詳細はお問い合わせください。 【お問い合わせ先】 株式会社日立ハイテクノロジーズ 社会イノベーション第一営業本部 産業インフラソリューション部 TEL 03-3504-5541 受付時間 9:00～17:30 土日・祝日を除く

【仕様（抜粋）】 ■基板種類 ・各種基板（ガラス、ウェハー、フィルム等） ■基板幅 ・ガラス～3,000mm ・フィルム～1,000mm ■基板厚み ・ガラス～300μm ・フィルム15～300μm ■仮乾燥・仮硬化 ・装置内加温/冷却機構（オプション対応） ■基板搬送 ・フィルム：RtoR、ガラス等：ロボット等（オプション対応） ■検査リペア ・光学検査＆スポット塗布（オプション対応） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【仕様（抜粋）】 ■基板幅：～2300mm ■基板厚み：15～200μm ■塗工幅：～2200mm ■塗工範囲(Wet厚)：2～1000μm ■粘度範囲：1～40000cps ■塗工速度：1～50m/min ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。