ゲミュージャパンの製品・サービス一覧

多様なバルブ、機器類を一体化して製作するゲミュー社オリジナルのカスタマイズ集積バルブを使用することで、 「配管内デッドスペースの削減」「複雑な配管を簡素化」「継手数削減による漏れリスクの最小化」「製造組立工数の削減」が期待でき、製造プロセスの生産性アップに大幅に貢献できます。 半導体/化学/医薬業界など高純度薬液や純水を使用する業界で長年の実績がございます。 【ゲミュー社カスタマイズバルブの特徴】 ■　フィルター、流量/温度/圧力センサーや逆止弁などを組合わせてユニット化することが可能 ■　CMPスラリーなど粘性が高く複雑な組成の流体に適した流路で設計が可能 ■　プロセスに合わせてPTFE,PVDF,PP,PVC,SUSなど様々な材質に対応 ■　他社で廃盤となってしまったバルブの同等仕様、寸法で特殊品が製作可能

半導体製造プロセスやケミカル工場では引火性の高い溶剤を使用したり、静電気が発生して漏洩につながる事例が発生しています。そこで誘電性のある帯電防止PTFEを使用したバルブのご提案が可能です。2方弁、3方弁、マルチポートなどオーダーメイドで1ロット方ご対応可能です。ぜひお気軽にお問い合わせください。

高精度ステッピングモーターを搭載したフッ素樹脂製電動コントロールバルブです。 DC24C(供給電源) + 4-20mA(アナログ信号)でバルブの開度を自在にコントロールして、流量制御/背圧制御が可能です。流路がスムーズである為、CMPスラリーなどの複雑な組成の流体にも好適です。 1l/min未満の小流量制御にも対応しています。標準で5タイプのイコールパーセント制御・リニア制御を選択いただけます。また特殊仕様でオーダーメイドの制御範囲も作成が可能です。

半導体製造装置・半導体工場サブファブ・半導体向け化学工場の薬液配管向けのフッ素樹脂製ダイアフラムバルブです。 特に世界中の半導体工場サブファブ(薬液供給・CMP供給)で活躍しております。 【製品特徴】 コンパクト 耐久性…500万回以上の開閉に耐えられます。 流れやすい…特徴的な流路でスムーズな流れを実現します。デッドスペース最小 堅牢な構造…PVDF製のアクチュエーターを採用。耐薬品性も高いです。 安全設計…補助スプリングを採用で、長期間使用による樹脂の変形でもしっかりとシール性を実現します。 最高使用温度200℃の仕様でも製作できます。標準で開度調整、ポジションインジケーターを搭載しています。 ブロックバルブとしても使用でき、完全オーダーメイドでロット数1から販売可能です。(※画像参照) ぜひお気軽にお声掛けください。

半導体製造装置・薬液供給装置・化学工場のフッ素樹脂製バルブです。CMPスラリー等粘性薬液に最適な抵抗の少ない流路構造のダイアフラムバルブです。抵抗の少ない構造である為、サイズによっては他社比較2倍以上の流量能力がございます。また,液溜まりの少ないボディ形状によりコンタミネーションのリスクが抑えられております。装置内をコンパクトに設計できるようT弁、3方弁タイプなども標準で用意をしています。

半導体製造装置や薬液配管の流体の逆流を防ぐ逆止弁（チャックバルブ）です。スプリングなどの接液部は全てPTFE製で、低いクラッキング圧力で作動します。Oリングなしでシールが可能で、高純度流体に最適です。

C30型は,高品質のテフロンコーティングステンレス製ゲージを装備しています。 主に半導体およびマイクロエレクトロニクス産業向けのメタルフリー構造です。 接液部は全てPTFEまたはPFA製であるため,浸食性・腐食性流体,高純度の流体に好適です。 3層ダイアフラム構造により,プロセス流体とセンサー部を確実に隔離しているため,長期にわたり安定した計測を保証します。

C31型は,圧力媒体により動作する高品質の圧力トランスミッターです。 主に半導体およびマイクロエレクトロニクス産業向けのメタルフリー構造です。 接液部は全てPTFEまたはPFA製であるため,浸食性・腐食性流体,高純度の流体に最適です。 3層ダイアフラム構造により,プロセス流体とセンサー部を確実に隔離しているため,長期にわたり安定した計測を保証します。

C38型は液体用の非接触式超音波流量計です。 計測管内に可動部品や障害物がないため圧力損失がほとんどなく洗浄も容易です。 接液部はすべてPFA 製,電子回路部はポリプロピレンによって完全に覆われているため,耐食性に優れています。浸食性・腐食性流体や,高純度の液体に最適です。 •計測頻度が250回/秒のため,脈動する流体に最適 •分析機能を備えた豊富なPC ソフトウェア •計測値の誤差は±0.5％ •デジタル入力,出力をそれぞれ個別に設定 •アナログ出力ケーブルを標準装備 •プロセスパラメータは任意にプログラミング可能

半導体製造工程、化学工場の薬液供給アプリケーションなどで使用可能なPFA製フレア継手、チューブです。 PFAチューブの母材はDUPON 450HPを使用しているSEMI F57の準拠した半導体グレードの製品です。 継手類はフレア継手とJISねじ込みの変換継手やレデューサーなど1,000種類以上のバリエーションを用意しております。 カスタマイズでご要望に応じた設計の継手も製作をすることが可能です。

GEMÜ製（GEMU）のマルチポートブロックバルブは、完全オーダーメイドでお客様の仕様に合わせて1点ずつ設計・製作いたします。 マニフォールドを用いた省スペース設計で,接続箇所が少ないため漏れのリスクも最小限になります。 ★マルチポートブロックバルブのメリット 1. デッドレグが0のため,液溜まりの心配がありません 2. バルブの配管スペースが50%以上小さくなります 3. 配管の手間と,部材コストを削減できます

ノンメタリックオールフッ素樹脂で覆った圧力計が新登場しました。外部から薬液が触れても壊れにくく、接液部もすべてフッ素樹脂でつくられています。圧力計故障によるシステムトラブルをなくし、生産の安定化、生産ストップによる生産損失を防ぎます。また外部からの薬液により故障を繰り返していた圧力計製品の取り換えにより、交換頻度が減ります。内部のセンサーはPTFEで覆われており接液しません。流路はまっすぐの設計を採用しており、圧力計の設置による圧損、粘性の高い流体を流しても流れやすく正確な計測が可能です。(継手接続タイプもございます。) 2025年時点では計測範囲は0～6barですが、今後は他のレンジにも対応予定です。弊社ブロックバルブソリューションに組み合わせ可能でよりコンパクトなシステムソリューションの提案が可能です。

GEMÜはより半導体工場・半導体向け化学薬品プラントの装置、設備の小フットプリント化をサポートします。 GEMÜ iComLine P35は業界最高クラスの小型化を実現しました。 バルブの小型化により、 フットプリント最小化による半導体生産性の向上 装置内、設備内メンテナンス性の向上 メンテナンス時間の短縮 使用材料の低減によるコストメリット を実現しました。 小型化になってもバルブとしての耐圧、流量は高スペックです! また、このバルブのマウンティング(壁などの取り付け)はきれいにバルブを横に配列ができように設計されています。なのでよりすっきりとした配管設計を助けます。 ブロックバルブにも搭載することで、最適な配管で小型化をより向上させます。 半導体生産の"時は金なり"を実現する新しいバルブです!

GEMÜ iComLine C58は供給源から2つの出口間の切り替えを行う超高純度3/2ウェイプロセスバルブです。また逆流方向での作動も可能です。操作は空気操作式になります。 このバルブを使用していただくことで、 ・これまで分岐の際に使用していたバルブ。接手を最小限に抑えこれ一台で切替ができる。 ・装置のコンパクト化 を実現できます！ また ・ポジションインジケーターを搭載しており、目視での開閉確認。 ・漏れが発生した際のリークポートの搭載 ・様々な耐久テストのクリア をしていますので、安全性も抜群、故障の検知も用意です。 高純度PTFEを使用しており半導体製造装置や半導体製造にかかわる薬液供給装置にて活躍いたします。

CMPスラリーの供給において、供給ループ内の流れの乱れはスラリーの凝集を引き起こす可能性があります。CMPスラリー内の粒子が均一に分散されるようにするために、CMPツールフィルターは上流側に接続されており、粗い粒子を除去します。GEMÜバルブブロックの流量最適化設計により、媒体の凝集が比較的少なくなります。これにより、フィルターの寿命が延び、交換間隔が長くなり、コスト削減につながります。 GEMÜ PC50 iComLineマルチポートバルブブロックの適合製品群 POU（Point of Use）ボックスの利点は、そのコンパクトさであり、システムの中間階層に組み込むことができます。これによりクリーンルーム内の空間を節約できます。さらに、ブロックの流量最適化設計により媒体の凝集を防ぐことができます。システムの構造に応じて、さまざまなカスタマイズ対応が可能です。

半導体製造の特に洗浄・エッジングにおいて必ず高純度の高い腐食性がある流体を使用します。またその薬液を装置に供給する装置では多くのバルブを使用し、コンポーネントは常にダメージを受けています。ダメージを受け続け、薬液が漏れトラブルが起きた際は、 ・半導体生産能力の低下による大きな損失 ・復旧作業における時間の損失 ・作業員の方への被害 など様々なリスクがございます。 バルブにおけるその大きな要因は腐食性の高い薬液によるステンレス製パーツの腐食です。 長年使用すると、ステンレス製パーツは薬液による浸透で腐食が始まります。そうするとバルブの故障による事故になりかねません。 GENÜ製品は腐食性の高い薬液に対して対策を行っております。 ・標準品で高純度なA4(SUS316L相当)のステンレスを採用 ・オプションでステンレスに対してPFAコーティング 弊社製品を使用いただくことで長期間安心して使用いただけます。 是非お困りの方はお問い合わせください！

半導体生産工程の洗浄・エッチング等で使用される高純度薬液を大量に供給するフッ素樹脂バルブをご紹介します。1 1/4～2インチサイズの配管径に対応し、安定した大量供給を実現したバルブを発表しました。大型配管径にも関わらず省スペース・高Kv値を実現しました。世界の半導体工場にて安定した半導体生産を支えます。その他にもタンク下の大流量が必要な際はこちらのバルブを使用いただけます。