電線製造業へ「冷却チラー設置工事」を行った実績について ご紹介いたします。 チラー設置、配管施工、制御BOX、緊急停止時保護ユニットの 製作・設置を行いました。 ご用命の際は、当社へお気軽にお問い合わせください。 【実績概要】 ■冷却チラー設置工事 ・チラー設置、配管施工、制御BOX、緊急停止時保護ユニット ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

• チラー

電線製造業へ「ガス供給設備設置工事」を行った実績について ご紹介いたします。 シリンダーキャビネット、ガスパネル、ガス配管、ガス検知器の 製作・設置を行いました。 ご用命の際は、当社へお気軽にお問い合わせください。 【実績概要】 ■ガス供給設備設置工事 ・シリンダーキャビネット、ガスパネル、ガス配管、ガス検知器 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

• 機械・設備据付/解体/移設

電線製造業へ「クリーンブース設置工事」を行った実績について ご紹介いたします。 空気清浄度が確保されたブースの設置工事(設置場所床工事、外部排気 ダクト・排気ファン工事含む)を実施。 ご用命の際は、当社へお気軽にお問い合わせください。 【実績概要】 ■クリーンブース設置工事 ・設置場所床工事、外部排気ダクト・排気ファン工事含む ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

• クリーンブース

精密部品製造業へ「手動操作装置」の操作・制御系の改造を行った 実績についてご紹介いたします。 PLCの制御系を追加して、バルブ開閉などの手動操作をタッチパネルで 操作できるようにに改造し、各種インターロックを導入。 改造箇所は、手動バルブを圧空式バルブへ変更、真空計の追加、排気、圧力、 ガスに関わるインターロックの導入、自動排気モードの導入(DP＋TMP立上げ からチャンバ排気まで)となります。 【実績概要】 ■改造内容 ・バルブ開閉などの手動操作部分をタッチパネルで操作出来る様に改造 ・PLC追加で可能となった各種インターロックの導入 ■改造箇所 ・手動バルブを圧空式バルブへ変更、真空計の追加 ■制御/操作：PLC/タッチパネル ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

• 真空機器

一般産業機器製造業へ「分析装置用装置・加熱ヒータ制御BOX」を 製造した実績についてご紹介いたします。 分析工程に装置・加熱ヒータの制御盤製作とPLCプログラム作成を実施。 その他に、PE-CVD装置、熱CVD装置、スパッタチャンバ設計・製作、 大気圧プラズマ用電極ユニット設計・製作なども行っております。 ご用命の際は、当社へお気軽にお問い合わせください。 【実績概要】 ■製作内容：装置・加熱ヒータに関わる制御盤、PLCプログラムの製作 ■PLCプログラム ・手動運転、自動運転(RECIPE)、ヒータ制御モード選択機能、 　各種インターロック ■制御/操作：PLC/PC ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

• その他 分析・検査機器

プラント設備製造業へ「実験用真空チャンバー」を製造した実績について ご紹介いたします。 プラント事業の容器内を真空状態にする設備を導入。真空チャンバーの サイズは、φ10B×高さ1200mmで、到達真空度が10Pa以下となっており、 真空ポンプは、空冷式ドライ真空ポンプ。 ご用命の際は、当社へお気軽にお問い合わせください。 【実績概要(抜粋)】 ■真空チャンバー 材質：ステンレス製 ■真空チャンバー サイズ：φ10B×高さ1200mm ■真空チャンバー 容量：約58L ■到達真空度：10Pa以下 ■真空ポンプ：空冷式ドライ真空ポンプ ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

• 真空機器

高性能新規レーザの開発へ「実験用高真空装置」を製造した実績について ご紹介いたします。 高真空で表面処理する実験装置を研究機関の表面処理工程に導入。 真空チャンバーの材質はステンレス製で、容量が約26.5Lになっており、 サイズは、幅400mm×奥行290mm×高さ340mm。 ご用命の際は、当社へお気軽にお問い合わせください。 【実績概要】 ■真空チャンバー 材質：ステンレス製 ■真空チャンバー サイズ：幅400mm×奥行290mm×高さ340mm ■真空チャンバー 容量：約26.5L ■到達真空度：1×10-4Pa以下 ■真空ポンプ：ロータリーポンプ＋ターボ分子ポンプ ■制御/操作：手動(オプションで自動可) ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

• 真空機器

自動車・バイク部品製造業へ「立体物対応実験用プラズマCVD装置」を 製造した実績についてご紹介いたします。 立体物にDLC、アモルファスSiC等が成膜可能な基材加熱機構付き (最高設定温度：500℃)の製品を導入。 また、PC操作(シーケンサー制御)で、全自動、データロギングが できます。ご用命の際は、当社へお気軽にお問い合わせください。 【実績概要】 ■立体物に成膜可能な実験用プラズマCVD装置 ■対応可能膜種：DLC、アモルファスSiC等 ■基材加熱機構付き(最高設定温度：500℃) ■PC操作(シーケンサー制御)で、全自動、データロギング ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

• 真空機器

当社で取り扱う『立体物対応実験用プラズマCVD装置』をご紹介いたします。 立体物に成膜可能で、対応可能膜種はDLC、アモルファスSiC等。 PC操作（シーケンサー制御）で、全自動、データロギングが可能です。 当社では実験装置から生産装置まで、お客様のご要望、ご予算に合わせて 装置を設計、製造いたします。ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■立体物に成膜可能な実験用プラズマCVD装置 ■対応可能膜種：DLC、アモルファスSiC等 ■基板加熱機構付き（最高設定温度：500℃） ■PC操作（シーケンサー制御）で、全自動、データロギング ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• プラズマ発生装置
• CVD装置

当社で取り扱う『実験用真空チャンバー』をご紹介いたします。 チャンバー材質はステンレス、チャンバー容量は約58L。空冷式ドライ 真空ポンプを搭載しております。 当社では実験装置から生産装置まで、お客様のご要望、ご予算に合わせて 装置を設計、製造いたします。ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。 【仕様（抜粋）】 ■チャンバー材質：ステンレス製 ■チャンバーサイズ：Φ10B×高さ1200mm ■チャンバー容量：約58L ■到達真空度：10Pa以下 ■真空ポンプ：空冷式ドライ真空ポンプ ■排気ポート：1ヶ所 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 真空機器
• 真空ポンプ

当社で取り扱う『実験用高真空装置』をご紹介いたします。 チャンバー材質はステンレスで、チャンバー容量は約26.5L。到達真空度は 1×10-4Pa以下です。 当社では実験装置から生産装置まで、お客様のご要望、ご予算に合わせて 装置を設計、製造いたします。ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。 【仕様】 ■チャンバー材質：ステンレス製 ■チャンバーサイズ：幅400mm×奥行290mm×高さ340mm ■チャンバー容量：約26.5L ■到達真空度：1×10-4Pa以下 ■真空ポンプ：ロータリーポンプ＋ターボ分子ポンプ ■制御／操作：手動(オプションで自動可) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 真空機器
• 真空ポンプ

株式会社DINOVACの取り扱う『セラミック製品』についてご紹介します。 黒色で、他のファインセラミックスと比べ高温域(1000℃以上)での機械強度の 低下が小さく、耐摩耗性の高い「炭化ケイ素」をはじめ、熱膨張係数が 極めて小さい「ムライト」や、良好な電気絶縁特性を生かし電気部品に 応用できる「アルミナ」などを各種ご用意。 ご要望に合わせてお選びいただけます。 【ラインアップ】 ■炭化ケイ素 ■ムライト ■コージライト ■アルミナ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

• セラミックス

『モリブデン Mo/MoLa』は、他元素を微量に添加させることにより 特性の調整が可能です。 引張強度は「Mo」で650MPa、「MoLa」で790MPa。体積抵抗率は共に 5Ω・cmです。 熱膨張率が低く、高温の環境下でも形状安定性がきわめて高いうえ、 高融点金属のなかでは加工性に優れます。 【特長】 ■熱膨張率が低く、高温の環境下でも形状安定性がきわめて高い ■高融点金属のなかでは加工性に優れる ■他元素を微量に添加させることにより特性の調整が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• レアメタル

『タングステン W/WAL』は、金属としては比較的大きな電気抵抗を持ち、 フィラメントやヒーター、坩堝などで利用されます。 最高使用温度は3000℃、引張強度は850MPa。他元素を微量に 添加させることにより、特性の調整が可能です。 また、熱膨張率が低く、超高温の環境下でも形状安定性が きわめて高いことが特長です。 【特長】 ■金属のなかで融点が高い ■熱膨張率が低く、超高温の環境下でも形状安定性がきわめて高い ■金属としては比較的大きな電気抵抗を持ち、 　フィラメントやヒーター、坩堝などで利用 ■他元素を微量に添加させることにより特性の調整が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• レアメタル

当社では真空装置の設計、製造、納入までを一貫して行い、納入後の プロセスサポート、改造、メンテナンスまで対応しております。 「こういう形の物に膜をつけられる装置」、「こういう事が出来る装置」など、 ご要望をお聞かせいただき、適切な装置をご提案させていただきます。 一から設計しますので、お手持ちのポンプをご支給いただいたり、 このメーカのバルブを使って欲しいなどのご要望にも柔軟に対応いたします。 【真空装置、部品の製作事例】 ■PE-CVD装置 ■熱CVD装置 ■スパッタ装置チャンバ設計・製作（チャンバスケッチ・設計・製作） ■大気圧プラズマ用電極ユニット設計・製作 ■画像評価装置制御BOX製作　など ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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• その他受託サービス