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株式会社ダイヘン

設立1919年12月1日
資本金1059600万
従業員数3800名
住所大阪府大阪市淀川区田川2丁目1番11号
電話06-6301-1212
  • 公式サイト
最終更新日:2023/02/22
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ダイヘンの製品・サービス一覧

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自律分散協調型EMS「Synergy Link」

脱炭素社会の実現の切り札! 脱炭素化の効果を最大化する制御アルゴリズム Synergy Link(シナジーリンク)

「太陽光発電を導入したけど、効果がイマイチ」 「営業車にEVを導入したけど逆に電気料金が高騰してしまった」  こういったお悩みを抱えていませんか?  再生可能エネルギー発電やEVを運用する際に重要なのは、各機器や車両自体の性能だけではありません。発電能力を最大化したりEV充電を最適化したりするエネルギーマネジメントシステム(EMS)が、脱炭素化の効果を最大化するには必要不可欠なのです。  従来のEMSは大きなサーバーのような中央監視制御型で、各機器の情報や指令などの情報を一括管理し制御します。そのため、導入にかかるコストはもちろん、機器の増設や入替の都度システム改修を余儀なくされ、手間とコストがかかります。  一方、ダイヘンのEMS「Synergy Link」はダイヘンが提供するパワーコンディショナなどの太陽光発電関連機器、蓄電池システム、EV充電システムなどの製品に手のひらサイズの「モジュール」(小さな頭脳)を標準搭載しており、各機器が自律的に出力値や充電量などを制御し常に最適な状態に導きます。 ダイヘンは、様々な脱炭素化の取り組みにワンストップで対応します。ぜひ、お問い合わせください!

  • 機械・設備据付/解体/移設

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簡単!電気基本料金低減につながる「ピークカット」とは?

経営の助け舟!?電気基本料金を低減する「ピークカット」について解説します!

経営上の大きな課題であるコストのひとつ、電気料金。その低減に効果的な手法の一つとして、「ピークカット」があります。 ダイヘンには容易にピークカットを実現する、他に類を見ない独自のエネルギーマネジメントシステムがあります。 本資料(PDF)では、ピークカットとは何なのか、同じような手法である「ピークシフト」との違い、導入による具体的なメリット等についてわかりやすく解説します。 ---目次--------------------------------------------------------------------------------------------- 1.ピークカットとは? 2.ピークシフトとの違い 3.ピークカット導入メリット

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簡単!「受変電設備」とは?

高圧電気を実際に使用できる電気に変換!「受変電設備」について解説します!

発電所で作られた高圧の電気は、電柱に設置される変圧器を通して家庭でも使える100Vや200Vの電圧に変換されます。しかし、ビルや工場等、一度に多くの電気を使う施設では、変換せずに高い電圧のまま電気を受け取り、施設内で電圧を変換する必要があるため「受変電設備」が必要になります。  ダイヘンは使用環境に応じた様々な受変電設備を提供しています。 本資料(PDF)では、受変電設備とは何なのか、その役割・構成についてわかりやすく解説します。 ---目次--------------------------------------------------------------------------------------------- 1.受変電設備の役割とは? 2.受変電設備の構成とは? 3.電圧の種別

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簡単!受電設備「キュービクル」とは?

屋上にある大きなロッカー!?受電設備「キュービクル」について解説します!

ビルの駐車場や屋上には、「変電設備」と書かれた大きいロッカーのような箱がよく設置されています。この箱は「キュービクル」と言い、電圧を変換する機器を収めるためのものです。  ダイヘンでは、キュービクルに内蔵する製品を数多く開発しています。 本資料(PDF)では、キュービクルとは何なのか、役割や導入のメリット・注意点等についてわかりやすく解説します。 ---目次--------------------------------------------------------------------------------------------- 1.キュービクルって何? 2.キュービクルの構成について 3.キュービクルを導入するメリットと注意点

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簡単!太陽光発電に必須の「パワーコンディショナ」とは?

太陽光発電の必須アイテム! 「パワーコンディショナ」の役割・機能を解説します!

脱炭素化の推進を受けて、導入機運が高まる太陽光発電。太陽光で発電した電気は、そのままでは使えません。“使える”電気にするには、「パワーコンディショナ(PCS)」が必要不可欠なのです。  ダイヘンでは、太陽光発電に関する製品を数多く提供しています。 本資料(PDF)では、パワーコンディショナとは何なのか、役割・機能についてわかりやすく解説します。 ---目次--------------------------------------------------------------------------------------------- 1.太陽光発電に必要不可欠!パワーコンディショナの役割とは? 2.パワーコンディショナの機能とは?電力変換以外にも重要な機能がたくさん

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簡単!「パワーコンディショナの出力制御」とは?

せっかく太陽光で発電した電気を抑制!? パワーコンディショナの出力制御について解説します!

パワーコンディショナ(PCS)における出力制御とは、電力出力(供給)の一時的な停止、もしくは抑制を行うことを意味します。 太陽光発電でたくさんの電気が発電できる時に、なぜ電力の出力を抑制しなければならないのでしょうか?  ダイヘンは太陽光発電に関する製品を数多く提供しています。 本資料(PDF)では、パワーコンディショナの出力制御やその仕組みの概要についてわかりやすく解説します。 ---目次--------------------------------------------------------------------------------------------- 1.出力制御とは? 2.出力制御が必要になった背景 3.出力制御ルールの変更 4.パワーコンディショナにおける出力制御とは

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簡単!「パワーコンディショナのメンテナンス」について

太陽光の発電量を最大化!? 「パワーコンディショナ(PCS)のメンテナンス」について解説します!

太陽光で発電した電力を、家庭やビルでも使用できる“交流電力”に変換するパワーコンディショナ。安定的に、発電機会の損失を抑えて運用するためには、定期的なメンテナンスを行うことが重要です。  ダイヘンは太陽光発電に関する製品を数多く提供しています。 本資料(PDF)では、パワーコンディショナのメンテナンス方法・頻度等についてわかりやすく解説します。 ---目次--------------------------------------------------------------------------------------------- 1. パワーコンディショナには計画的なメンテナンスが必要 2. パワーコンディショナの日常点検 3. パワーコンディショナの定期点検 4. パワーコンディショナのメンテナンス頻度

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簡単!仮想発電所「バーチャルパワープラント(VPP)」とは?

地域に点在する再エネ等を「一つの発電所」のように制御! 「バーチャルパワープラント(VPP)」について簡単に解説します!

 地域に点在している太陽光発電などの再生可能エネルギーや蓄電池、電気自動車(EV)のエネルギーリソースを、IoT技術※を使って制御し、あたかも「一つの発電所」のように機能させることを「バーチャルパワープラント(VPP:Virtual Power Plant)/仮想発電所」といいます。 ダイヘンは、経済産業省資源エネルギー庁の補助事業の「バーチャルパワープラント(VPP)構築実証事業」にリソースアグリケータ―として参画しています。 本資料(PDF)では、VPPとは何なのか、その役割や求められる背景・ビジネスとしての活用例等についてわかりやすく解説します。 ---目次--------------------------------------------------------------------------------------------- 1.バーチャルパワープラント(VPP)とは? 2.バーチャルパワープラント(VPP)が推進されている背景

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簡単!電気設備管理者必読「変圧器のメンテナンス」について

変圧器の長期間・安定的な運用にはこれが重要! 「変圧器のメンテナンス」について解説します!

発電所で作られた高圧の電気を、家庭やビルでも使える電気に変換するための変圧器。 一般的に変圧器の寿命は20~30年程度といわれていますが、長期間・安定的に運用するためには、計画的に正しいメンテナンスを行うことが大切です。  ダイヘンは、1919年に「大阪変圧器」として創業、現在に至るまでニーズに応える数多くの変圧器を開発してきました。 本資料(PDF)では、変圧器の運用において重要となる「変圧器メンテナンス」についてわかりやすく解説します。 ---目次--------------------------------------------------------------------------------------------- 1.変圧器には計画的なメンテナンスが大切 2.変圧器の日常点検 3.変圧器の定期点検

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自家消費型太陽光発電向け『自家消費パッケージ』

太陽光発電・蓄電池・EV充電システム等をパッケージ化! 太陽光発電電力を最大活用しCO2排出量・電気料金を最小化!

■パッケージ化により太陽光で発電した電力を最大活用! 太陽光発電を導入しても、蓄電池を使用しないことによる余剰電力(ムダ)の発生やEVの充電集中に伴う電力ピークの発生などによりCO2削減量が想定よりも伸びないことが多々あります。自家消費パッケージは、独自の制御技術「Synergy Link」を標準搭載した太陽光発電機器・蓄電池・EV充電システム等を組み合わせパッケージ化。太陽光発電電力のフル活用が可能となりCO2削減量を最大50%アップ※します。 ※一般的な使用条件でEMS非搭載と比較 ■お客様の施設状況やご要望に応じた最適な提案が可能! 自家消費パッケージの導入にあたり、太陽光発電が可能な電力量、休日に発生する余剰電力を有効活用できる蓄電池容量等が試算できる独自の事前シミュレーションを実施。お客様の施設状況やご要望に応じた最適な機器の提案が可能です。 ■自家消費型太陽光発電の導入・機器の増設が容易! パッケージで導入することにより個別の機器選定や複雑な設計が不要になるとともに、機器の増設・入替が容易で、システム改修にかかるコストを低減。将来的な脱炭素の取り組み拡大にも柔軟に対応可能です。

  • その他エネルギー機器

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EV用普通充電器(6kW)

独自のエネルギーマネジメント機能により大幅なコストダウンが可能! 急速充電器や太陽光発電設備等との連携も柔軟に対応

<特徴> ■当社独自の自律分散協調制御技術「Synergy Link」標準搭載 ➀各充電器の充電電力を充電器ごとに自動調整(1.2kW~6kW)。 複数台のEVを充電する場合でも上限設定した電力値を超えることはなく、自動・効率的なEV充電・初期投資額抑制・電気料金節約につながります。 複数台の充電器を接続しても受電設備の容量やEVの使用状況に応じて自動で出力を制御するため、大幅なコストダウンに寄与します。また、機器毎の優先順位付けも可能。 ➁充電器・再エネ設備・蓄電池設備等の増設やシステム拡張も簡単・低コストに実現。 ■設置が容易!  ➀取付ブラケットによる壁掛け設置 ➁専用スタンド(オプション)   の2種類から簡単に設置が可能です 詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • 充電器

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EV用急速充電器(30/50kW)

2プラグ式の充電予約機能により充電待ちを解消! 遠隔からの状態監視・制御が可能となるOCPPプロトコルに対応

■充電待ちによる渋滞を解消! 2プラグ方式の充電予約機能搭載により、他の車が充電中でも2つめのプラグを挿入すると予約待機の状態となり、自動で待機車両へ切替え充電を開始できます。 ■操作が簡単! タッチパネルで簡単に操作可能で、充電状態もカラーでわかりやすく表示されます。 ■EV急速充電規格「CHAdeMO」準拠!  CHAadMO規格に準拠しており、各社電気自動車の充電に対応可能です。 ■国内初のOCPPプロトコル対応!  急速充電器を管理する国際標準通信プロトコルに対応。遠隔でのON/OFF制御や課金管理、充電器の保守・運用などが容易に実現できます。 ■独自の制御技術「Synergy Link」標準搭載。容易にEMSが構築可能 充電器の増加や入替はもちろん、再エネ設備や蓄電池設備など脱炭素化を推進するための機器の増設などが簡単・低コストに実現できます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • 充電器

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非常用電源システム『V2Xシステム』

非常時にEVバッテリーや蓄電池から施設へ長時間安定した電力を供給 BCP対策・災害に強い街づくりに貢献する非常用電源システム

■非常時に長時間の電力安定供給が可能! 急速充電器と蓄電池設備を一体化することで、災害等による停電時に施設へ長時間安定した電力を供給することが可能。電力不足時はEVを「動く蓄電池」として入替運用すれば、半永久的な電源確保も実現します。もちろん、平常時は急速充電ステーションとして使用可能です。 ■大電力が必要な業務用設備(三相負荷)への電力供給が可能!(業界初) 照明・コンセント等の単相負荷だけでなく、業務用エアコン・エレベーター・給水ポンプ等にも電力供給ができ、避難所での静かで快適な環境構築にも貢献します。 ■電力ピーク抑制機能により電気基本料金の大幅な削減に貢献 標準搭載の自律分散型エネルギーマネジメントシステム「Synergy Link」により自動で施設内の電力需要を平準化。電力ピークの発生を抑制し、電気基本料金の大幅な低減に寄与します。また、太陽光発電設備と併設すれば更なる電気料金削減とCO2削減の効果が得られます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい

  • その他FA機器

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自家消費型太陽光発電向け『リユースバッテリーパッケージ』

EVの使用済みバッテリーを産業用蓄電池として再利用! 自家消費型太陽光発電向け「リユースバッテリーパッケージ」

■使用済みEVバッテリー再利用によるコスト低減  新品バッテリーを使用した産業用蓄電池と比較し導入コストを約30%低減します。また、使用済みバッテリーの特性を活かした冷却機器のファンへの変更が可能となり、ランニングコストが90%低減できます。  なお、信頼性・耐久性に優れたフォーアールエナジー社提供の日産「リーフ」の使用済みバッテリーを使用しており、自家消費用の産業用蓄電池として十分な性能を満たしています。 ■環境配慮に大きく寄与 使用済みバッテリーを使用するため、新品バッテリー製造時に発生するCO2排出がなくなり脱炭素化に貢献します。また、レアメタルの資源再利用により資源枯渇問題にも寄与します。(お客様のScope3「カテゴリ1」に該当)独自の制御技術「Synergy Link」により既存設備や他の太陽光発電設備との連携、システム拡張も簡単・低コストに実現します。 ※施設環境やご要望に合わせて新品orリユースのご提案が可能です。

  • 蓄電装置

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太陽光・風力発電用『大容量蓄電池システム』

太陽光・風力で発電された再生可能エネルギー無駄なく活用! あまった電気を貯めて必要なときに使える大容量蓄電池システム

■あまった電気を貯めて有効活用!  太陽光・風力などの自然エネルギーに頼る発電は、日照や風況などの影響を受けやすいため、活発な発電が行われた際の電気を貯めて使用するのが有効です。工場等では消費電力が少ない休日に貯めて平日にシフトすることで更に無駄なく活用できます。大規模再エネ発電所においては、系統連系時の出力変動補償としても活躍します。 ■「非常用電源」として災害(BCP)対策としても利用可能! 近年増加している台風や地震等の災害対策として、停電発生時に太陽光発電と蓄電池システムを「非常用電源」として活用し、さまざまな重要負荷(電気設備など)に供給できます。 ■系統用蓄電池としての活用が可能!  再エネの拡大に伴い「需給調整力」の強化が課題となっており、国は大容量蓄電池の設置を強力に支援する方針を打ち出しています。ダイヘンは最適な充放電制御を可能とする独自技術「Synergy Link」を武器に蓄電池所への系統用蓄電池設置提案を推進しています。

  • 蓄電装置

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太陽光発電変電設備パッケージ『DISOLA PACK NEO』

業界トップクラスの変換効率! 大幅な省スペース・スリム化を実現した太陽光発電変電設備パッケージ

■システムトータルで業界トップクラスの高効率を実現! 業界最高クラスの変換効率「エアコン・レスパワコン」と「ソーラートランス」を組み合わせてシステムを構成。太陽光発電電力を無駄なく変換し、売電収入アップに貢献します。 ■大幅な省スペース・スリム化を実現!  省スペース・スリム化(従来製品と比べ、設置面積53%・質量34%低減)、また専用ベースを採用することにより、裾付・配線工事の簡略化を実現。最短半日での設置が可能です。 ■遠隔にてシステムの監視・発電電力の出力制御が可能!  「DISOLA Cloud」搭載により、遠隔で、システム全体はもちろん個別機器においても発電電力量・異常状態等の情報を常時監視可能。また、あらかじめ日程・時間ごとに複数の運転パターンを設定して発電電力の出力制御・調整等を行うことが可能なため、日々の環境変化に沿った最適なシステム運用を実現します。

  • その他エネルギー機器

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太陽光特高変電パッケージ『特高DISOLA PACK NEO』

業界トップクラスの変換効率! 業界最小スペース化を実現した太陽光発電特高変電設備パッケージ

■システムトータルで業界トップクラスの高効率を実現! 業界最高クラスの変換効率「エアコン・レスパワコン」と「ソーラートランス」を組み合わせてシステムを構成。太陽光発電電力を無駄なく変換し、売電収入アップに貢献します。 ■大幅な省スペース・スリム化を実現!  パッケージ化することによりシステム設計の簡略化・業界最小スペース化(従来製品と比べ設置面積50%減)を実現。また専用ベースを採用することにより、裾付・配線工事の簡略化を実現しました。 ■遠隔での発電電力の出力制御が可能!  「DISOLA Cloud」搭載により、遠隔で、システム全体はもちろん個別機器においても発電電力量・異常状態等の情報を常時監視可能。また、あらかじめ日程・時間ごとに複数の運転パターンを設定して発電電力の出力制御・調整等を行うことが可能なため、日々の環境変化に沿った最適なシステム運用を実現します。

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自家消費型太陽光発電向け変電設備『低圧 D-FIT』

集電盤と変圧器の一体化により大幅なコンパクト化を実現! 工期短縮と工事費用低減を両立する自家消費型太陽光発電向け変電設備

■大幅なコンパクト化を実現!設置場所の確保が容易に  自家消費型太陽光発電の導入には、複数のパワーコンディショナを接続する集電盤と発電した電力を受電設備へ接続するための変圧器が必要で、それぞれの設置場所の確保が課題でした。本製品は集電盤と変圧器を一体化し従来比30%のコンパクト化を実現。お客様の導入促進に貢献します。 ■パッケージ化により初期費用が削減! 現地での組立作業が不要になるとともに基礎工事コストも低減。また、変圧器と集電盤間の配線が不要となるため、配線コストの低減も実現しました。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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受変電設備『特高変電パッケージ』

特高変圧器と特高盤の一体化により占有面積を従来比70%低減! 大幅なコスト削減と据付期間短縮を両立するパッケージ型受変電設備

■特高変電所の占有面積を大幅削減! 大規模な再エネ発電で設置される特高変電所は、場所の確保が困難で、通常、山間部など限られたエリアに設置されます。本製品は、機器の一体化により特高変電所の占有面積を従来比70%低減、設置場所の確保とコスト低減に貢献します。空いたスペースは、駐車場など他の用途にも利用できます。 ■一括輸送&ワンストップ対応によりコスト低減と工事期間短縮を実現! 機器を一体化しコンパクト化を図ったことにより、トレーラーによる一括輸送が可能です。設置にかかる輸送費や工事費などのコストを大幅に削減するとともに、据付にかかる工事期間の短縮も実現します。さらに当社は、基礎工事から機器の据付、鉄塔設置にいたるすべての工事をワンストップで対応可能です。 ■ガス絶縁開閉装置(GIS)直結型への対応が可能!  77(66)kV側の端末は気中ブッシング以外にも、GISとの直結対応が可能です(基礎面積70%削減)。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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油入トップランナー変圧器

電力損失の大幅な低減によりトップランナーの省エネ基準をクリア! 耐震・コンパクト・静かさを兼ね備えた民需用油入変圧器

主に工場・ビル・商業施設等で広く活用される民需向けの油入変圧器 です。 <特徴> ■省エネルギー性能の向上  鉄心にハイグレードな低損失磁性材料「珪素鋼板」を全面採用し、コイル導体断面積を増加させることで、大幅な低損失化を実現しました。 全損失 低減量(当社従来製品比較)   TOP ECO2シリーズ:約47%低減 ULTRA ECOシリーズ:約57%低減  ※三相 1000kVA 6kV/210V 50Hz 負荷率50%の場合 ■耐震性能の強化 変圧器本体と盤筐体(ばんきょうたい)との相対変位量を抑制する変位抑制座の装備により、地震発生時における変圧器端子部の地絡・短絡事故を防止。減震装置の設置により耐震性能のさらなる強化を実現します。 ■コンパクトな設計   ■騒音レベルの低減

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トップランナーモールド変圧器

電力損失の大幅な低減によりトップランナーの省エネ基準をクリア! 耐震・コンパクト・静かさを兼ね備える民需用モールド変圧器

主に工場・ビル・商業施設等で広く活用される民需向けのモールド変圧器です。 <特徴> ■省エネルギー性能の向上  鉄心にハイグレードな低損失磁性材料「珪素鋼板」を全面採用し、コイル導体断面積を増加させることで、大幅な低損失化を実現しました。 全損失 低減量(当社従来製品比較)   TOP ECO2シリーズ:約41%低減 ULTRA ECOシリーズ:約50%低減  ※三相 1000kVA 6kV/210V 50Hz 負荷率50%の場合 ■耐震性能の強化 変圧器本体と盤筐体(ばんきょうたい)との相対変位量を抑制する変位抑制座の装備により、地震発生時における変圧器端子部の地絡・短絡事故を防止。減震装置の設置により耐震性能のさらなる強化を実現します。 ■コンパクトな設計   ■騒音レベルの低減

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ソーラートランスシリーズ

系統電圧低下を抑制する「瞬時電圧低下対策機能」搭載! 太陽光発電設備全体の省スペース化・低コスト化・工期短縮を実現

■変圧器本体での瞬時電圧低下対策によるコストダウンが可能 太陽光発電設備から送配電網に接続する「系統連系」時に考慮が必要な「瞬時電圧低下対策(瞬低)」。その原因となる「励磁突入電流」の変圧器本体での抑制が可能なため、励磁突入電流抑制用機器の設置が不要となりコストが削減できます。 ■太陽光発電設備全体の省スペース化と配線の省略化を両立!  昇圧変圧器2台・補機トランス1台等、複数の変圧器を1台に集約することが可能なため、太陽光発電設備全体の省スペース化と配線の省略化を実現します。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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植物油対応 特別高圧変圧器

植物油を使用した環境配慮型の特別高圧変圧器! 純国産生産により、安定供給・迅速なメンテナンス対応が可能!

■環境配慮・脱炭素化への貢献 ・菜種油、パームヤシ油のいずれにも対応し、変圧器のご利用シーンに合わせた選択が可能 ・植物の生育、油の精製、廃棄に至るライフサイクル全体のCO₂排出量を大幅に削減 (菜種油と鉱物油の比較で、排出量を約1/6に低減) ・災害時に万が一漏油した場合でも、植物油の高い生分解性により生態系への影響が非常に少なく、環境負荷(土壌汚染)を最小限に抑制 ■安定した製品供給と迅速なメンテナンス対応 それぞれの植物油に対応した『負荷時タップ切換器』を新開発。これにより、当社は国内で唯一、純国産の植物油対応特別高圧変圧器の提供が可能に。安定した製品供給と迅速なメンテナンス対応を実現します。

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移動用変圧器

停電時・変圧器の故障時の迅速な復旧、変圧器取替時の仮設利用に最適! 軽量化・コンパクト化を実現した移動できる変圧器

停電時、発電所・変電所における変圧器故障時の迅速な復旧、変圧器取替時の仮設を目的とした移動用変圧器。 ■軽量・コンパクト アルミ製のタンク、主回路引出にT形油中終端接続部やポリマーブッシングを採用し軽量化を実現。タンク形状はコイルに沿った円形とし、省スペース化を実現しています。 ■低重心 コイルの高さを極限まで低くし、低重心化を図ることで、変圧器積載状態での車両性能を向上しています。 ■低騒音 磁区制御鉄心を採用。Vノッチステップラップ積とすることで低騒音化を実現しています。 ■マルチ系統対応 無電圧タップ切換器を採用。1台で複数の系統電圧に対応するマルチタイプを提供しています。

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真空環境用ウエハ搬送ロボット『UT-VFX3000NMシリーズ』

【~300mmウエハ用】 アーム長、Z軸の有無の選択が可能なシングルアーム真空ロボット

■2種類のアーム長に標準対応。 Z軸の有無も選択可能のため、さまざまな装置レイアウトに対応。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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真空環境用ウエハ搬送ロボット『UTVW-R2800H』

【~300mmウエハ用】旋回軸にダイレクトドライブモータを採用! 高精度な動作が可能な真空用ウエハ搬送ロボット

■Z軸が標準搭載されているダブルアームタイプの真空用ウエハ搬送ロボット ■θ軸にダイレクトドライブモータを採用し、ウエハを低振動で搬送することで スループット向上に貢献 ■CVD装置、アニール装置など、高温プロセス装置に対応 ■可搬重量2kgのため、重量物搬送にも対応 ■ウエハセンター位置ずれ補正機能付き ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。

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真空環境用ウエハ搬送ロボット『UT-VFX4000NM』

【~300mmウエハ用】高可搬型シングルアーム真空ロボット!

■マスク、サセプタ、トレイ等の重量物を搬送可能な高可搬型シングルアーム真空ロボット ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。

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真空環境用ウエハ搬送ロボット『UT-VDX3000NSシリーズ』

【~300mmウエハ用】ダイレクトドライブモータを搭載! 振動の大幅な低減を実現した高精度シングルアーム真空ロボット

■ダイレクトドライブモータ搭載並びにアーム内スチールベルト採用により、 超高精度な搬送とアーム動作時の大幅な振動低減を実現。 ■隔壁型真空シールの採用により、超高真空環境下にも対応可能 ■旋回軸エンドレス仕様により、装置スループットの改善を実現 ■コントローラ内蔵により、装置の小型化を実現 ■ウエハセンター位置ずれ補正機能付き ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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真空環境用ウエハ搬送ロボット『UT-VDW3000HSシリーズ』

【~300mmウエハ用】世界最速級の真空内高速搬送! 装置スループットの大幅な向上を実現、高速・低振動ダブルアーム真空ロボット

■世界最速級(650WPH)の真空内高速搬送を実現 ■ダイレクトドライブモータ搭載により、アーム動作時の振動を大幅に低減 ■アーム部にスチールベルトを採用し、軌跡精度と位置決め精度を向上 ■ハンド部に高摩擦パッドを採用し、ウエハ搬送ずれを防止 ■ウエハセンター位置ずれ補正機能付き ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。

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大気環境用ウエハ搬送ロボット『UTX/W-RF5501RW』

【~300mmウエハ用】水分を扱うプロセスでの使用が可能! 保護等級IP64を実現した防滴モデルのウエハ搬送ロボット

■保護等級IP64を実現。水分を扱うプロセスでの使用が可能な防滴モデル。 ■特殊な薬液に対応した表面コーティングにも対応可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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大気環境用ウエハ搬送ロボット『UTW-REH5500』

【~300mmウエハ用】450WPHの高速搬送! 装置のスループット向上に貢献するウエハ搬送ロボット

■ハイスピードモデルのウエハ搬送ロボット 450WPHの高速搬送で装置のスループット向上に貢献します。 半導体用クリーンロボット「ACTRANSシリーズ」は、技術に裏打ちされた 高い性能とグローバルネットワークによる優れたサポートでお客様の 半導体製造における様々なソリューションを提供して参ります。

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大気環境用ウエハ搬送ロボット『UTM-R3700F』

【~300mmウエハ用】走行軸無しで広範囲へ動作! さまざまな装置レイアウトに対応するウエハ搬送ロボット

■走行軸無しで広範囲へ動作するウエハ搬送ロボット ■横方向2.7m・高さ方向1.6mの広範囲にアクセスするため、 さまざまな装置レイアウトに対応 ■ロボット1台で4FOUPにアクセス。最大8FOUPにアクセス可能。 ■ダブルアーム機構により、ウエハ同時入替動作が可能で省スペース化と スループット向上が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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大気環境用ウエハ搬送ロボット『UT-AFX/W4000NM』

【~300mmウエハ用】高可搬搬送・広範囲動作が可能! 高速電力線通信技術により、ロボット本体内配線数・外配ケーブル本数を削減

■高速電力線通信技術利用により、ロボット本体内配線数・外配ケーブル本数を大幅に削減。 ■サーボアンプをロボットに内蔵したことで、コントローラを小型化。 ■高可搬搬送(ハンドフォルダ・ハンド・搬送ワークの総質量4kg)が可能なため、 反転軸搭載を実現。テープフレーム付きウェハ搬送、貼り合わせウェハ搬送、 レチクル搬送が可能。 ■ワーク把持は、真空吸着方式・圧空を使用したエッジクランプ方式・ベルヌーイ方式の 3種に対応可能。 ■ベルヌーイハンドは、TAIKOウェハ外周裏面部の接触把持に対応予定。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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大気環境用ウエハ搬送ロボット『UT-AFX/W3000NM』

【~300mmウエハ用】ロボット本体内・外配ケーブルを大幅に削減! 電力線通信技術を搭載したウエハ搬送ロボット

■高速電力線通信技術を利用した配線設計により、従来機に比べ ロボット本体内・外配ケーブルを大幅に削減し、ケーブル断線リスクが低減。 ■在荷センサ・マッピングセンサ・スライド軸等、多彩なオプションをラインアップ。 ■サーボアンプをロボットに内蔵したことで、コントローラを小型化。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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大気環境用アライナ『OFH-4100シリーズ』

【50~300mmウエハ用】 業界最短アライメント時間を達成する吸着保持式アライナ

■上位コマンドにより、複数サイズのウエハアライメントが可能 ■オリフラ部及びノッチ部を指定位置に停止可能(ウエハID読取り利用) ■石英ウエハにも対応可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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大気環境用アライナ『EG-303 シリーズ』

【300mmウエハ用】ウエハ裏面に接触しないエッジグリップタイプのアライナ

■3本爪可動によるエッジグリップ方式で高精度なセンタリング ■オプションのバッファポートにより、アライメント中のロボット待ち時間を最小化 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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