当資料は、有限会社ベックが取り扱う、FOUP用真空ガス置換 システム『VGX-system』のご紹介資料です。 現在のパージシステムの概要をはじめ、方法や問題点、VGXの 概要、多数のVGXオペレーションなどを掲載。 是非、ダウンロードしてご覧ください。 【掲載内容】 ■現在のパージシステム ■現在の方法（1） ■現在の方法（2） ■現在のパージシステムの問題点 ■VGXの概要 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 真空機器

当社が取り扱う『SVA-25』をご紹介いたします。 スローベントからベントへ、圧力（差）に応じてオリフィスがスムーズに 変わります。シール部はNW25センターリングと寸法互換、センターリングと 入れ換えるだけです。 また、シンプルな構造、制御不要なのでローコストです。 【特長】 ■スローベントからベントへ ■オリフィスがスムーズに変わる ■シール部はNW25センターリングと寸法互換 ■シンプルな構造 ■制御不要なのでローコスト ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他機械要素

当資料は、有限会社ベックが取り扱う『真空EFEM』の資料です。 真空ロードポートVLPの構成をはじめ、真空EFEMの構成や多数の 真空EFEMのオペレーション、真空EFEMとプロセス装置を掲載。 また、カラーで図を用いて分かりやすく説明しています。 是非、ダウンロードしてご一読ください。 【掲載内容】 ■真空ロードポートVLP (Vacuum Load Port)の構成 ■真空EFEMの構成 ■真空EFEMのオペレーション FOUPのローディング ■真空EFEMのオペレーション ポートチャンバーとFOUPの真空排気 ■真空EFEMのオペレーション ウェーハ搬送（ロード/アンロード） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 真空機器
• その他

『FVD-BU』は、ウェーハをFOUP・FOSB（パージポート付）に入れたまま真空保管、 脱ガス、乾燥、ガス置換など多目的に使える真空デシケーターです。 ウェーハはFOUPの気密性に影響されず、長期間保管可能。チャンバーはFOUPの 大きさに合わせたコンパクトなサイズ。 また、FOUPなどの出し入れに便利なダンパーヒンジ付きで開閉がスムーズです。 この他に、電動タイプの「FVD-DT」も取り扱っております。 【特長】 ■300mmウェーハのFOUP、FOSB用 ■脱ガス、乾燥、ガス置換など多目的に使える ■長期間保管可能 ■チャンバーはコンパクトなサイズ ■上蓋開閉式(ダンパーヒンジ付き) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 真空機器

当資料は、ベックが取り扱う、真空集中排気システム『VIE-system』の ご紹介資料です。 現在の排気システムの問題点をはじめ、真空集中排気システムの紹介や VIE-system導入の効果などを掲載しています。 是非、ダウンロードしてご覧ください。 【掲載内容】 ■ロードロック室 現在の排気システム ■ロードロック室 現在の排気システム（例） ■ロードロック室 真空集中排気システム ■VIE-system 導入の効果 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 換気・排気
• 真空機器
• 真空ポンプ

『エコバックシステム』は、真空ポンプのアイドリング中に複数のリザーバを排気する超高速排気システムです。 ポンプのアイドリング中の電気を有効に活用することができます。 大気圧⇒1kPa(7.6Torr)まで10秒以内、ポンプを追加することなく装置にアドオン／複数の装置で共用可能です。 真空ポンプを大容量のポンプにしなくても、粗引き時間が短縮、あるいは、同じ粗引き時間ならポンプを小型化することができます。 【特徴】 ○ポンプは大気圧から排気しないので、ポンプ負荷が軽減される ○ポンプ寿命やメンテナンス間隔が延びる ○水蒸気を含む気体の排気ができる ○ロータリーポンプの場合、オイルミストが激減する ○複数の装置でリザーバを共用することができる 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• 真空機器