『Magma EFI HiRes』は、故障解析用検査装置です。 超電導磁気センサー(SQUID)を搭載し、極めて高い感度で種々のデバイスの どのような静的欠陥も見つけ出すことが可能。 サンプル表面から電流経路をたどることで3次元構造上の欠陥の位置を 特定することが可能なソフトウェアを有しています。 【特長】 ■超電導磁気センサー(SQUID)を搭載し、極めて高い感度で 　種々のデバイスのどのような静的欠陥も見つけ出すことが可能 ■サンプル表面から電流経路をたどることで3次元構造上の欠陥の位置を 　 特定することが可能なソフトウェアを搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

当社では、先端のIC等デバイスのパッケージに適応した故障解析のための 開封装置を提供しております。 独自の新規プラズマ技術MIP(Microwave Induced Plasmaマイクロ波誘導プラズマ)を有し、 O2(酸素)プラズマを用いてパッケージを除去。 また、一つの装置内でエッチング、洗浄、乾燥、一連のプロセスを 自動で行うことが可能です。 【特長】 ■マイクロ波誘導プラズマ ■O2プラズマ ■大気圧下プロセス ■全自動プロセス ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。