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ゲミュージャパン株式会社

設立2016年5月12日
資本金1000万
従業員数2400名
住所愛知県名古屋市東区葵2-5-6
電話052-936-2311
  • 特設サイト
  • 公式サイト
最終更新日:2024/01/04
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フッ素樹脂製バルブ(ハイピュリティー) フッ素樹脂製バルブ(ハイピュリティー)
アセプティックバルブ(無菌性・サニタリー) アセプティックバルブ(無菌性・サニタリー)
アングルシートバルブ(グローブバルブ) アングルシートバルブ(グローブバルブ)
PFAライニングバルブ PFAライニングバルブ
シングルユースバルブ シングルユースバルブ
ブロックバルブ(デッドレグ無し) ブロックバルブ(デッドレグ無し)
オートクレーブ対応 オートクレーブ対応
ポジショナー(プロセスコントロール用) ポジショナー(プロセスコントロール用)
充填専用バルブ 充填専用バルブ
電動バルブ 電動バルブ
プラントIOTシステム プラントIOTシステム
計測機器 計測機器
ピンチバルブ ピンチバルブ
アプリケーション事例集 アプリケーション事例集
バルブの Q&A バルブの Q&A
半導体業界向け

半導体業界向け

半導体製造に関連したプロセスでお勧め製品のご紹介

【集積/コンパクト化 マニホールドバルブ】 【薬液/純水配管用】

普通のバルブメーカーではありません!フィルターやセンサーなどを組合せた「ユニット集積バルブ」など要望に合わせて幅広く製作可能!

多様なバルブ、機器類を一体化して製作するゲミュー社オリジナルのカスタマイズ集積バルブを使用することで、 「配管内デッドスペースの削減」「複雑な配管を簡素化」「継手数削減による漏れリスクの最小化」「製造組立工数の削減」が期待でき、製造プロセスの生産性アップに大幅に貢献できます。 半導体/化学/医薬業界など高純度薬液や純水を使用する業界で長年の実績がございます。 【ゲミュー社カスタマイズバルブの特徴】 ■ フィルター、流量/温度/圧力センサーや逆止弁などを組合わせてユニット化することが可能 ■ CMPスラリーなど粘性が高く複雑な組成の流体に適した流路で設計が可能 ■ プロセスに合わせてPTFE,PVDF,PP,PVC,SUSなど様々な材質に対応 ■ 他社で廃盤となってしまったバルブの同等仕様、寸法で特殊品が製作可能

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【電動フッ素樹脂製コントロールバルブ】『GEMU C53』

半導体ウェットプロセスの流量/背圧制御に好適!電動モーター搭載のオールフッ素樹脂製バルブ【CMPスラリーにも対応】

高精度ステッピングモーターを搭載したフッ素樹脂製電動コントロールバルブです。 DC24C(供給電源) + 4-20mA(アナログ信号)でバルブの開度を自在にコントロールして、流量制御/背圧制御が可能です。流路がスムーズである為、CMPスラリーなどの複雑な組成の流体にも好適です。 1l/min未満の小流量制御にも対応しています。

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【有機溶剤/引火性液体に最適】帯電防止仕様のフッ素樹脂製バルブ

静電破壊による漏洩対策に!接液部に導電性PTFEを使用しているので、帯電を防止しながら腐食性流体に対応したバルブです!

半導体製造プロセスやケミカル工場で使用する引火しやすい溶剤などの高純度薬液の移送に最適なバルブです。ご要望に合わせて様々なデザインで製作が可能です。

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【薬液,純水用/Oリングフリー】フッ素樹脂製チャッキバルブ

薬液や純水ラインでの逆流防止に!接液部が全てPTFEなので様々な腐食性流体に対応しております。

半導体製造装置や薬液配管の流体の逆流を防ぐ逆止弁(チャックバルブ)です。スプリングなどの接液部は全てPTFE製で、低いクラッキング圧力で作動します。Oリングなしでシールが可能で、高純度流体に最適です。

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【短納期/低コスト】PFA製フレア継手/ チューブ各種

PFA製のフレア継手各種(ナットやエルボなど)やPFAチューブを低コスト、短納期で供給可能です!

半導体製造工程、化学工場の薬液供給アプリケーションなどで使用可能なPFA製フレア継手、チューブです。 PFAチューブの母材はDUPON 450HPを使用しているSEMI F57の準拠した半導体グレードの製品です。 継手類はフレア継手とJISねじ込みの変換継手やレデューサーなど1,000種類以上のバリエーションを用意しております。 カスタマイズでご要望に応じた設計の継手も製作をすることが可能です。

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850 HP型 ハイピュリティ面積式流量計

高純度流体用 PVDF製フローメーター

チューブ,フロート,ユニオン全ての材質には耐食性に優れるPVDFを使用しているため,高純度流体に最適です。 流体の種類やご希望のスケールに合わせた目盛付チューブをオーダーメイドで製作可能です。

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【スラリー/高純度薬液対応】 超音波流量計

計測管内の障害物が少なく、スラリーのような粘性流体にも高精度で対応可能なPFA製超音波流量計です!

C38型は液体用の非接触式超音波流量計です。 計測管内に可動部品や障害物がないため圧力損失がほとんどなく洗浄も容易です。 接液部はすべてPFA 製,電子回路部はポリプロピレンによって完全に覆われているため,耐食性に優れています。浸食性・腐食性流体や,高純度の液体に最適です。 •計測頻度が250回/秒のため,脈動する流体に最適 •分析機能を備えた豊富なPC ソフトウェア •計測値の誤差は±0.5% •デジタル入力,出力をそれぞれ個別に設定 •アナログ出力ケーブルを標準装備 •プロセスパラメータは任意にプログラミング可能

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【スラリー/高純度流体向け】フッ素樹脂製ダイアフラムバルブ

スラリーなどの研磨性流体に最適なフッ素樹脂製ダイアフラムバルブ

半導体製造装置及び化学工場の薬液配管向けのフッ素樹脂製バルブです。CMPスラリー等粘性薬液に最適な抵抗の少ない流路構造のダイアフラムバルブ(ダイヤフラムバルブ)です。抵抗の少ない構造である為、サイズによっては他社比較2倍以上の流量能力がございます。 また,液溜まりの少ないボディ形状によりコンタミネーションのリスクが抑えられております。

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【高耐久/高純度流体向け】フッ素樹脂製ダイアフラムバルブ

デッドスペースが最小の構造で背圧にも強い堅牢なフッ素樹脂製ダイアフラムバルブです。

半導体製造装置及び化学工場の薬液配管向けのフッ素樹脂製ダイアフラムバルブ(ダイヤフラムバルブ)です。 コンパクトかつ500万回以上の開閉にも耐えうる高い耐久性を持ちます。 流路がスムーズでデッドスペースが最小の構造です。 補助スプリングが内蔵されており、低温の環境下で樹脂が変形したとしても、補助スプリングがダイアフラムを押さえつけて、シール性を保ちます。 最高使用温度180℃の仕様でも製作できます。

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【メタルフリー/薬液用】C30型フッ素樹脂製圧力計

高純度流体向けの高精度圧力計

C30型は,高品質のテフロンコーティングステンレス製ゲージを装備しています。 主に半導体およびマイクロエレクトロニクス産業向けのメタルフリー構造です。 接液部は全てPTFEまたはPFA製であるため,浸食性・腐食性流体,高純度の流体に好適です。 3層ダイアフラム構造により,プロセス流体とセンサー部を確実に隔離しているため,長期にわたり安定した計測を保証します。

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【メタルフリー/薬液用】C31型フッ素樹脂製圧力センサー

高純度流体向けの高精度圧力センサー

C31型は,圧力媒体により動作する高品質の圧力トランスミッターです。 主に半導体およびマイクロエレクトロニクス産業向けのメタルフリー構造です。 接液部は全てPTFEまたはPFA製であるため,浸食性・腐食性流体,高純度の流体に最適です。 3層ダイアフラム構造により,プロセス流体とセンサー部を確実に隔離しているため,長期にわたり安定した計測を保証します。

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ハイピュリティーマルチポートブロックバルブ

半導体産業向け 装置の小型・軽量化のための新提案

GEMÜ製(GEMU)のマルチポートブロックバルブは、完全オーダーメイドでお客様の仕様に合わせて1点ずつ設計・製作いたします。 マニフォールドを用いた省スペース設計で,接続箇所が少ないため漏れのリスクも最小限になります。 ★マルチポートブロックバルブのメリット 1. デッドレグが0のため,液溜まりの心配がありません 2. バルブの配管スペースが50%以上小さくなります 3. 配管の手間と,部材コストを削減できます

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【R690】PVDF製ダイアフラムバルブ

短納期、低コストな高耐薬品性PVDF製バルブもご用意しております!

高耐薬性を備えたPVDF製ダイアフラムバルブを販売しております。酸性・アルカリ性の強い薬品を扱うライン、半導体製造装置など耐薬品性が求められるアプリケーションで使用されています。弊社の製品の特長は接液部はPVDF製、外部は耐薬性の高い強化PPの二層構造を採用しています。その特徴により、 ・PVDF樹脂の使用量低減 ・短納期 ・低コスト生産 ・PVDFと同等の耐薬品性 を実現しています。 その他にも、 ダイアフラムの交換が簡単に行える 直線的な流路構造で高Kv値を実現 液だまりの少ない構造 ポジションインジケーターを標準で搭載、リミットスイッチ、流量調整用のポジショナーも搭載可能 などメンテンナス性、様々な制御に関しましてもメリットがあります。 手動・空気操作式・電動を取り扱っております。また洗浄オプションも可能で、高純度(半導体製造ライン)向けも対応しております。 またブロックバルブソリューションで装置のコンパクト化、メンテナンス性の向上も可能です。

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