パルスレーザーを薄膜表面に　照射し、薄膜上で熱に変換されたエネルギーが 薄膜を熱膨張させる。 局所的に膨張した薄膜表面では音響振動が発生する。この音響振動の周波数 を物理モデルに導入し薄膜の膜厚やヤング率、ポアソン比を算出する。

【主な測定項目】 ■硬度 ■弾性率 ■降伏強度 ■粘弾性（貯蔵損失弾性率） ■破壊靭性 ■耐摩耗性 ■耐傷性 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。