ITWジャパンの製品ラインアップ

超高速応答時間と高レベルな清浄度を備えた『GF125シリーズ』は、第二世代の多変量計測、PTI（圧力変動耐性）メタルシールマスフローコントローラです。圧力と温度の変動によるプロセスガス流量の変動を最小限に抑制します。標準のMultiFlo テクノロジーにより、ガスラインから切り離したり、精度を犠牲にすることなく、数千種類ものガスタイプとレンジの組み合わせをサポートします。 その結果、 収率と生産性を最大限に拡張する業界最高のPTI性能とともに、各ポイントの圧力レギュレータ、圧力トランスデューサ、関連するハードウェア設置の必要性を減らすことにより、ガスパネルのサイズとコストを縮小します。 【特長】 ■長期的なゼロ点安定性：0.5％フルスケール/年以下 ■セトリングタイム：300 ms - 700 ms以下 ■フルスケール流量レート 最大300 slpm ■メタルシール流路：4µ インチ Raの表面仕上げ ■SEMI F20準拠接ガス･接液部材質 ■耐腐食ハステロイ(R) 製T-Riseセンサ など ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。

Quantim(R) QMC コリオリ式マスフローコントローラとメータは、微少流量の気体や液体に対して極めて正確で安定した、再現性のある測定と制御を実現します。この第3世代の新しいQuantim QMC コリオリ式マスフローコントローラとメータは、プロセスの品質、生産の歩留まり、スループットを高めることで、ラボからパイロットプラント、生産までのスケールアップ期間の短縮に貢献します。 新しいQuantim QMC コリオリ式マスフローのシリーズは、ブルックスインスツルメントのQuantim 旧モデルと取付寸法、機能面で互換性があります。 【特長】 ■真の質量流量測定 ■正確な密度測定 ■I/Oオプションの追加: 0-10 Vdc, 0-20 mA, RS485 S-Protocol ■豊富なシール材質、証明書、認証のオプション ■アクセスの容易なサービスポート ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

サーマルマスフローコントローラ／メータ『SLA5800シリーズ』は、 カーボンニュートラルの研究開発に役立つ、ガスの制御・測定機能を備え、 水素・メタン・LNG・二酸化炭素・アンモニアなどの気体に対応した製品です。 「SLA5850 マスフローコントローラ ノーマルクローズバルブ」は、 高圧ガス保安協会（KHK）の認証を取得しており、 都道府県での完成検査が認定証の提出のみで済むため、 非常にスムーズな導入が可能になります。（フローメータでの対応も可能） 【特長】 ■DEKRAより、国内防爆（JPEx）の型式検定合格証を取得済 （対応品：マスフローコントローラ／メータ、プレッシャーコントローラ） ■化学・石油化学・燃料電池・ライフサイエンスなどの分野でも活躍 ■広範囲をカバーする流量レンジ ■1台で複数のガス・流量レンジに対応可能 ※詳しくはカタログをご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

『GF40シリーズ』は、当社独自のMultiFloテクノロジーを搭載したサーマル式のマスフロー コントローラ/メータです。 さまざまなガスを使用する場合、ガスの種類を頻繁に変更する場合、制御精度は維持したまま、 フルスケールレンジを変更する必要のあるシステムやプロセスに好適です。 MultiFloテクノロジーは、比類のない柔軟性を提供します。 1台のデバイスで、数千パターンの異なるガス・流量範囲の組み合わせに対応しています。 【特長】 ■専用のソフトウェアで設定変更が可能な、マルチガス/マルチレンジ機能 ■エラストマシールのオプションが豊富ため、さまざまなガスに対応 ■長期安定性に優れたハステロイ製センサを採用 ■実ガス試験に基づく100種類以上のガスデータを搭載 ■負荷の高いアプリケーションでも、1秒未満の応答時間とセットポイント 　±1%の制御精度を実現 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『5850Eシリーズ』は、エラストマシールサーマル式マスフローコントローラ/メータです。 数十年に渡って、世界中の数千種類ものアプリケーションでアクティブに使用された実績を持つ本シリーズは、独自の安定した流量センサを備え、現代の要求の厳しい工業生産プロセスに必要な信頼性、精度、繰り返し性の高い測定と制御を行います。 【特長】 ■取り外し可能な流量センサ ■取付姿勢の影響なし ■他のマスフローコントローラとの機械的/電気的互換性 ■電動式バルブオーバーライド ■耐腐食バルブ ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

当社では、マスフローコントローラ、プレッシャーコントローラ、 トランスデューサなどの、流量・圧力制御に関する機器を販売しています。 長期間にわたり安定して動作可能な高信頼製品を多数ご用意。 技術研修や校正、修理メンテナンスなどのサービスも提供しています。 現在、バイオ・EPC・薄膜業界それぞれに適した機器や 特長・導入メリットなどを紹介した資料をまとめて進呈中です。 【資料ラインアップ】 ■流量・圧力計測機器＜バイオ医薬品・ライフサイエンス業界＞ ■面積式流量計＜EPC向けフローソリューション＞ ■気体・液体用マスフローコントローラ＜真空・圧力計測と制御＞ ※各資料は「PDFダウンロード」からご覧いただけます。 　お問い合わせもお気軽にどうぞ。

粉塵、湿度、極端な温度、水分など、どんな厳しい条件でも、『SLAMfシリーズ』エラストマシールサーマル式マスフローコントローラ/メータなら、 実証済みの「SLA5800ファミリ」ならではの高い精度と長期安定性を実現します。 特殊設計のNEMA4X/IP66規格筐体により、高度なデジタル電子部品を保護し、プロセスに不可欠なガス/流体マスフローの安定した正確な測定と制御を行います。 防塵防爆エンクロージャー仕様のSLAMFシリーズは、国内防爆認証(JPEx) 安全増防爆（MFC型式検定合格番号: DEK24.0048X、MFM型式検定合格番号: DEK24.0049X）を正式に取得したことで、Zone2エリアへの導入・使用が可能となりました。　 【特長】 ■NEMA4X / IP66級の高耐久性筐体 ■幅広い定格流量 - 0.003から20800 slpm ■幅広い温度と圧力条件に対応 ■優れた精度を実現 ■設定可能なマルチガス/マルチレンジ機能 ※詳しくはPDFをダウンロード頂くか直接お問い合わせください。　

『4800シリーズ』は、応答時間が向上するに従って、プロセスの効率と生産性 も向上するエラストマシールサーマル式マスフローコントローラ/メータです。 高度なMEMS式サーマルセンサは、コントロールバルブへの応答に最適化された 専用のPIDアルゴリズムを搭載し、セットポイントを任意に変更した場合でも、 当製品は実流量を高速で追従させることができます。 【特長】 ■流量応答時間（セトリングタイム） 0.75秒以下 ■革新的MEMSセンサおよび専用PIDアルゴリズム ■通常のサーマル式MFCの半分で、コンパクトなサイズ ■RS-232によるデジタル対応 ■オプションのローカルオペレーターインターフェース（LOI）で 　セットアップと操作を合理化 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『GF100シリーズ』は、優れた応答速度および繰り返し性で、高清浄度 および超高清浄度のプロセスガス供給を実現したメタルシールマスフロー コントローラ/メータです。 高い繰り返し性と安定性能を確保し、業界標準を超える信頼性をご提供。 業界最高レベルのガス清浄度を実現するとともに、プロセスの柔軟性と 効率性を向上し、収率と生産性を最大限に拡大することができます。 【特長】 ■長期的なゼロ点安定性：0.5％フルスケール/年以下 ■セトリングタイム：700 ms - 1秒以下 ■フルスケール流量レート 最大300 slpm ■メタルシール流路：4µ または 10µ インチ Raの表面仕上げオプション ■耐腐食ハステロイ(R) 製T-Riseセンサにより、温度が上昇しても、 　測定の再現性を向上　など ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。

『GF40シリーズ』は、1台で複数のガスに対応し プロセスの柔軟性と生産性を向上できるマスフローコントローラ/メータです。 メーカー独自の「MultiFloテクノロジー」を搭載し 高精度な流量制御や測定が可能で、多様なガスを使用するシステムに好適。 頻繁にガスの種類を変更する場合や、測定と制御精度を維持しつつ 範囲を再調整する必要のあるプロセス・施設で活躍します。 また、『0254』は電源供給とアナログ制御の機能に加え RS232シリアルポートを搭載したリードアウトユニットです。 RoHS指令に準拠し、ユーザーフレンドリーな操作性を提供。 多様なアプリケーションに簡単にインストールできる取付方法のオプションがあり 最大4台のBrooksマスフローまたは圧力デバイスに電力を供給します。 【特長】 ◎『GF40シリーズ』 ■豊富な実ガスデータを搭載 ■ガス種と流量レンジを変更できるため、1台で多様な研究テーマに対応可能 ◎『0254』 ■流量設定は瞬時制御とバッチ制御、流量表示は瞬時と積算に対応 ■省スペースで最大4台のマスフローコントローラ/メータを接続可能

バイオ医薬品の製造は、世界でも要求の厳しい製造プロセスの一つです。 マスフローおよび圧力制御技術は、細胞培養の歩留まりの向上と バイオプロセスコストの抑制に役立ち、流量および圧力コントローラは、 信頼性、再現性、および長期安定性のためのグローバルスタンダードを確立。 また、マスフローコントローラ（MFC）は、バイオテクノロジーの研究 および生産の主要な要件を満たしています。 【特長】 ■高効率で長期間安定したプロセス制御 ■精度の高い測定データの確保 ■柔軟性と使いやすさ ■小流量から大流量への移行を速やかに、また効果的に行える ■稼動率に重点を置いたサービスおよびサポート ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

産業用や民生用の製品の表面には、その仕上がりを最適化させるためにコーティングを施すことがあります。例えば、切削工具の耐摩耗性、ガラスの耐傷性、板ガラスの熱特性、住宅設備機器の美観などを向上させることが可能です。 化学蒸着、物理蒸着、プラズマ処理プロセス、溶射など、コーテイングの手法はさまざまですが、製造工程の最終段階として行われることが多いようです。 ブルックスインスツルメントのマスフロー、真空、圧力測定および制御装置は、PVDおよびCVDプロセスアプリケーションをカバーしています。また、当社の製品は、熱処理やプラズマ処理プロセスなどの表面処理アプリケーションにも適しています。 【特長】 ■再現性の高い、高精度なガス供給 ■優れた品質、正確な厚み、膜厚の均一性 ■長期にわたる安定したプロセス制御 ■高機能な現場での流量診断とトレンド解析で、プロセスの歩留まりを最大化 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

日常的に小型化、高性能化が進む世界。 携帯電話も、数年前には想像できなかったような機能を備えています。 このような高性能を実現したのは、以下のような幅広い用途で利用されている薄膜技術のおかげです。 【薄膜技術　ご利用用途】 ・マイクロエレクトロニクス ・ガラスの反射防止膜 ・医療機器への抗菌性金属コーティング ・フレキシブルな太陽電池 薄膜技術とは、「基板表面と呼ばれる対象物に薄膜材料を作成、コーティング、加工するプロセス」と定義されています。 本資料では、薄膜技術の説明やCVDとPVDの比較や流量計と圧力計の応用、プロセス制御のデジタル化とアプリケーション事例をご紹介しております。 是非、ご一読くださいませ。 ★CVDとPVDの説明をさらに掘り下げた基礎知識や ガラス業界向けのガラスコーティングに関する基礎知識資料も進呈！ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

当資料は、ブルックスインストルメントの流量、圧力、蒸気および 真空製品を掲載した総合カタログです。 クローズドループ、ブースト、ヒステリシスを排除した「SLA Series」 などのプレッシャーコントローラをはじめ、複数のガス種と流量レンジを 1台でカバーできる「GF40 Series」などのサーマル式マスフローや、 面積式流量計、圧力/真空製品などをラインアップ。 大変参考になる一冊となっておりますので、導入検討の際に ぜひご覧ください。 【掲載内容】 ■マスフロー＆プレッシャーコントローラ ■面積式流量計 ■圧力/真空製品 ■セカンダリエレクトロニクス＆ソフトウェア ■通信プロトコル ■サービス＆サポート ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

水素、燃料電池、CCUS、バイオ燃料、CNT製造。未来のエネルギーを支える 現場には、正確な流れを見守る技術があります。 ブルックスインスツルメントの流量計が、エネルギートランジションを支えます。 【アプリケーション事例ご紹介】 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

金属熱処理業界では、製品品質を左右する熱処理工程において、ガスの流量を正確かつ安定的に制御することが不可欠です。特に、熱処理炉内の雰囲気ガスは、製品の硬度や強度に直接影響を及ぼすため、適切な流量管理が不良品の発生抑制につながります。 SLA5800シリーズは、熱処理工程で使用される多様なガスに対応し、雰囲気制御に求められる高い再現性と安定性を実現します。また、専用のBESTソフトウェアの機能により、スムーズな設備導入をサポートします。 また、エラストマーシール構造を採用することで、コストと耐久性のバランスに優れた設計を実現。長期運用における保守負荷の低減にも貢献し、熱処理設備の安定稼働を支えます。 【活用シーン】 ・熱処理炉へのガス供給 ・雰囲気ガスの流量制御 ・高精度な温度管理 【導入の効果】 ・熱処理工程の品質向上 ・不良品率の低減 ・高圧ガス関連の手続きの簡素化

研究機関における各種実験では、ガスの流量および圧力を正確に制御・測定できるかどうかが、実験結果の信頼性と再現性を大きく左右します。特に、カーボンニュートラル関連研究をはじめ、水素、メタン、LNG、二酸化炭素、アンモニアなどのガスを扱う実験においては、わずかな制御誤差が結果のばらつきや評価の不確実性につながる可能性があります。 不正確なガス制御は、実験条件の再現性を損ない、検証作業の増加や研究スケジュールの遅延を招く要因となります。 SLA5800シリーズは、こうした研究現場の課題に対応するため、高精度かつ安定したガス流量制御・測定性能を提供。実験条件の再現性向上とデータの信頼性確保を通じて、研究開発を強力にサポートします。 また、幅広いガス種に対応可能な設計により、基礎研究から応用研究、評価試験まで、多様な研究テーマに柔軟に対応できるマスフローコントローラとして活躍します。 【活用シーン】 ・ガス分析 ・反応実験 ・材料合成 ・燃料電池の研究 【導入の効果】 ・実験データの信頼性向上 ・研究効率の向上 ・高圧ガス関連の手続き簡素化

1台で最大14種の圧力・流量に対応。高再現性と精密制御を実現するSLA5800シリーズ サーマル式マスフローコントローラ／メータ「SLA5800シリーズ」は、カーボンニュートラル関連の研究開発をはじめとする多様な用途に対応し、水素、メタン、LNG、二酸化炭素、アンモニアなどのガスにおいて、高精度な制御・測定を可能にします。 さらに、「SLA5850 マスフローコントローラ（ノーマルクローズバルブ）」は、高圧ガス保安協会（KHK）認証取得品であり、都道府県での完成検査は認定証の提出のみで対応可能です。これにより、導入時の手続きを大幅に簡略化し、スムーズな設備立ち上げを実現します。※フローメータ仕様での対応も可能です。 【特長】 ■DEKRAより、国内防爆（JPEx）の型式検定合格証を取得済（対応品：マスフローコントローラ／メータ、プレッシャーコントローラ）※適用要件として、専用のエンクロージャーに格納のこと ■化学・石油化学・燃料電池・ライフサイエンスなどの分野でも活躍 ■広範囲をカバーする流量レンジ ■1台で複数のガス・流量レンジに対応可能

水素、燃料電池、CCUS、バイオ燃料、CNT製造。未来のエネルギーを支える現場には、正確な流れを見守る技術があります。ブルックスインスツルメントの流量計が、エネルギートランジションを支えます。 カーボンニュートラルの研究開発に役立つ、ガスの制御・測定機能を備えたサーマルマスフローコントローラ/メータ「SLA5800シリーズ」や、厳しい設置環境でも高い再現性と長期安定性を実現するエラストマシールサーマル式マスフローコントローラ/メータ「SLAMfシリーズ」などをラインアップ。 ISO/IEC17025認定校正が、次世代エネルギープロセスに求められる再現性を確かな基準で実現します。 【SLA5800シリーズ 特長】 ■DEKRAより、国内防爆(JPEx)の型式検定合格証を取得済 　(対応品：マスフローコントローラ/メータ、プレッシャーコントローラ) ■化学・石油化学・燃料電池・ライフサイエンスなどの分野でも活躍 ■広範囲をカバーする流量レンジ ■1台で複数のガス・流量レンジに対応可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

金属加工や熱処理工程では、ガス流量の安定性と制御精度が製品品質を左右します。 サーマル式ならではの高い測定精度と再現性により、保護ガスや反応ガスの安定供給を実現。プロセス変動を抑え、均一な熱処理品質に貢献します。エラストマシール設計により、汎用的な産業用途に柔軟に対応し、メンテナンス性にも優れています。 真空炉・雰囲気炉での窒素やアルゴンなどの保護ガス制御、ろう付けや焼結工程、各種金属部品製造ラインにおいて、信頼性の高い流量管理をサポート。設備の安定稼働と歩留まり向上に貢献します。 確かな流量制御で、安定した熱処理品質へ。 GF40シリーズは、金属加工・熱処理分野における実用性と信頼性を兼ね備えたソリューションです。 【特長】 ◎『GF40シリーズ』 ■豊富な実ガスデータを搭載 ■ガス種と流量レンジを変更できるため、1台で多様な研究テーマに対応可能 ◎『0254』 ■流量設定は瞬時制御とバッチ制御、流量表示は瞬時と積算に対応 ■省スペースで最大4台のマスフローコントローラ/メータを接続可能

医薬品製造において、混合プロセスのわずかな流量変動が製品の有効性や安全性に影響を及ぼします。そのため、ガス流量の高精度かつ安定した制御が不可欠です。 SLAMfシリーズ マスフローコントローラは、高精度制御と優れた長期安定性により、配合バランスの最適化を実現。製造から研究開発まで、幅広い工程において品質の一貫性向上を支援します。 【活用シーン】 ・ 医薬品製造におけるガス混合・供給制御 ・ 研究開発における精密ガス混合 ・ 品質管理工程での流量測定・モニタリング 【導入メリット】 ・ 混合精度の向上による製品品質の安定化 ・ 再現性の高いプロセス制御の実現 ・ 製造効率の向上とロス低減

化学・素材・エネルギー分野の研究開発では、CO₂削減、排ガス処理、代替燃料評価など、環境対応技術の開発が進んでいます。GCシリーズは、こうした用途で求められる小流量域での高い再現性と、省スペースで安定したガス制御を両立する、MEMS式の超小型マスフローコントローラです。 Air、N₂、O₂、CO₂、Ar、CO、CH₄、C₃H₈、N₂O等に対応し、フルスケール流量210～5000sccm（Air換算）、100:1の制御レンジ、±0.25% S.P.の再現性、応答時間は2秒以下（設定値がフルスケールの10%超の場合）を備えています。ラボ装置、小型試験装置、分析設備などに適しており、環境技術の開発を支えるガス制御技術として活用できます。

Quantim QMC コリオリ式マスフローコントローラは、気体・液体の微少流量を高精度かつ安定して測定・制御。真の質量流量測定により、環境モニタリングや排出ガス分析の高精度化に貢献します。 【排出ガス測定の課題解決に】 ・微少流量の気体・液体の高精度測定 ・排出ガス測定データの信頼性向上 ・環境規制・排出基準への対応強化 ・流量ばらつきによる測定誤差の低減 ・気体・液体の両方に対応した高精度制御 ・半導体・化学・研究用途における安定した微少流量管理 ・真空プロセス・精密コーティング工程の流量管理改善 ************************* 2026NEW環境展（東京ビッグサイト）に出展いたします！ ************************* 会期：2026年5月20日（水）～5月22日（金） 時間：10:00～17:00（最終日は16:00まで） 会場：東京ビッグサイト 東展示棟 ブース：R811（東8ホール） ※日本測器株式会社様ブース内にて出展 皆様のご来場を心よりお待ちしております。 *************************

Quantim QMC コリオリ式マスフローコントローラは、微少流量の気体・液体を高精度かつ安定して測定・制御。真の質量流量測定により、ガス混合プロセスの最適化と安定運用に貢献します。 【課題解決】 ・微少流量領域での高精度なガス混合制御 ・ガス混合比率のばらつき低減 ・パイロットプラントから量産へのスムーズなスケールアップ ・エネルギー効率改善に向けた流量最適化 ・再現性の高い流量測定・制御環境の構築 ************************* 2026NEW環境展（東京ビッグサイト）に出展いたします！ ************************* 会期：2026年5月20日（水）～5月22日（金） 時間：10:00～17:00（最終日は16:00まで） 会場：東京ビッグサイト 東展示棟 ブース：R811（東8ホール） ※日本測器株式会社様ブース内にて出展 皆様のご来場を心よりお待ちしております。 *************************

液体プロセスの見える化と高精度制御 BCUシリーズ（クランプオン超音波式液体流量計） ■ 非接液・クランプオン設計 ■ プロセス液に触れず、汚染リスク低減・洗浄簡素化 ■ 可動部・消耗品なしでメンテナンス負荷を低減 ■ 工場校正、フィールド校正オプション ■ 精度 ±1% of rate ■ EtherNet/IP 標準対応 Quantim(R) QMCシリーズ（低流量コリオリ式液体マスフロー） ■ 第３世代デジタルアーキテクチャ ■ 液体の真の質量流量を直接計測 ■ 質量流量・体積流量・密度・温度を同時計測/出力 ■ 液体0.001～27kg/hの広いレンジ ■ 液体精度 ±2% of rate ■ センサ/バルブ/PID一体型のコンパクト設計 ■ IP40/IP66 選択可能 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

Brooks Instrumentが提供する「BCUシリーズ」と「Quantim QMCシリーズ」は、環境・バイオ・材料プロセスにおける液体流量管理の課題を解決する2製品です。 ■BCUシリーズ クランプオン式超音波方式により、チューブを切断せず流体に一切触れることなく流量をリアルタイム計測します。汚染リスクや洗浄工数を排除し、シングルユース・ハイブリッド型バイオプロセスに最適。EtherNet/IPを標準搭載し、自動化スキッドへのシームレスな統合を実現します。 ■Quantim QMCシリーズ 第3世代デジタルアーキテクチャを採用したコリオリ式低流量マスフローコントローラ/メータです。液体の真の質量流量を直接計測し、質量流量・体積流量・密度・温度を同時出力。0.001〜27 kg/hの広いレンジと液体精度0.2% of rateを誇り、微小流量の高精度制御が求められる研究・製造現場を強力にサポートします。両製品ともソフトウェアを活用した設定・診断・保守の効率化に対応しています。 ※詳しくはPDF資料をご覧ください。お問い合わせもお待ちしております。

【SLAシリーズが選ばれるポイント】 １．ワイド差圧対応 ２．小流量～大流量をカバー ３．用途に合わせた選定提案 ４．一般産業・炉プロセスに実績 ※詳しくは関連資料をご覧ください。お気軽にお問い合わせ下さい。

CO₂利用技術や排ガス処理、燃料評価などの環境・エネルギー分野では、用途に応じた高精度なガス流量制御が求められます。 GFシリーズは、多ガス・多レンジ評価から高純度ガス、高温プロセスまで幅広い用途に対応。プロセス条件に応じて最適なモデルを選択でき、研究開発から生産工程まで安定した流量制御を実現します。 [GF40] MultiFlo対応／多ガス・多レンジ評価向け □ 研究開発・評価試験に最適 □ 1台で複数ガス・複数レンジに対応 □ 開発期間の短縮と設備効率向上に貢献 [GF100] MultiFlo対応／高純度・多条件プロセス向け □ 高純度ガスプロセスに対応 □ 幅広いプロセス条件で高精度制御 □ 半導体・研究開発用途にも最適 [GF120xHT] 高温・耐腐食プロセス向け □ 高温ガス供給に対応 □ 耐腐食性に優れた設計 □ 過酷なプロセス環境でも安定した流量制御を実現 ※詳しくはPDF資料をご覧ください。お問い合わせもお待ちしております。

コンパクト設計と高精度制御を両立。装置の小型化・高性能化に貢献 AMFシリーズは、限られた設置スペースでも高精度な流量制御を実現する小型マスフローコントローラ／メータです。 優れた応答性と安定した流量制御により、研究開発から製造装置まで幅広いアプリケーションに対応。装置の省スペース化や設計自由度の向上に貢献します。 ■ 導入メリット コンパクト設計による装置設計の自由度向上 高精度・高応答な流量制御 装置の小型化・軽量化 安定したプロセス制御による品質向上 ■ 主な用途 分析・計測機器 研究開発設備 OEM装置 バイオ・ライフサイエンス分野 一般産業用ガス供給システム Brooks Instrumentは、精密流体計測・制御分野で70年以上にわたり培った技術と豊富な実績をもとに、お客様の用途やプロセスに最適なソリューションを提供しています。小型化・高性能化が求められる装置開発においても、高品質な製品と充実した技術サポートでお客様を支援します。 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

CO₂削減技術や排ガス処理、代替燃料の研究開発など、環境・エネルギー分野では用途に応じた高精度なガス流量制御が求められます。ブルックスインスツルメントは、研究開発から実証試験、生産プロセスまで、各ステージに最適なマスフローコントローラ／メータをご用意。アプリケーションやプロセス条件に応じて最適な製品をご提案します。 ■ このような用途・課題に CO₂削減・CCUS技術の研究開発 排ガス処理・環境負荷低減 触媒評価・反応プロセス開発 代替燃料・合成燃料の研究開発 燃料電池・水素関連プロセス 炉・熱処理・材料プロセスのガス流量制御 ※詳しくは関連カタログをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

水素・燃料電池、水電解、CCUS、合成燃料などの研究・実証・生産設備では、マスフローコントローラ単体の機能に加え、ガス種、常用流量、入口・出口圧力、接ガス材質、通信、設置環境、校正、必要な認証まで含めた選定が重要です。 ブルックスインスツルメントのSLA5800／SLAMFシリーズは、実際の装置構成や運用条件に合わせて選定できる、サーマル式マスフローコントローラ／メータです。 SLA5800は、研究開発装置、分析装置、実証設備、生産設備などに対応する一般用途向けの標準シリーズです。 SLAMFは、SLAファミリーの測定・制御技術をベースに、IP66筐体と危険場所向け認証仕様を用意した堅牢シリーズです。粉塵、湿気、洗浄環境、可燃性ガスを扱う設備など、設置条件への配慮が求められる用途に対応します。 製品選定では、流量レンジだけでなく、ガス種、入口・出口圧力、必要差圧、バルブ仕様、配管接続、シール材質、通信方式、設置環境まで確認します。 製品単体の機能比較だけではなく、設備の一部として安定して運用できる仕様を選ぶ。それが、SLA5800／SLAMFシリーズのコンセプトです。

研究開発・小型装置向けマスフローコントローラ 小型化と高精度制御を両立。研究開発から環境・エネルギー分野まで幅広く対応。 GCシリーズは、MEMSセンサを採用した超小型マスフローコントローラです。限られた設置スペースでも高精度・高速応答・優れた再現性を実現し、分析装置や研究開発設備、小型OEM装置などの設計自由度を高めます。 ■ このような課題をお持ちの方へ ・装置の小型化・軽量化 ・限られたスペースへの高性能流量制御機器の組み込み ・評価試験・実験における流量制御の高精度化・再現性向上 ・複数ガスの安定した流量制御 ・既存MFCの小型・低消費電力モデルへの置き換え ※詳しくはカタログをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。