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・SIMS、TOF-SIMS
分析手法別の分析事例を紹介! 【表面分析受託サービス】 ■不純物分析(定量、定性、面内分布、キャリア濃度、汚染、有機物など) ・SIMS(二次イオン質量分析) ・TOF-SIMS (飛行時間型二次イオン質量分析)