キッツエスシーティーの製品・サービス一覧

『2連3方バルブ（フリッカータイプ）』は、当社の2連3方ブロック バルブのボディ部を更にコンパクトに設計し、デッドスペースを 究極にまで少なくした複合バルブです。 2つのバルブアクチュエーターはセンター部のボディを中心とし、 両側に水平対向した位置にレイアウト。 ダイヤフラム標準タイプの「KDシリーズ」から、コンパクトタイプの 「KCDシリーズ」、高圧タイプの「RDシリーズ」の各種バルブシリーズを ご用意しております。 【特長】 ■当社の2連3方ブロックバルブのボディ部を更にコンパクトに設計 ■2つのバルブアクチュエーターは両側に水平対向した位置にレイアウト ■コンパクト設計の為バルブボックス内のレイアウト設計が容易 ■バルブボックス自体の省スペース化が可能 ■形状が単純な為、ヒータージャケット、断熱材の設計が容易 ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『2連3方バルブ（ブロックタイプ）』は、KD・KCD・RD シリーズ、 各シリーズダイヤフラムバルブの2台（2連）を一つにまとめ、配管流路を 共通化することによりデッドスペースを極小化した脱ガス特性の優れたバルブです。 基本性能は、ベースとなるバルブの性能を受け継ぎ、同種及び異種の 組み合わせにより、配管システムを極小にコンパクト設計することが可能。 また、配管レイアウトに合わせた好適のフローシステム、配管取り回し、 継手種類を選択する事ができます。 【特長】 ■優れた脱ガス特性 ■基本性能は、ベースとなるバルブの性能を受け継ぐ ■配管システムを極小にコンパクト設計することが可能 ■好適のフローシステム、配管取り回し、継手種類を選択できる ■特殊仕様として更に3連以上の多連のブロックバルブを設計・製作可能 ＃マニホールドバルブ ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『KCDシリーズ』は、「KDシリーズ」をベースとして更なるコンパクト化を 図ったダイレクトダイヤフラムバルブです。 耐久性能を落すことなく、自動弁400万回、手動弁10万回を実現。 最高レベルの製造環境と内面研磨処理により、多くの半導体用高純度ガスに 対応しパーティクル性能を極限まで追及しました。 【特長】 ■KDシリーズの内容積1.2cm3に対し、0.97cm3まで小さくする事に成功 ■品種を1/4" サイズに限定しKDシリーズと同じデザインを持ちながら 　外観サイズを約20%縮小、重量も軽量化 ■耐久性能を落すことなく、自動弁400万回、手動弁10万回を実現 ■多くの半導体用高純度ガスに対応しパーティクル性能を極限まで追及 ＃空圧 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『KDシリーズ』は、高いCv値を実現し、半導体用高純度ガスに対応できる 品質を備え、高耐久・高耐蝕性能を両立させた信頼性の高いバルブです。 ボディ縦穴寸法を最小限にし、内容積を1.36cm3まで小さくする事により 優れたガス置換特性を実現。 最高レベルの製造環境と内面研磨処理により、半導体用高純度ガスに 対応しパーティクル性能を極限まで追及しました。 【特長】 ■内容積を1.36cm3まで小さくする事により優れたガス置換特性を実現 ■高いシール性能と高耐久化、脱ガス性能、耐蝕性能を極限まで追求 ■厳選されたダイヤフラム素材による高耐蝕性能と、独自の成型方法による 　加工により極限まで個体差をなくし、高い耐久性能を実現 ■半導体用高純度ガスに対応しパーティクル性能を極限まで追及 ＃空圧 ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

当社が取り扱う、高純度ガス系バルブ『LOTOバルブ』をご紹介します。 バルブがCLOSE状態になると、ハンドルが下がり、鍵用の穴が見える 状態になり、バルブをOPEN状態にする場合は、ハンドルを上げて回します。 また、ハンドル上部の穴に南京錠またはワイヤー（最小φ3.18）を通すことで、 バルブのLock-out Tag-outができ、ヒューマンエラーによる誤操作防止に役立ちます。 【特長】 ■バルブがCLOSE状態になると、ハンドルが下がり、鍵用の穴が見える ■バルブをOPEN状態にする場合は、ハンドルを上げて、回す ■ハンドル上部の穴に南京錠またはワイヤー（最小φ3.18）を通すことで、 　バルブのLock-out Tag-outができ、作業者の誤操作防止に役立つ ■オプションでOPEN状態、OPEN-CLOSE両方の状態でも対応可能 ※KITZ SCTでは半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。 詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『NRDシリーズ』は、新型高出力アクチュエータと内ネジボディ構造を採用し シンプルでコンパクトなデザインを追求した高圧ダイヤフラムバルブです。 高圧に対応するバルブとして少流量から大流量タイプまでの 幅広い流量レンジをラインアップ。 全シリーズ スプリングレスダイヤフラム構造としパーティクルを低減しました。 【特長】 ■スリムでコンパクトなデザイン ■ハイフロータイプをラインアップ ■スプリングレスダイヤフラム構造を採用 ■高圧ガス大臣認定品の対応が可能（オプション） ■特殊仕様、ブロックバルブ対応（オプション） ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。 詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『NRHD8Cシリーズ』は、Cv1.0 ハイフロータイプの自動バルブです。 ＃空圧 新開発の高出力アクチュエータとスプリングレスダイヤフラム構造を 採用することにより安全・高耐久・パーティクルフリーを実現。 フラットパネルディスプレイ工場や大口径ウエハ向け半導体工場などの 大流量供給システムに好適です。 【特長】 ■Cv1.0 ハイフロータイプ ■新開発の高出力アクチュエータとスプリングレスダイヤフラム構造を 　採用することにより安全・高耐久・パーティクルフリーを実現 ■フラットパネルディスプレイ工場や大口径ウエハ向け半導体工場などの 　大流量供給システムに好適 ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。 詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『NRMD8Cシリーズ』は、Cv0.75 ミディアムフロータイプの自動バルブです。 ＃空圧 BSGS（特殊材料ガス大量供給装置)・GS等の高圧ガス機器向けに アクチュエータをスリム化。 新開発の高出力アクチュエータとスプリングレスダイヤフラム構造を 採用することにより安全・高耐久・パーティクルフリーを実現しました。 【特長】 ■Cv0.75 ミディアムフロータイプ ■BSGS・GS等の高圧ガス機器向けにアクチュエータをスリム化 ■新開発の高出力アクチュエータとスプリングレスダイヤフラム構造を 　採用することにより安全・高耐久・パーティクルフリーを実現 ※※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。 詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『RDシリーズ』は、高圧に対応するバルブでありながら、コンパクト化と 低トルク化を実現したダイヤフラムバルブです。 「手動弁」は、なめらかな操作感触となっており、一目で開閉状態が 確認できるように、大きい窓と見やすいOPEN/CLOSE表示を採用。 「自動弁」は、ボディとアクチュエーター結合部の剛性をアップして、 信頼性を向上させ、特許を取得しているクサビ式倍力機構を採用することで、 コンパクトで高耐久のアクチュエーターを実現しました。 【特長】 ＜手動弁＞ ■大型ホイールハンドルの採用により、なめらかな操作感触 ■一目で開閉状態が確認できるように、大きい窓と見やすいOPEN/CLOSE表示を採用 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『KD-Sシリーズ』は、独自の技術を取り入れ高温環境下で使用が可能な ダイヤフラムバルブです。 流量の再現性を求められる原子層堆積（ALD）プロセスのプリカーサー （前駆体）供給に好適。 樹脂シートの採用によりメタルシートタイプと比べ高温環境下での シートリークやライフサイクルなどの耐久性能が向上しました。 【特長】 ■高温環境に対応 ■製品誤差がなく交換後も互換性を確保 ■安定して再現性のあるガス流量が得られる ■耐熱性及び耐腐食性に優れたPFAをシート材に採用 ■高温環境下でのシートリークやライフサイクルなどの耐久性能が向上 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『TD/TCD（B-SEAL バルブ）』は、KITZ SCT独自のシール方式のバルブです。 従来の4点締め施工ではなく、Center-lock方式を採用。 バルブ交換が非常に簡素化され、メンテ施工性が非常に優れており、 ユーザーの生産性に大きく貢献致します。 また、バルブとブロックの装着時の配置ミスを防ぐため、バルブと ブロック部の接合点の切り目サイズが、それぞれIn側、Out側で 異なった設計になっております。 【特長】 ■メンテ施工性が非常に優れており、ユーザーの生産性に大きく貢献 ■手動弁は、誤作動防止のため、ロック機構が装備されている ■トグルハンドルにより、限られたスペースでも容易にハンドル操作が可能 ■ブロックタイプでは、流路に沿ってカートリッジヒータをブロック内蔵 　することができ、温度制御性ベークアウト性が大幅に改善される ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『TD/TCD（C-SEAL バルブ）』は、1.125" C-sealに対応する コンパクト設計されたバルブです。 1.125" C-seal用のサーフェスマウント向けとして手動・自動弁を 揃えており、手動弁は、90°回転ハンドルで、誤作動防止の LOTO機構付きもご用意。 ブロックとのシール部硬度はHv300に管理されており、繰返し着脱での シール性能を高めています。 【特長】 ■TD4シリーズのCv値は0.3 ■1.125" C-seal用のサーフェスマウント向けとして手動・自動弁を揃えている ■手動弁は90°回転ハンドルとなっており、誤作動防止のLOTO機構付きもある ■接ガス部は、Chrome richプロセスを施し、Cr/Fe>2.0を達成（オプション） ■ブロックとのシール部硬度はHv300に管理され、繰返し着脱でのシール性能を高める ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『VLCDシリーズ』は、基本性能は従来の「KDシリーズ」の性能を 受け継いだまま、部品の共通化を実施したダイヤフラムバルブです。 各部品の見直し、材料の見直しを実施し、低コストプライスを実現。 洗浄工程、検査工程は、従来品と同等のため、半導体、FPD、LED用 製造装置等へご使用いただけます。 【特長】 ■従来の「KDシリーズ」の性能を受け継いだまま、部品の共通化を実施 ■外観サイズを従来品の「KDシリーズ」に対し、20％縮小化を実現 ■各部品の見直し、材料の見直しを実施し、低コストプライスを実現 ■半導体、FPD、LED用製造装置等へ使用可能 ＃空圧 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『VLDシリーズ』は、「KDシリーズ」をベースとして使いやすさと シンプルさを追求したダイヤフラムバルブです。 基本性能や素材及び洗浄度はそのままで部品の見直しや加工方法の変更及び 部品数を削減し安全で且つ低プライスを実現。 最高レベルの製造環境と内面研磨処理により、半導体用高純度ガスに対応し パーティクル性能を極限まで追求しました。 【特長】 ■駆動部品数の最小化、単純化を実現 ■安全で且つ低プライスを実現 ■洗浄工程及び検査工程は従来モデルと同等 ■信頼性及び耐久性性能は変わらない ■半導体用高純度ガスに対応しパーティクル性能を極限まで追求 ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『VRDシリーズ』は、封入ガス圧20.6MPaに対応する1/4"高圧用 ダイレクトダイヤフラムバルブです。 従来品の「RDシリーズ」の性能そのままに、部品点数の削減を行い 低プライス化を実現。全サイズの高さを従来品より6mm短縮し コンパクト化しています。 高圧及び高度の真空保持や外気への漏れを完全に防止したい ガスラインや装置内配管等にご使用いただけます。 【特長】 ■封入ガス圧20.6MPaに対応 ■従来品の性能そのままに、部品点数の削減を行い低プライス化を実現 ■「RDシリーズ」に比べ操作トルクの低減を行っている ■全サイズの高さを従来品より6mm短縮しコンパクト化 ■低トルク、コンパクト化を実現したことにより今まで以上に使いやすい ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『ZCDシリーズ』は、バルブ内の内容積（デッドボリューム）を極限まで 小さくして、ガスの置換特性を高めたダイヤフラムバルブです。 ダイヤフラムの真空閉鎖防止、およびオープン速度を向上させるために、 リフト（ASSY）部がダイヤフラムを強制リフトします。 また、リフト（ASSY）部はユーザーサイドで交換可能です。 【特長】 ■バルブ閉時にシートからメイン流路までのデッドボリュームを最小級に 　することで、極めて良好なガス置換特性となっている ■ダイヤフラムの真空閉鎖防止、およびオープン速度を向上させるために、 　リフト（ASSY）部がダイヤフラムを強制リフトする ■リフト（ASSY）部はユーザーサイドで交換可能 ＃デッドスペース ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

株式会社キッツエスシーティーが取り扱う、半導体製造向け高純度ガス系バルブ『クイックターンバルブ』をご紹介します。 接続継手が1/4"CVCオスの「KD4QTS-VC」をはじめ、「KD8QTS-VC」、 「KD4QTS-VFC」、「KD8QTS-VFC」など多彩なラインアップをご用意。 中間開度がなく、必ず"OPEN"または"CLOSE"状態を保持し、バルブの半開など、ヒューマンエラーによるバルブ誤作動の防止に役立ちます。 【特長】 ■蝶型ハンドルにより、操作性が向上 ■中間開度がなく、必ず"OPEN"または"CLOSE"状態を保持 ■バルブの半開防止に役立つ ※KITZ SCTでは半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。 詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『ツーステップバルブ』は、1台で手動による流量調整と エアーアクチュエーターによる全開/全閉の2段階のコントロールを 可能とした画期的な複合バルブです。 ニードルではなくダイヤフラムで流体を制御するため、 パーティクルフリーとスピーディーなガス供給を実現。 従来システムのバイパス配管や制御機器が不要になり、 大幅なコストダウンと省スペース化が可能です。 【特長】 ■1台で手動による流量の調整とエアーアクチュエーターによる 　全開/全閉の2段階のコントロールを可能 ■パーティクルフリーとスピーディーなガス供給を実現 ■従来システムのバイパス配管や制御機器が不要 ■大幅なコストダウンと省スペース化が可能 ■使用目的に合わせた好適なCv値が任意で設定できる ※ＫＩＴＺ ＳＣＴでは半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っています。 詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『KDシリーズ』は、異常圧力が発生した際、配管内の圧力を下げる 安全機能付きダイヤフラムバルブです。 選べるクラッキング圧力(1.0-1.4MPa(G)または1.6-2.0MPa(G))と 接ガス部にスプリング・Oリングが無いパーティクルフリー構造。 シリンダーキャビネット等の安全対策にご使用いただけます。 【特長】 ■配管内がクラッキング圧力以上になると自動的に一次側の 　圧力を下げる安全機能が搭載 ■選べるクラッキング圧力(1.0-1.4MPa(G)または1.6-2.0MPa(G)) ■接ガス部にスプリング・Oリングが無いパーティクルフリー構造 ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『高温（250℃）対応バルブ』は、バルブ構成部品を全て オールメタル化することにより、250℃での使用が可能です。 独自の設計により高温環境でのCv値の落ち込みを極力減少させ、 高性能、コンパクト、低価格を実現。 また、接ガス部だけでなく、アクチュエーターを含むバルブの 構成部品全てが高温環境下で使用可能なため、均熱性を必要とする 有機金属系のプロセスで好適に使用することが出来ます。 【特長】 ■バルブ構成部品全てオールメタル化により、250℃での使用が可能 ■Cv値の落ち込みを極力減少させ、高性能、コンパクト、低価格を実現 ■アクチュエーターを含むバルブの構成部品全てが高温環境下で使用可能 ■均熱性を必要とする有機金属系のプロセスで好適に使用することが出来る ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。 詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『BZD』シリーズは、従来の汎用バタフライバルブに独自のクリーン化技術を 投入し完成された、半導体グレードに対応したバタフライバルブです。 本体及び接液部品がステンレス製のウエハー形の工業用バタフライバルブで、 パーティクルの滞留や付着を少なくするため、接ガス（接液）部を研磨仕上げと 禁油処理を施しております。 ブラケットとコネクターを介して、空気式アクチュエーターの搭載が可能です。 【特長】 ■二重偏心構造を採用し高いシール性を確保 ■小さな開閉トルクで操作が可能 ■シート材質は耐久性のあるPTFEを採用 ■小さな力で操作でき、レバー操作式に比べ小スペースの配管が可能 ■ブラケットとコネクターを介して、空気式アクチュエーターの搭載が可能 ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『IBC/IBD/IBE』シリーズは、「SBB」シリーズ同様、コンパクトな 設計でありながら高いCv値と耐久性能を持った供給ラインで使用 することを前提とした、大径のパイプサイズベローズバルブです。 「IBC/IBD」タイプの内面は、全面円筒機械加工することにより、 均一に仕上がっており、「IBE」タイプはベアリング内蔵のネジスリーブ 構造の為、ハンドルトルクが小さく操作性に優れております。 パージポートをオプション仕様として､1次側､2次側､両側に対応可能です｡ 【特長】 ■当社独自のY型構造の為、S型より高いCv値を実現 ■シート部はガス溜りや発塵を少なくする構造を採用 ■コンパクトな設計 ■大径サイズストレートタイプ ■パージポートをオプション仕様として､1次側､2次側､両側に対応可能 ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『IC』シリーズは、ポペット摺動タイプのチェックバルブです。 精密嵌合仕上げにより、スムーズな開閉動作を有しており、特別に デザインされたエラストマーにより、低圧から高圧までシール可能。 コンパクト設計によりガス溜りも極小に押さえた設計に仕上がっています。 【特長】 ■材質はSUS316L材を使用し、耐食性を向上 ■構成部品はシンプルな構造 ■メタルシールにより優れた外部気密 ■ガス溜り部を極小にしている ■エラストマーの弾性を利用し、優れた内部シール性 ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『KD-E』シリーズは、「KD」シリーズをベースにシートと ダイヤフラムを脱着交換可能な構造として、ランニングコストの 低減を実現するダイヤフラムバルブです。 シートとダイヤフラムの交換によってボディ・駆動部品を再利用可能。 液体材料容器用など、バルブを頻繁に交換・洗浄する用途に適しています。 また、専用の交換工具セットを使用することで、簡単かつ正確にシートと ダイヤフラムを交換できます。 【特長】 ■デッドボリュームが少なく置換特性良好 ■当社「WD」シリーズに較べ、バルブ内流路の内容積を1/4に削減 ■滞留部分を最小限に抑え、パージが容易に行える ■ランニングコストの低減　 ■シートとダイヤフラムの交換が容易 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『SBB』シリーズは、コンパクトな設計でありながら高いCv値と耐久性能を 持った供給ラインで使用することを前提とした、パイプサイズのベローズ バルブです。 エア供給口を頭部に設定することで、配管向きを気にすることがなく 設計でき、パージポートをオプション仕様として、1次側、2次側、両側に 対応可能。 シート部はガス溜りや発塵を少なくする構造を採用しています。 【特長】 ■ストレートタイプ ■ボディを鍛造にすることで軽量化 ■シート部はガス溜りや発塵を少なくする構造を採用 ■パージポートをオプション仕様として、1次側、2次側、両側に対応可能 ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『WD』は、半導体や液晶装置で使用されるTEOS等の高純度液体材料を 流体として使用できるダイヤフラムバルブです。 バルブの基本特性、パーティクル性能やパージ特性を維持しながら、 シート（ASSY）部の交換をユーザーサイドで可能としました。 また、アクチュエーター径φ39.7mmで、ラインピッチ40mmに 対応可能です。 【特長】 ■半導体や液晶装置で使用されるTEOS等の高純度液体材料を流体として使用可能 ■パージ特性等を維持しながら、シート（ASSY）部の交換をユーザーサイドで可能 ■材料容器の封止バルブに対し、メンテナンス性能の向上とランニングコストダウンに有効 ■シート（ASSY）部交換治具は「WD4手動弁シリーズ」と共通 ■アクチュエーター径φ39.7mmで、ラインピッチ40mmに対応可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

当製品は、真空用KFフランジ接続タイプのベローズバルブです。 高純度ガス用・真空用各種バルブをラインアップする当社の特長を 生かし、技術・ノウハウを融合させた加圧から真空までワイドレンジに 対応可能。 半導体製造などでのCVD等常圧プロセスの排気系ライン加圧検査用ガス導入ライン用にご使用いただけます。 【特長】 ■真空用KFフランジ接続タイプ ■大型チャンバー用のリークバルブ排気系検査用バルブに好適 ■加圧から真空までワイドレンジに対応可能 ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

当製品は、全開流量を任意に設定できるベローズバルブです。 アクチュエーター上部ローレット付黒ハンドルを回転させることにより、 流量調整可能となり1台で自動弁とニードルバルブの2台の特性を持ちます。 これにより、配管レイアウトの簡素化、及び省スペース化、コストの削減を 可能としました。 【特長】 ■可変流量バリアックタイプ ■1台で自動弁とニードルバルブの2台の特性を持つ ■配管レイアウトの簡素化、及び省スペース化、コストの削減が可能 ■高温仕様（最高使用温度180℃）も製作できる ■別途専用加熱ヒーター（ホットシェル）もご用意 ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

当製品は、高温・高耐食仕様のニードルバルブです。 ニードル部の超精密加工および、バックラッシュ（ギアやネジ 噛み合わせの後方にできる隙間、揺り戻し）が出ない構造の為、 正確に微少な流量を設定可能。 メタルガスケットを標準採用し、耐熱性に優れております。 【特長】 ■流量調整ニードルタイプ ■高温・高耐食仕様 ■ニードル部の超精密加工および、バックラッシュが出ない構造 ■メタルガスケットを標準採用 ■耐熱性に優れている ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『IB』シリーズは、ダイヤフラムバルブと比べ、高いCv値を 持つことにより設備の供給ラインなどの多くの流量を必要とした ユースポイントで性能を発揮するベローズバルブです。 ガス供給系だけでなく排気系の装置にも使用可能。 高温仕様、高耐食仕様、可変流量など特殊仕様のバルブについても 対応できます。 【特長】 ■デッドスペースを小さくした結果、パージ時間の短縮化を実現 ■ガス供給系だけでなく排気系の装置にも使用可能 ■高温仕様、高耐食仕様、可変流量など特殊仕様のバルブについても対応可能 ■独自のシート形状により、ディスクからのパーティクル発生の低減、 　耐久性の向上を計っている ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『TDFシリーズ』は、ＡＬＤ（原子層堆積）プロセスに必要な高速開閉、高耐久、耐食性、耐熱性、Cv安定性を兼ね備えた高純度ガス対応ダイヤフラムバルブです。 アクチュエータへの熱伝導を低減する構造を採用し、最高220℃までの 高温流体に使用可能。 工場出荷時に全数Cv値を調整しており、使用時のCv値変動率が少なく 安定したガス流量が得られます。 【特長】 ■高速開閉・高い応答安定性　＃高速応答 ■高温流体に対応 ■安定したCv値 ■高耐久 ■高純度ガス対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『TD-Sシリーズ』は、独自の技術を取り入れ高温環境下で使用が可能な 集積化ガスシステム対応のダイヤフラムバルブです。 バルブ全体を最高200℃までの高温環境で使用できることにより 効率の良いヒーティングが可能。 流量の再現性が求められる原子層堆積（ALD）プロセスのプリカーサ （前駆体）供給に適しています。 【特長】 ■高温環境に対応 ■安定したCv値 ■PFAシートの採用 ■多種多用なガスに使用可能 ■高耐久 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

出荷時に装置に付属するバルブが閉まっていることを確認していたが、輸送時の振動によりバルブハンドルが緩んでしまった。バルブハンドルに鍵をつけて管理しているものの作業者の鍵開け作業に時間がかかっている、など、装置輸送時における緩み防止などの課題はありますか。 KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。気になる事例がありましたらイプロスまたは当社ホームページ経由でお問い合わせください。 ホームページ：https://www.kitzsct.com/contact/product/?utm_source=Ipros&utm_medium=web&utm_campaign=Arbooth

忙しい時や、普段行わない操作が発生した場合などではオペレーションミスが起こりがちです。作業者の心理的負担を減らすことでヒューマンエラーによる事故を防ぐ事例をご紹介します。 KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。 気になる事例がありましたらイプロスまたは当社ホームページ経由でお問い合わせください。 ホームページ：https://www.kitzsct.com/contact/product/?utm_source=Ipros&utm_medium=web&utm_campaign=Arbooth

"貴重な設計時間をレイアウト検討に取られていませんか？メイン配管の大口径化に伴ないレイアウト設計は複雑化しています。また各種要件が厳しくなっており、施工性やメンテナンス性を考慮した配管設計が難しくなっています。 KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。気になる事例がありましたらイプロスまたは当社ホームページ経由でお問い合わせください。 ホームページ：https://www.kitzsct.com/contact/product/?utm_source=Ipros&utm_medium=web&utm_campaign=Arbooth

高純度ガス系バルブ ZDシリーズ、ZD-Kシリーズ（高温リプレイサブルバルブ）は、シート部脱着交換可能かつ、高温環境下で使用可能なダイヤフラムバルブです。 お客様自身でバルブシート交換が可能！ ・材料容器用など、バルブを洗浄・交換する用途に好適です。 　※ メンテナンス後は製品保証外となります ・高温環境下で使用可能！ ZD series：200℃まで、ZD-K series：250℃までの高温環境下で使用できます。 【特長】 ■サイズ：1/4"　1/2" ■駆動方法：自動　手動（ZD-Kのみ） KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

高純度ガス系バルブ『ZDシリーズ』『ZD-Kシリーズ』（高温リプレイサブルバルブ）は、 シート部脱着交換可能かつ、高温環境下で使用可能なダイヤフラムバルブです。 【特長】 ■お客様自身でバルブシート交換が可能！ 　バルブ内洗浄の際などにシート部のみの脱着交換が可能なためバルブを再利用できます。材料容器用など、バルブを洗浄・交換する用途に適しています。 　※メンテナンス後は製品保証外となります ■高温環境下で使用可能！ 　流体が通る内部だけでなく、外部も高温環境に耐性があります。 　『ZDシリーズ』200℃まで、『ZD-Kシリーズ』250℃までの高温環境下で使用できます。 ■PFAシート採用による耐久性能の向上 　メタルシートからPFAシートに変更することで、耐久性能を約16倍向上　※ ※当社実績値比較 ※メタルシート：5万回、ZD-Kシリーズ PFAシート：80万回 当社は半導体製造における流体関連のお悩みに対して様々な提案を行っております。 詳しくはPDF資料をご参照またはお気軽にお問い合わせ下さい