当カタログは、超小型で低消費電力を実現したクリーン搬送機器の 開発専門集団であるアテル株式会社の製品カタログです。 卓上型クリーン搬送装置から半導体用搬送ロボット、防水対応用ロボット、 真空対応用ロボット、液晶用搬送ロボットなどを豊富に掲載しております。 【掲載製品】 ■卓上型　顕微鏡ローダー 　・SYAR110 　・SYAR112 ■卓上型　ソータ 　・SYAR100 　・SYAR110 ■卓上型　マクロミクロ検査装置 　・SYAR120　など ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

『SYAR112』は、卓上型ロボットとアライナ、顕微鏡XYステージからなる 顕微鏡ローダ装置です。 所定のウェハをカセットから抜き取った後、アライナでセンタリングと ノッチ又はオリフラを位置決めし、顕微鏡XYステージに供給します。 また、観察ポイント、検査結果を記録収納可能です。 【特長】 ■顕微鏡XYステージではウェハ表面のマクロ観察可能 ■透過式マッピングセンサ搭載 ■ジョイスティックにより任意な座標制御可能 ■アクリルカバー、各種インターロック装備 ■観察ポイント、検査結果を記録収納可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『SYAR110』は、卓上型ロボットと照明観察ユニット、 顕微鏡ステージからなる顕微鏡ローダ装置です。 照明観察ユニットにて、ウェハ表面のマクロ観察が可能。 ワークは2～4インチまでのそりの大きなGaAsを始め、 各種ウェハに対応します。 【特長】 ■ウエハをカセットから抜き取り、顕微鏡ステージに供給 ■ワークは2～4インチまでのそりの大きなGaAs、各種ウェハに対応 ■レーザー型マッピングセンサ搭載 ■塩ビカバー、各種インターロック装備 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

パワーデバイスやMEMS 等で使われるデバイスは特殊なものばかり。 扱いが難しかったり、各種センシングの難しいデバイスが多いです。 当社は、これらの「特殊ウェハを確実に搬送する事こそ使命」と考え「割らない」のは当たり前、「ウェハ周辺だけハンドリング」といった特殊なご要望も実現した各種ユニットを開発。 そのため当社は、扱いが難しい、特殊ウェハであるタイコウェハ、80μm 以下の薄ウェハ、15mm 以上反ったウェハ、SiC ウェハ、石英ウェハなどに自信を持って「対応できると」断言します。 【対応特殊ウェハ】 ■タイコウェハ ■80μm 以下の薄ウェハ ■15mm 以上反ったウェハ ■SiC ウェハ ■石英ウェハ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

当製品は、既存の顕微鏡に自動搬送機能を追加できる卓上タイプの コンパクトな装置です。 顕微鏡のステージにウェハを供給、回収。 ウェハ入替えは、顕微鏡ステージを所定の位置へ移動させることで自動的に 行われます。 もし、顕微鏡に制御システムがある場合、それを上位として連携させることも できます。 【特長】 ■5・6インチウェハ対応 ■既存の顕微鏡に自動搬送機能を追加できる ■顕微鏡のステージにウェハを供給、回収する装置 ■ウェハ入替えは、顕微鏡ステージを所定の位置へ移動させることで 　自動的に行う ■顕微鏡に制御システムがある場合、それを上位として連携可能(オプション) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

当製品は、スタンドアロン式の各種ウェハ測定器などに自動搬送機能を 追加できる装置です。 エッジグリップハンドによりウェハ中央部に接触することなく搬送可能。 2mmまでの反りのあるウェハ、表裏面を反転させての搬送もできます。 また、測定機システムを上位として、連携させることが可能です。 【特長】 ■8インチウェハ対応 ■スタンドアロン式の各種ウェハ測定器などに自動搬送機能を追加できる ■エッジグリップハンドによりウェハ中央部に接触することなく搬送可能 ■2mmまでの反りのあるウェハ、表裏面を反転させての搬送もできる ■測定機システムを上位として、連携させることが可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。