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トルンプ株式会社

設立1977年11月25日
資本金10000万
従業員数200名
住所神奈川県横浜市緑区白山1-18-2
電話045-931-5722
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  • 公式サイト
最終更新日:2025/10/07
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プラズマ電源 プラズマ電源
プラズマ電源

プラズマ電源

トルンプのプラズマ発生用電源 TruPlasma について

直流電源

スパッタリング、硬質コーティング、HiPIMSで活躍する直流電源

トルンプの直流電源は、エンドユーザー様のプロセスの最適化と再現性をサポートします。 過酷な環境でも動作するように設計されており、出力精度と異常放電の抑制において妥協を許しません。 モジュール式の直流電源は組み合わせることで、簡単に電力範囲を拡張することができます。 スパッタリング、硬質コーティング、DLCコーティング、HiPIMSなど様々なアプリケーションに対応した製品ラインアップを展開しています。

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バイポーラ電源およびMF電源

スパッタリング、プラズマCVD、各種コーティングで活躍するバイポーラ電源とMF電源

トルンプのバイポーラ電源およびMF電源は、幅広い出力範囲と高度な異常放電抑制の技術『ArcManagement』により、難度の高い反応性プロセスにおける高い成膜レートと高品質のコーティングの実現をサポートします。 従来MF電源が利用されていた50kW未満の出力範囲では、現在バイポーラ電源が広く代替利用されており、コンパクトなサイズから省スペース化が図れる点も好評です。

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高周波電源および整合器

エッチング、スパッタリング、CVDで活躍する高周波電源

トルンプの高周波電源は、半導体製造のエッチングやスパッタリングをはじめ、様々なアプリケーションで幅広く使われています。 独自の技術が生み出す高精度な出力制御、高い出力効率と堅牢な設計によりエンドユーザー様における高いスループットや運用コストの削減、省エネを安定的にサポートします。 トルンプは高周波電源にとって欠かせない整合器(マッチボックス)も揃えており、高度なアルゴリズムとプロセスモニターが可能なデジタル制御プラットフォームによって、迅速なインピーダンス整合が可能です。

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マイクロ波電源

高密度プラズマ発生で活躍するソリッドステート・マイクロ波電源

トルンプのマイクロ波電源は、ソリッドステート方式による高精度な出力制御により安定した高密度プラズマ発生を実現します。 定期的な消耗部品交換が必要な従来のマグネトロン方式に比べて長寿命のため運転コストが低く、サイズもコンパクトです。

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    IoTデバイス開発・運用の課題を解決。各ポイント解説資料を進呈

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