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〇分析事例(用途別)
・接着及びボンディング ・表面の汚れ、表面の化学状態 ・材料中の汚染 ・材料組成、材料純度 ・材料の結晶性 ・界面、粒界 ・微小異物、パーティクル ・腐食 ・深さ方向分析 ・不純物濃度分析 ・拡散 ・マッピング ・表面形態、形状、膜厚