当資料は、光ヘテロダイン変位計「HV400」による、音叉振動測定による 音叉特性実験の報告資料です。 この実験を通して、音叉は単一振動ではなく複雑な振動が重畳している ということを示し、モードで説明されるような高調波（高周波側）成分 ではなく、低周波側成分を複数含んだ振動が存在するということが わかります。 その他にも、音叉特性を示す例を多数掲載しております。 【掲載内容】 ■HV400音叉振動測定（その1） ■HV400音叉振動測定（その2） ■HV400音叉振動測定（その4） ■HV400音叉振動測定（その1）のFFT解析 ■HV400音叉振動測定（その2）のFFT解析 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

光ヘテロダイン変位計　HV400 【特徴】 ○1nmの分解能 　0.001ミクロンが縦分解能 　計測の基準は周波数安定化HeNeレーザの波長 ○最短１μsごとに過渡現象を記録 　短時間に変動する事象を計測・記録・表示 　PCのLCD画面上で変動の様子が一目瞭然 ○最大100万点を記録、データ処理 　記録時間を大幅に増加 　膨大な記録点数は、すべてPCで処理しフィルタ処理、エクセル変換が可能 ○相対計測でベース振動等に基づく誤差要因を排除 　測定点を2か所として、その2地点での変位量の相対値を計測 　相対変動量のみを明確にし、ベース振動成分などの 　誤差要因を取り除く事が可能 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

薄膜に均一に応力を加え、その歪み量を計測することで薄膜のヤング率を測定 光ヘテロダイン変位計の汎用性の高い特性を生かした、バルジ測定器 【特徴】 ○PCでヘテロダイン変位計、ポンプ操作、弁操作を行い、データを取得 　取得したデータによりカーブフィット作業を行い、ヤング率および内部応力を求める ○非接触かつ高精度に計測 ○全自動で測定し、繰り返し測定も簡単 ○薄膜固定部の取り替えで様々な薄膜に対応 ○変位量分解能：1nm（HV400使用時）、10nm（HV250使用時） ○圧力測定分解能：0.1Torr ○最大付加圧力：-300Torr ○最大試料径：15cm ○測定領域試料最大径：50mm ○測定モード：全自動モードまたはマニュアルモード ○真空系・ステージ系などの変更により自動制御性 　 応力範囲など仕様はユーザの要求に合わせてカスタマイズする事が可能 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

光ヘテロダイン変位計の１プローブ１出射型のプローブを 顕微鏡鏡筒上部に設置し、顕微鏡による観察と同時に変位量を測定する 顕微鏡搭載型光ヘテロダイン変位計 【特徴】 ○被測定物の測定点をピンポイント ○被測定物状態観察と並行計測可能 ○落射照明系、CCDカメラを取りつけ通常の顕微鏡として 　被測定物を視認すると共にCCDカメラを用い 　ディスプレイ（CRT）上で被測定面状態を観測 ○ステージ上に様々な装置を取り付けることも可能 ○ステージに自動ステージを取り付けることで、自動化することも可能 ○手動ステージか自動ステージかで構成の大きさが異なります。 ○ヘテロダイン変位計の選択はHV400,HV250いずれも可能 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

光ヘテロダイン計測の優位性を保ったまま、HV400の機能を簡便化し低価格を実現 アナログ出力、デジタル出力の機能も搭載した光ヘテロダイン変位計 【特徴】 ○分解能10nmを保ち、作動距離が1000mm ○本体、プローブと共に小型、低価格 ○リアルタイム測定・LED表示・アナログ・デジタル出力 ○汎用性が高い ○使用目的に合わせ、プローブ形状・光学系構成 　形状・オプションなどの設定が可能 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

当資料は、光計測機器・部品の製造販売、光計測関連のコンサルティングを 行っている株式会社フォトンプローブが発行する技術資料です。 光計測・光測定に関する技術をQ&A形式で掲載しています。 「相対測定とは何？」や「光ビームのふらつきを抑えるには？」など、 光計測・光測定の疑問にお答えしています。 【掲載内容】 ■相対測定とは何？ ■光回路の組み方は？ ■光学部品選択の基準は？ ■光ビームのふらつきを抑えるには？ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

当資料は、光計測機器・部品の製造販売、光計測関連のコンサルティングを 行っている株式会社フォトンプローブが発行する技術資料です。 測定の問題に関する疑問をQ&A形式で掲載しています。 「光測定とは何？」をはじめ、「光測定の利点欠点は？」や 「光ヘテロダイン計測とは？」など、測定の疑問にお答えしています。 【掲載内容】 ■光測定とは何？ ■光測定の利点欠点は？ ■光ヘテロダイン計測とは？ ■なぜレーザを使うのか?レーザの優位性は？ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

当資料は、プログラム定数CLK及びBEAT値について掲載した技術資料です。 信号処理回路で、重要な2つの定数因子（CLK定数、およびBEAT定数）を 求めています。 CLK定数測定実験結果とBEAT定数測定実験結果について、 グラフを用いて詳しく解説しています。 【掲載内容】 ■CLK及びBEAT値について ■測定結果 ■考察・反省 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

当資料は、信号処理装置の縦分解能について解説した技術資料です。 ヘテロダイン処理系において、信号処理装置が縦分解能を有するか否かを、 シンセサイザを用いて、リアルモードで検証。 2信号間の周波数差が1mHz以上の場合、理論どおりの分解能を得ました。 特にリアルモードでの5分間計測において、その分解能は、1nm 以下であり、 繰り返し測定においてもその分解能は維持されました。 3種のシンセサイザを用いても同様な結果を得て、信号処理装置の 特性を確認しました。 【掲載内容】 ■信号処理装置について ■信号処理ソフトについて ■周波数差に対する理論について ■周波数差に対する実験について ■反省・考察 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

当資料は、長時間測定をターゲットとしたリアルモード計測について 解説した技術資料です。 ヘテロダイン処理系において、リアルモードでの測定技術の構築を 行いました。構築対象は、信号処理装置が主です。 シンセサイザを用いて理論どおりの動作を確認し、1nm 以下の分解能を確認。 そして、種々のパラメータの動作可能範囲を得ました。 その装置により、標準光学系を用いて空気中内および真空室内で計測しました。 【掲載内容】 ■長時間測定できるリアルモード設定のために ■シンセサイザによるデータ測定・解析 ■標準型光学系でのデータ測定・解析 ■真空室内での標準型光学系でのデータ測定・解析 ■考察・反省 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

当資料は、リアルモード長時間測定結果について(標準型光学系において) 掲載した技術資料です。 ヘテロダイン処理系において、いくつかの問題点を解決した後、 リアルモード測定を実施。リアルモード測定は、種々の条件を 選択できるようにしました。 そして標準型光学系において、長時間測定を行い、その変動を記録。 変位量と同時に温度変動も測定しました。 【掲載内容】 ■リアルモード設定 ■長時間変位測定結果及び温度変動 ■考察・反省 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

当資料は、リアルモード長時間測定結果について （標準型光学系の真空中の動作について）掲載した技術資料です。 真空中で問題となるであろう「空気の屈折率変動」、 「大気圧による光学系の歪み」の2点を検討。 これらは大きな問題を引き起こさないであろうと検討されました。 変位量変動は温度変動で説明でき、自由膨張の約40％値の膨張が推測可能。 縦分解能も1nm 以下を確認できました。 【掲載内容】 ■膨張と空気の存在について ■変位測定結果及び温度変動 ■考察・反省 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

当資料は、多重型光学系光路長差40mmの場合の大気中測定について 解説した技術資料です。 高精度計測できる多重型光学系において、光路長差を40mmとして、 温度変動を大きくして、変位量変化を大気中で評価しました。 長時間変位測定及び温度変動測定について、グラフを用いて解説しています。 【掲載内容】 ■長時間変位測定結果及び温度変動 ■考察・反省 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

当資料は、多重型光学系光路長差40mmの大気中での測定；再現性の確認について 解説した技術資料です。 「テクニカルレポート Vol.14-7」にて多重型光学系(光路長差＝40mm)での 結果を示し、測定結果が光学ベースの線膨張により説明できることを示しました。 今回その再現性を確認しました。 長時間変位測定及び温度変動測定について、グラフを用いて解説しています。 【掲載内容】 ■長時間変位測定結果及び温度変動 ■考察・反省 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

当資料は、リアルモード長時間測定結果について（再度再現性確認） 解説した技術資料です。 「テクニカルレポート Vol.14-8」と同一条件下で再測定を実施。 （多重型光学系光路長差40mm設定の場合；R7） 長時間変位測定及び温度変動測定について、グラフを用いて解説しています。 【掲載内容】 ■リアルモード設定 ■長時間変位測定結果及び温度変動 ■考察 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

当資料は、多重型光学系光路長差ゼロにおいて、大気中測定結果について 解説した技術資料です。 REF側光路長にあった差を、基本的にゼロにする光学系に設定して、 リアルモード長時間測定を実施。 光路長差40mm設定等に比較して、変位量変動はかなり小さくなり、 4000秒間の変動が±1nmの変動結果も得ました。 【掲載内容】 ■光路長ゼロの理論と実際について ■変位量変動例 ■考察・反省 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

当資料は、多重型光学系光路長差ゼロにおいて、真空中における測定結果を 解説した技術資料です。 多重型光学系光路長差ゼロの設定条件下の真空中での測定結果を報告。 真空中での光路長ゼロ光学系では、空気の温度変動及び空気の存在を 考慮しなくても良いことを、実験的に示しました。 【掲載内容】 ■光路長ゼロ条件下における真空中測定の問題点について ■変位量変動例 ■考察・反省 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

当資料は、多重型光学系光路長差0mm条件下で大気中と真空中の 結果について解説した技術資料です。 「光路長ゼロ条件下における空気屈折率が及ぼす影響」や、 「変位量変動例(前回報告のデータ再掲)における解析」について、 グラフなどを用いて解説しています。 【掲載内容】 ■光路長ゼロ条件下における空気屈折率が及ぼす影響について ■変位量変動例(前回報告のデータ再掲)における解析 ■考察・反省 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

当資料は、1ビーム出射プローブを用いたガラス面の変動測定について 解説した技術資料です。 標準仕様(標準光学系と同一発想)のプローブ1出射方式を作製し、 光電変換装置もAPD を基盤に装着した構成で作製。 そのプローブ等を用いて、リアルモードで素ガラス面の特性を評価しました。 【掲載内容】 ■ビーム出射プローブの構成等について ■試料について ■変位量変動例 ■裏面の測定への影響について ■考察・反省 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。