産業用機械

株式会社日立ハイテク

住所東京都港区虎ノ門一丁目17番1号 虎ノ門ヒルズ ビジネスタワー
電話03-3504-7111
最終更新日：
株式会社日立ハイテクロゴ

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真空プラズマデスミア装置 真空プラズマデスミア装置
イオンミリング装置 イオンミリング装置
　┗バッチ式 　┗バッチ式
　┗インライン式 　┗インライン式
　┗ロール to ロール式 　┗ロール to ロール式
大気圧プラズマ処理装置 大気圧プラズマ処理装置
　┗ダイレクト式 　┗ダイレクト式
　┗リモート式 　┗リモート式
　┗Arc Jet式 　┗Arc Jet式
Roll to Roll　コーター Roll to Roll　コーター
産業インフラ関連 産業インフラ関連
　┗インライン式

　┗インライン式

デスミア装置（インライン式）のご紹介です。

【プラズマ処理装置】表面処理、スミア除去をご提案

【その他の特長（抜粋）】 ＜バッチ式デスミア装置＞ ■独自の電極構造 ・高密度プラズマ（ICP）により残渣を高効率除去 ・両面処理が可能 ■優れた均一性を実現 ・装置前後から反応ガスを出入れし、基板前後のエッチング差を抑制 ・電極部冷却機構により基板温度を制御・上昇を抑制 ■対応基板サイズ（一例） ・510mm×610mm×14パネル、28パネル ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

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