリコンデバイスの界面の各部寸法を鮮明な画像で計測可能
『IR1300mea』は、高解像度赤外線CMOSカメラとイメージ エンハンサソフトにより各種シリコンデバイス界面の各部寸法を鮮明な 画像で計測することができる赤外線透過反射顕微鏡システムです。 フォーカス軸は長ストロークになっていますので高さのある冶具に 搭載したままウエハーの検査、計測が可能です。 【特長】 ■X軸、Y軸、Z軸にリニアスケールを搭載しているため視野外の精密な 計測が可能 ■X軸、Y軸、Z軸は手動動作タイプ ■電動ステージ、電動フォーカスの搭載も可能（オプション） ■フォーカス軸を長ストロークに設定できますので冶具に搭載したまま ウエハーの検査計測ができる（長ストローク45mmまで） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ズーム比12(0.83x～10x)！3種類の対物レンズをご用意しております
『TAZ10-IR』は、AZ10 ズームマイクロスコープに赤外線対応型の レンズを搭載した赤外線顕微鏡です。 化合物材料に被われた試料の内部やシリコン基板の内部、 ワイヤボンディング接着面など、可視光では観察することができない 試料の観察やアライメントに好適です。 【特長】 ■15倍・30倍・50倍の対物レンズを用意 ■手動(TAZ10-IRT)・電動(TAZ10-IRE)の2種類から選択可能 ■対応波長域 650nm～1200nm(赤外・一部可視)＝近赤外線用マイクロスコープ ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
