ゲミュージャパンの製品・サービス一覧

超純水（UPW）は,半導体や太陽電池用ウェハーの製造工程で多く使用されます。 ウェハー表面に付着した研磨剤は洗浄工程で除去され,最終工程で超純水によって再度洗浄されます。 その後のエッチング工程で発生した残留物を除去するためにも超純水による洗浄が必要となります。 このような製造工程中のウェハー表面を清浄に保つことが,発電効率を最大限に発揮することにつながります。 当社では,超純水の処理・ 供給設備およびプロセス設備での使用に特化して開発した,ダイアフラムバルブをご用意しております。

• 純水製造装置

ピュアスチームとは滅菌用蒸気を表し,ウルトラピュアスチームとは製薬産業用のピュアスチームを表します。 555型は高い無菌性が要求される蒸気の制御に特化したバルブです。スピンドルはベローズでシールされているため,外部からのコンタミネーションの心配がありません。 サニタリー性に加えて,アングルシートバルブならではのコンパクトで大流量,高耐久性,良好な制御性も兼ね備えています。

• バルブ

Ｙ型のアングルシート形状のため圧力損失が少なく, コンパクトながら高い流量能力を持ちます。 シート部はPTFEまたはPFAで高いシール性を持ちます。（DIN EN12266-1 Leakage rate A） ボディ内面研磨加工も対応可能です。

• その他 工場設備・部品

【GEMÜ製（GEMU）空気操作式ステンレスフィリングバルブの特徴】 ●10点式目盛により精密に開度の調節が可能 ⇒ドーシング（計量）・フィリング（充填）に特化 ●操作空気使用量が少ない ⇒迅速な作動が可能で、工程の省時間化を実現 ●製薬，食品，バイオテクノロジー関係の無菌プロセスに対応 ⇒CIP/SIP可能 ●半導体，マイクロエレクトロニクス，ファインケミカル分野でも超高純度流体のハンドリング対応 ●多彩なバルブボディ・ダイアフラム ⇒各種材質・仕様に変更可能 ●GEMÜ独自のガスケットシステム ⇒流路における液溜まりを最大限削減し、腐食の発生を排除。 ●ダイアフラムの開発と製造のエキスパート ⇒粒子を含む流体でも、高いシール性を実現 ●狭い場所にも設置可能なコンパクト設計 ●各種接続規格に対応可能 ●オプションでATEX防爆仕様対応

• バルブ

【GEMÜ製（GEMU）２段階駆動ダイアフラムバルブの特徴】 ●コントロールヘッドの調節ねじにより全閉・全開のほか中間開度（制限流量）を設定 ⇒バルブ2つを用いた充填装置を、1つのバルブで置き換え可能！ ●製薬，食品，バイオテクノロジー関係の無菌プロセスに対応 ⇒CIP/SIP可能 ●半導体，マイクロエレクトロニクス，ファインケミカル分野でも超高純度流体のハンドリング対応 ●多彩なバルブボディ・ダイアフラム ⇒各種材質・仕様に変更可能 ●GEMÜ独自のガスケットシステム ⇒流路における液溜まりを最大限削減し、腐食の発生を排除。 ●ダイアフラムの開発と製造のエキスパート ⇒粒子を含む流体でも、高いシール性を実現 ●各種接続規格に対応可能 ●オプションでATEX防爆仕様対応

• バルブ

650TL型セーフサンプリングバルブは,サンプリングポイントやユースポイントで使用されます。手動弁ですが操作空気が供給されているときのみバルブの開閉が可能で,操作空気が供給されていない間バルブは閉じます。 エア切替えにより遠隔からハンドルロックをかけることができるため,各現場におけるサンプリングのタイミングを中央管理システムでコントロールすることができます。

• バルブ

注射用水（WFI）の製造は,要求される蒸留水の量・温度に応じて多重効用缶式,熱圧縮式の蒸留器を使用します。 「熱圧縮式」は,発生した蒸気をヒートポンプにより加圧し,温度を100℃から140℃に高め,供給水の加熱に利用します。 当社では,超純水の処理・ 供給設備およびプロセス設備での使用に特化して開発した,ダイアフラムバルブをご用意しております。

• その他水処理装置

「高度精製水（HPW）」は,一般的に製造の最終段階において,粒子や細菌,パイロゲンなどを除去し,限外ろ過装置を設け,精製水の品質を維持します。 「精製水（PW）」は,膜分離法とイオン交換法を組み合わせて製造されますが,電気再生式純水装置（EDI）ではこの両方を組み合わせて製造します。 当社では,超純水の処理・ 供給設備およびプロセス設備での使用に特化して開発した,ダイアフラムバルブをご用意しております。

• その他水処理装置