キッツエスシーティーの製品ラインアップ

当製品は、バイパス弁もエアー駆動により、自動で開閉が可能なバルブです。 緊急遮断機能付きで、緊急時はバイパス弁も自動で遮断することが可能。 大流量・小流量の切替を1台のバルブで可能にし、薬液充填ラインなどで 省スペース化に役立ちます。 【特長】 ■バイパス弁もエアー駆動により自動で開閉が可能 ■大流量・小流量の切替を1台のバルブで可能 ■薬液充填ラインなどで省スペース化に役立つ ■緊急時はバイパス弁も自動で遮断することが出来る ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

当製品は、流体を停止した時にノズル先端からの液だれを防止する サックバック機能付バルブです。 サックバック機能のみの「サックバック弁単弁」と、液体のON/OFF、 サックバック機能の「サックバック弁＋ON/OFF自動弁一体型」をご用意。 塗布工程や薬液充填工程等で、定量精度の向上に役立ちます。 【特長】 ■サックバック機能付 ■流体を停止した時にノズル先端からの液だれを防止 ■塗布工程や薬液充填工程等で定量精度の向上に役立つ ＃サックバックバルブ ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

「FCDNシリーズ」はクリーンで使いやすく、逆圧に対しても 高い封止性能があるバルブです。 『流量調整付自動弁』は、全開流量を任意に設定可能。 バルブサイズは1/4"、3/8"、1/2"、3/4"、1"をご用意しており、 流体温度は5～100℃、周囲温度は0～60℃となっています。 【仕様（抜粋）】 ■流体温度：5～100℃ ■周囲温度：0～60℃ ■耐圧：1.0MPa ■弁座漏れ：0cm3/min（水圧にて） ■駆動方式：N.C./N.O./複動 ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

「FCDNシリーズ」はクリーンで使いやすく、逆圧に対しても 高い封止性能があるバルブです。 『バイパス付自動弁』は、バルブ閉時にもバイパス流路により 流体の滞留を防ぎ、バイパス弁開度の調整で節水も可能。 バルブサイズは1/4"、3/8"、1/2"、3/4"、1"をご用意しており、 流体温度は5～100℃、周囲温度は0～60℃となっています。 【仕様（抜粋）】 ■流体温度：5～100℃ ■周囲温度：0～60℃ ■耐圧：1.0MPa ■弁座漏れ：0cm3/min（水圧にて） ■駆動方式：N.C./N.O./複動 ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

WET系樹脂バルブ「FCDNシリーズ」はクリーンで使いやすく、逆圧に対しても 高い封止性能があるバルブです。 『流量調整＋バイパス付自動弁』は、流量設定、エア駆動開閉、 バイパス流路の確保など1台3役の複合弁です。 バルブサイズは1/4"、3/8"、1/2"、3/4"、1"をご用意しており、 流体温度は5～100℃、周囲温度は0～60℃となっています。 【仕様（抜粋）】 ■流体温度：5～100℃ ■周囲温度：0～60℃ ■耐圧：1.0MPa ■弁座漏れ：0cm3/min（水圧にて） ■駆動方式：N.C./N.O./複動 ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『FCDNシリーズ』は、クリーンで使いやすく、逆圧に対しても 高い封止性能があるバルブです。 超高純度流体に対応したフッ素樹脂製の「手動弁・自動弁手動」をはじめ、 全開流量を任意に設定できる「流量調整付自動弁」や「バイパス付自動弁」 などをラインアップ。 用途に応じてお選びください。 【ラインアップ（抜粋）】 ■FCD 手動弁 ■FCD 自動弁 ■FCD 自動弁（各種機能付） ・流量調整付自動弁 ・バイパス付自動弁 ・流量調整＋バイパス付自動弁 ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『FCDT』は、200℃流体に対応できるWET系バルブです。 自動弁はインジゲータ（開閉表示）を標準装備しており、 手動弁はLOTO（鍵）機構付で安全対策にも使用可能。 また、手動弁は3段階に開度設定ができるステップトグル操作方式を 採用し、全開だけでなく中間開度（2段階）を設定出来ます。 【特長】 ■200℃流体に対応 ■自動弁はインジゲータ（開閉表示）を標準装備 ■手動弁はLOTO（鍵）機構付で安全対策にも使用可能 ■手動弁は3段階に開度設定ができるステップトグル操作方式を 　採用し、全開だけでなく中間開度（2段階）を設定出来る ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

半導体製造工場の装置・設備ごとに使用されるバルブについて まとめた技術資料です。 成膜装置、エッチング装置、洗浄装置といったプロセス装置から、 シリンダーキャビネット、ガス精製装置、液体供給システム、VMB、 除害装置、ユーティリティ配管などの設備まで、各工程でバルブに 求められる条件と当社製品例を掲載しています。 製品選定の参考としてぜひご活用ください。 【掲載内容(一部)】 ■成膜装置(枚葉式/バッチ式/縦型)で使用される製品 ■エッチング装置の役割と使用されるバルブ ■洗浄装置の役割と使用されるバルブ ■成膜工程を支える設備・装置に使用されるバルブ ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。