【その他の掲載内容】 ■VGXオペレーション（1）～（8） ■VGX-systemの特長 ■FOUP内の酸素濃度 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 真空機器

【仕様】 ■SVA-25（標準） ・オリフィス：Φ1 ～Φ1×12 ・使用圧力範囲：大気圧～10 E-2 Pa ・材質：PEEK（弁体）、アルミ（ケース本体、アルマイト処理） ・重量：約50g ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他機械要素

【その他の記載内容】 ■真空EFEMのオペレーション プロセス完了 ■真空EFEMのオペレーション ポートチャンバーN2ベント ■真空EFEMのオペレーション FOUPのアンロード ■真空EFEMとプロセス装置 ■真空EFEMの特長 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 真空機器
• その他

【その他の特長】 ■8インチ以下のカセットもウェーハも保管可能 ■予備ポートは内面にもPTネジ ■チャンバー側にヒーターノズルやフィルターを付けることが可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 真空機器

【導入の効果】 ■真空サーバですべてのロードロックチャンバの真空排気が可能となる ■ポンプ台数が減る ■ポンプ消費電力の低減 ■真空サーバのドライポンプは負荷の少ない圧力領域でフル稼働 ■大規模化、高真空化にも展開できる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 換気・排気
• 真空機器
• 真空ポンプ

【概略仕様】 ○型式：EVS-25 ○リザーバ容積（３台）：各500L ○リザーバ寸法：約φ600 * 1800H ○リザーバ材質：樹脂 ○対象チャンバ容積（推奨）：100L以下 ○バルブユニット：KF25 真空バルブ ○コントロールボックス：PLC＋圧力計 ○到達可能圧力：約1kPa（7.6Torr）（リザーバの圧力が十分低い場合） ○排気時間：約10秒（スロー排気を行わない場合） 　※大容積のリザーバおよびリザーバ材質の変更もお見積りいたします ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

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