『SYAR120』は、卓上型ロボットとアライナ、マクロユニットを組み込んだ 8インチタイコウェハ対応顕微鏡マクロミクロ検査装置です。 所定のウェハをカセットから抜き取った後、マクロユニットへ搬送し、 表裏面を観察します。 ジョイスティックにより任意な座標制御が可能。 帯電防止塩ビカバー、各種インターロックを装備しています。 【特長】 ■アライナでセンタリングとオリフラ位置決め後に顕微鏡XYステージに供給 ■透過式マッピングセンサ搭載 ■ジョイスティックにより任意な座標制御可能 ■帯電防止塩ビカバー、各種インターロック装備 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

当カタログは、超小型で低消費電力を実現したクリーン搬送機器の 開発専門集団であるアテル株式会社の製品カタログです。 卓上型クリーン搬送装置から半導体用搬送ロボット、防水対応用ロボット、 真空対応用ロボット、液晶用搬送ロボットなどを豊富に掲載しております。 【掲載製品】 ■卓上型　顕微鏡ローダー 　・SYAR110 　・SYAR112 ■卓上型　ソータ 　・SYAR100 　・SYAR110 ■卓上型　マクロミクロ検査装置 　・SYAR120　など ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

多くの企業様で検査の自動化の必要性に直面しています。 一昔前は多くの人、多くの検査員の目で製品の品質を確保していました。 しかし、今は人手をかけた作業が難しくなっています。 当社は、今まで人の目を使って検査していた、マクロ検査装置や顕微鏡観察の自動化に長年取り組んできました。 不良、異常の種類によっては、今すぐにでも対応可能。 バックグラインドのウェハ裏面のクラックやアルミグレイン上の針痕やキズなど、検出が難しい不良も検出可能。まずはご相談ください。 【メリット】 ■コストパフォーマンが高い ■取り扱いが容易 ■高速化しやすい ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

パワーデバイスやMEMS 等で使われるデバイスは特殊なものばかり。 扱いが難しかったり、各種センシングの難しいデバイスが多いです。 当社は、これらの「特殊ウェハを確実に搬送する事こそ使命」と考え「割らない」のは当たり前、「ウェハ周辺だけハンドリング」といった特殊なご要望も実現した各種ユニットを開発。 そのため当社は、扱いが難しい、特殊ウェハであるタイコウェハ、80μm 以下の薄ウェハ、15mm 以上反ったウェハ、SiC ウェハ、石英ウェハなどに自信を持って「対応できると」断言します。 【対応特殊ウェハ】 ■タイコウェハ ■80μm 以下の薄ウェハ ■15mm 以上反ったウェハ ■SiC ウェハ ■石英ウェハ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

当製品は、ウェハ外観を目視と顕微鏡によって観察する装置です。 エッジグリップハンドによりウェハ中央部に接触することなく搬送、 観察することができます。 マクロユニットでは、ウェハの表裏面を任意の角度で観察可能。 ミクロユニットでは電動XYステージがあらかじめ登録した座標に移動するので、 トリガーボタン一つで複数の指定座標を連続で観察できます。 【特長】 ■8インチウェハ対応 ■エッジグリップハンドによりウェハ中央部に接触することなく搬送、観察 ■マクロユニット：ウェハの表裏面を任意の角度で観察可能 ■ミクロユニット ・電動XYステージがあらかじめ登録した座標に移動 ・トリガーボタン一つで複数の指定座標を連続で観察できる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

当製品は、マクロミクロ検査装置にレーザーによるマーキング機能やマーカーカウント機能などが搭載された装置です。マクロユニットとミクロユニット、及びレーザーマーキング室には搬送ユニットがウェハを自動供給。マクロ目視観察、ミクロ顕微鏡観察が行えるほか、上位システムと連携し指定座標にレーザーによる自動マーキングが行えます。 【特長】 ■6・8インチウェハ対応 ■レーザーによるマーキング機能やマーカーカウント機能などを搭載 ■マクロ目視観察、ミクロ顕微鏡観察が行える ■マクロユニットとミクロユニット、及びレーザーマーキング室には 　搬送ユニットがウェハを自動供給 ■上位システムと連携し指定座標にレーザーによる自動マーキングが行える ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

当製品は、あらかじめ登録した欠陥種類を検査部で撮像した画像から自動的に検出する自動外観検査装置です。エッジグリップハンドによりウェハ中央部に接触することなく搬送します。欠陥検出はウェハの表裏画面が対象。自動搬送ユニットが検査部XYステージにウェハを搬送し、全面を撮像した後、表裏を反転させ、再度全面撮像します。 【自動外観検査装置の特長】 ■8インチウェハ対応 ■検出した欠陥はウェハマップにその位置を表示 ■任意の操作でデータ保存や上位システムと連携する ■ダブルアームロボット、アライナ、反転ユニット、自動撮像ユニット、 　制御機器(基本移載ソフト含む)を装備 ■エッジグリップハンドによりウェハ中央部に接触することなく搬送 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

当製品は、他の検査システムの欠陥データと連携するもので、指定の座標の 画像を自動で撮像し、保存や他システムへ送信する装置です。 自動搬送ユニットがレビューユニットのXYステージにウェハを搬送。 受信した欠陥データの指定座標を高倍率(100x、150x)にて自動撮像 することができます。 【特長】 ■8インチウェハ対応 ■指定の座標の画像を自動で撮像し、保存や他システムへ送信する ■自動搬送ユニットがレビューユニットのXYステージにウェハを搬送 ■受信した欠陥データの指定座標を高倍率(100x、150x)にて自動撮像可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。