ゲミュージャパンの製品・サービス一覧

多様なバルブ、機器類を一体化して製作するゲミュー社オリジナルのカスタマイズ集積バルブを使用することで、 「配管内デッドスペースの削減」「複雑な配管を簡素化」「継手数削減による漏れリスクの最小化」「製造組立工数の削減」が期待でき、製造プロセスの生産性アップに大幅に貢献できます。 半導体/化学/医薬業界など高純度薬液や純水を使用する業界で長年の実績がございます。 【ゲミュー社カスタマイズバルブの特徴】 ■　フィルター、流量/温度/圧力センサーや逆止弁などを組合わせてユニット化することが可能 ■　CMPスラリーなど粘性が高く複雑な組成の流体に適した流路で設計が可能 ■　プロセスに合わせてPTFE,PVDF,PP,PVC,SUSなど様々な材質に対応 ■　他社で廃盤となってしまったバルブの同等仕様、寸法で特殊品が製作可能

高精度ステッピングモーターを搭載したフッ素樹脂製電動コントロールバルブです。 DC24C(供給電源) + 4-20mA(アナログ信号)でバルブの開度を自在にコントロールして、流量制御/背圧制御が可能です。流路がスムーズである為、CMPスラリーなどの複雑な組成の流体にも好適です。 1l/min未満の小流量制御にも対応しています。標準で5タイプのイコールパーセント制御・リニア制御を選択いただけます。また特殊仕様でオーダーメイドの制御範囲も作成が可能です。

半導体製造プロセスやケミカル工場では引火性の高い溶剤を使用したり、静電気が発生して漏洩につながる事例が発生しています。そこで誘電性のある帯電防止PTFEを使用したバルブのご提案が可能です。2方弁、3方弁、マルチポートなどオーダーメイドで1ロット方ご対応可能です。ぜひお気軽にお問い合わせください。

半導体製造装置や薬液配管の流体の逆流を防ぐ逆止弁（チャックバルブ）です。スプリングなどの接液部は全てPTFE製で、低いクラッキング圧力で作動します。Oリングなしでシールが可能で、高純度流体に最適です。

半導体製造工程、化学工場の薬液供給アプリケーションなどで使用可能なPFA製フレア継手、チューブです。 PFAチューブの母材はDUPON 450HPを使用しているSEMI F57の準拠した半導体グレードの製品です。 継手類はフレア継手とJISねじ込みの変換継手やレデューサーなど1,000種類以上のバリエーションを用意しております。 カスタマイズでご要望に応じた設計の継手も製作をすることが可能です。

チューブ,フロート,ユニオン全ての材質には耐食性に優れるPVDFを使用しているため,高純度流体に最適です。 流体の種類やご希望のスケールに合わせた目盛付チューブをオーダーメイドで製作可能です。

C38型は液体用の非接触式超音波流量計です。 計測管内に可動部品や障害物がないため圧力損失がほとんどなく洗浄も容易です。 接液部はすべてPFA 製,電子回路部はポリプロピレンによって完全に覆われているため,耐食性に優れています。浸食性・腐食性流体や,高純度の液体に最適です。 •計測頻度が250回/秒のため,脈動する流体に最適 •分析機能を備えた豊富なPC ソフトウェア •計測値の誤差は±0.5％ •デジタル入力,出力をそれぞれ個別に設定 •アナログ出力ケーブルを標準装備 •プロセスパラメータは任意にプログラミング可能

半導体製造装置・薬液供給装置・化学工場のフッ素樹脂製バルブです。CMPスラリー等粘性薬液に最適な抵抗の少ない流路構造のダイアフラムバルブです。抵抗の少ない構造である為、サイズによっては他社比較2倍以上の流量能力がございます。また,液溜まりの少ないボディ形状によりコンタミネーションのリスクが抑えられております。装置内をコンパクトに設計できるようT弁、3方弁タイプなども標準で用意をしています。

半導体製造装置・半導体工場サブファブ・半導体向け化学工場の薬液配管向けのフッ素樹脂製ダイアフラムバルブです。 特に世界中の半導体工場サブファブ(薬液供給・CMP供給)で活躍しております。 【製品特徴】 コンパクト 耐久性…500万回以上の開閉に耐えられます。 流れやすい…特徴的な流路でスムーズな流れを実現します。デッドスペース最小 堅牢な構造…PVDF製のアクチュエーターを採用。耐薬品性も高いです。 安全設計…補助スプリングを採用で、長期間使用による樹脂の変形でもしっかりとシール性を実現します。 最高使用温度200℃の仕様でも製作できます。標準で開度調整、ポジションインジケーターを搭載しています。 ブロックバルブとしても使用でき、完全オーダーメイドでロット数1から販売可能です。(※画像参照) ぜひお気軽にお声掛けください。

C30型は,高品質のテフロンコーティングステンレス製ゲージを装備しています。 主に半導体およびマイクロエレクトロニクス産業向けのメタルフリー構造です。 接液部は全てPTFEまたはPFA製であるため,浸食性・腐食性流体,高純度の流体に好適です。 3層ダイアフラム構造により,プロセス流体とセンサー部を確実に隔離しているため,長期にわたり安定した計測を保証します。

C31型は,圧力媒体により動作する高品質の圧力トランスミッターです。 主に半導体およびマイクロエレクトロニクス産業向けのメタルフリー構造です。 接液部は全てPTFEまたはPFA製であるため,浸食性・腐食性流体,高純度の流体に最適です。 3層ダイアフラム構造により,プロセス流体とセンサー部を確実に隔離しているため,長期にわたり安定した計測を保証します。

GEMÜ製（GEMU）のマルチポートブロックバルブは、完全オーダーメイドでお客様の仕様に合わせて1点ずつ設計・製作いたします。 マニフォールドを用いた省スペース設計で,接続箇所が少ないため漏れのリスクも最小限になります。 ★マルチポートブロックバルブのメリット 1. デッドレグが0のため,液溜まりの心配がありません 2. バルブの配管スペースが50%以上小さくなります 3. 配管の手間と,部材コストを削減できます

高耐薬性を備えたPVDF製ダイアフラムバルブを販売しております。酸性・アルカリ性の強い薬品を扱うライン、半導体製造装置など耐薬品性が求められるアプリケーションで使用されています。弊社の製品の特長は接液部はPVDF製、外部は耐薬性の高い強化PPの二層構造を採用しています。その特徴により、 ・PVDF樹脂の使用量低減 ・短納期 ・低コスト生産 ・PVDFと同等の耐薬品性 を実現しています。 その他にも、 ダイアフラムの交換が簡単に行える 直線的な流路構造で高Kv値を実現 液だまりの少ない構造 ポジションインジケーターを標準で搭載、リミットスイッチ、流量調整用のポジショナーも搭載可能 などメンテンナス性、様々な制御に関しましてもメリットがあります。 手動・空気操作式・電動を取り扱っております。また洗浄オプションも可能で、高純度(半導体製造ライン)向けも対応しております。 またブロックバルブソリューションで装置のコンパクト化、メンテナンス性の向上も可能です。

ノンメタリックオールフッ素樹脂で覆った圧力計が新登場しました。外部から薬液が触れても壊れにくく、接液部もすべてフッ素樹脂でつくられています。圧力計故障によるシステムトラブルをなくし、生産の安定化、生産ストップによる生産損失を防ぎます。また外部からの薬液により故障を繰り返していた圧力計製品の取り換えにより、交換頻度が減ります。内部のセンサーはPTFEで覆われており接液しません。流路はまっすぐの設計を採用しており、圧力計の設置による圧損、粘性の高い流体を流しても流れやすく正確な計測が可能です。(継手接続タイプもございます。) 2025年時点では計測範囲は0～6barですが、今後は他のレンジにも対応予定です。弊社ブロックバルブソリューションに組み合わせ可能でよりコンパクトなシステムソリューションの提案が可能です。

PFAライニング配管をご使用のお客様に、 短納期で供給可能な ”PFAライニングダイアフラム” をご提案しています！ 昨今フッ素樹脂素材の調達が世界体に大きく乱れている状況において、 PFAライニングダイアフラムの調達にお困りのケースを良く聞きます。 その中で、ダイアフラムバルブ供給における世界的サプライヤーであるGEMUに対して、PFAライニングダイアフラムのお問い合わせが増加しています。 【GEMU PFAライニングダイアフラムの特長】 ・接液部は全てPFA、PTFEで高純度薬液、腐食性流体に適しています。 ・ダイアフラムの耐久性が高く、長期間の使用に耐えられる設計です。 ・スパークテストを全てのロットで実施しており、静電破壊に対して対策しております。 ・電動、手動、自動など様々なアクチュエーターが搭載可能です。 ・SUS、樹脂など用途に合わせて材質の選択が可能です。　 ・各種アンサーバック用スイッチ、流量制御が可能なコントローラー付のオプションもございます。 ・PFAライニングの厚みは3mm前後になっており、耐浸透に強い設計です。

GEMÜはより半導体工場・半導体向け化学薬品プラントの装置、設備の小フットプリント化をサポートします。 GEMÜ iComLine P35は業界最高クラスの小型化を実現しました。 バルブの小型化により、 フットプリント最小化による半導体生産性の向上 装置内、設備内メンテナンス性の向上 メンテナンス時間の短縮 使用材料の低減によるコストメリット を実現しました。 小型化になってもバルブとしての耐圧、流量は高スペックです! また、このバルブのマウンティング(壁などの取り付け)はきれいにバルブを横に配列ができように設計されています。なのでよりすっきりとした配管設計を助けます。 ブロックバルブにも搭載することで、最適な配管で小型化をより向上させます。 半導体生産の"時は金なり"を実現する新しいバルブです!

GEMÜ iComLine C58は供給源から2つの出口間の切り替えを行う超高純度3/2ウェイプロセスバルブです。また逆流方向での作動も可能です。操作は空気操作式になります。 このバルブを使用していただくことで、 ・これまで分岐の際に使用していたバルブ。接手を最小限に抑えこれ一台で切替ができる。 ・装置のコンパクト化 を実現できます！ また ・ポジションインジケーターを搭載しており、目視での開閉確認。 ・漏れが発生した際のリークポートの搭載 ・様々な耐久テストのクリア をしていますので、安全性も抜群、故障の検知も用意です。 高純度PTFEを使用しており半導体製造装置や半導体製造にかかわる薬液供給装置にて活躍いたします。