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・組成分析手法
分析手法別の分析事例を紹介! 【表面分析受託サービス】 ■組成分析(組成、膜厚、密度、結合状態、微小異物、マッピングなど) ・XPS/ESCA(X線光電子分光分析) ・AES, 300mm Wafer AES(オージェ電子分光分析) ・SEM-EDS(透過型電子顕微鏡) ・XRD (X線回折) ・RBS(ラザフォード後方散乱分析) ・HFS/EDRA(水素前方散乱分析) ・NRA(核反応分析) ・XRR(X線反射率測定)