トルンプの製品ラインアップ

トルンプの直流電源は、エンドユーザー様のプロセスの最適化と再現性をサポートします。 過酷な環境でも動作するように設計されており、出力精度と異常放電の抑制において妥協を許しません。 モジュール式の直流電源は組み合わせることで、簡単に電力範囲を拡張することができます。 スパッタリング、硬質コーティング、DLCコーティング、HiPIMSなど様々なアプリケーションに対応した製品ラインアップを展開しています。

トルンプのバイポーラ電源およびMF電源は、幅広い出力範囲と高度な異常放電抑制の技術『ArcManagement』により、難度の高い反応性プロセスにおける高い成膜レートと高品質のコーティングの実現をサポートします。 従来MF電源が利用されていた50kW未満の出力範囲では、現在バイポーラ電源が広く代替利用されており、コンパクトなサイズから省スペース化が図れる点も好評です。

トルンプの高周波電源は、半導体製造のエッチングやスパッタリングをはじめ、様々なアプリケーションで幅広く使われています。 独自の技術が生み出す高精度な出力制御、高い出力効率と堅牢な設計によりエンドユーザー様における高いスループットや運用コストの削減、省エネを安定的にサポートします。 トルンプは高周波電源にとって欠かせない整合器（マッチボックス）も揃えており、高度なアルゴリズムとプロセスモニターが可能なデジタル制御プラットフォームによって、迅速なインピーダンス整合が可能です。

トルンプのマイクロ波電源は、ソリッドステート方式による高精度な出力制御により安定した高密度プラズマ発生を実現します。 定期的な消耗部品交換が必要な従来のマグネトロン方式に比べて長寿命のため運転コストが低く、サイズもコンパクトです。