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■主な特長 0.1mmステップによる拡張ストローク設定 ・拡張率を任意に設定可能。 ・拡張スピードを任意に設定可能。 ・高拡張率を可能とするホットプレート搭載ステージ。 ・グリップリングで拡張されたフィルムを自動グリップ。 ■カスタマイズ 安全スイッチ、シグナルタワー設置、ダンパー仕様．．．等、お客様独自仕様や特別な改造等にも対応。
■主な特長 ・拡張率を任意に設定可能。 ・拡張スピードを任意に設定可能。 ・高拡張率を可能とするホットプレート搭載ステージ。 ・グリップリングで拡張されたフィルムを自動グリップ。 ・フィルム自動カット機構搭載 ■カスタマイズ 安全スイッチ、シグナルタワー設置、ダンパー仕様．．．等、お客様独自仕様や特別な改造等にも対応。
■主な特長 ・拡張率を任意に設定可能。 ・拡張スピードを任意に設定可能。 ・高拡張率を可能とするホットプレート搭載ステージ。 ・グリップリングで拡張されたフィルムを自動グリップ。
■特長 ・自動貼付け、オートフィルムカット機構。 ・貼付け圧力/可変。 ・貼付けスピード可変。 ・貼付けローラー自動平衡機能。 ・オプション：ヒーターユニット、静電気対策。 ・テーブルトップタイプ ■メリット ウェハーマウンターを導入する主なメリットとして、『安定した貼り付け品質』や『スピーディーな製造作業』、『チップ飛びの防止』等があります。これら特長を十分に発揮することで、高い歩留りによる生産性の向上が期待できます。作業者は、ウエハーとフレームをセットしスタートを押すだけです。
■特長 ・貼付け動作とテープ送り出しのメカニカルリンク機構搭載。 ・セパレーター巻き取り機構内蔵。 ・貼付ローラーの自動平衡機構内蔵。 ・UVカットカバー標準装備。 ・オプション：ヒーターユニット、静電気除去ユニット。 ・テーブルトップタイプ。 ■メリット プリカットテープの貼付けには、テープの位置出し機構と、貼付け動作／テープ送り出しのリンク機構が必要で、高価なセミオート・フルオート装置が必要でした。シンプルなマニュアル装置とすることで、イニシャルコストの低減が期待できます。
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【仕様】 ■モデル：GRC-04 ■グリップリング／ダイシングフレーム：GR-4 ■モデル：GRC-05 ■グリップリング／ダイシングフレーム：GR-5 ■モデル：GRC-06 ■グリップリング／ダイシングフレーム：GR-6 ■モデル：GRC-08 ■グリップリング／ダイシングフレーム：GR-8 ■モデル：GRFC-05 ■グリップリング／ダイシングフレーム：GR-5／DTF2-6-1 ■モデル：GRFC-08 ■グリップリング／ダイシングフレーム：GR-8／DTF2-8-1 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【仕様】 ■ワークサイズ：8インチフレームまで対応 ■光源：365nm UV-LED ■サイズ：460×535×325mm ■重量：約40kg ■電源：AC100V 50/60Hz 5A ■N2：0.2 MPa 接続 φ6mm クイック継手 ■排気：冷却ファン内蔵 接続 50A ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【装置内容】 ■テクノビジョン製マウンター FMシリーズ ■ダイシング、シンギュレーション行程 ■バックグラインド行程、表面保護 ■ダイボンド、ダイアタッチフィルム ※各装置はワークサイズ別に3機種取り揃えています ※各種オプション（イオナイザー、ヒーター等）あり ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
■主な特長 ・ヒーター容量は500～2400Ｗまで6種類 ・加熱部、流体通路はオールステンレス電解研磨処理 ・高効率、安全、小型設計
各ユニットは『ケミカルユニット』『スクラブユニット』『ドライユニット』があります。
■主な特長 ・ワークの【スクラブ洗浄・リンス・乾燥】を一台の装置でスピーディーに実施。 ・スクラブ洗浄用特殊ブラシにてワークに傷を付けず、洗浄ムラなく精密洗浄可能。 ・縦型処理の為、ワークにストレスがかからない設計。 ・少量多品種、R&D用途の基板洗浄にも最適。 ・乾燥は、ホット純水乾燥。
■主な特長 ・瞬時にバブルフリー貼り付けが出来ます。 ・貼付けローラーの自動平衡機構内蔵。 ・円周カッター内蔵。 ・水平カッター内蔵。 ・セパレーター巻き取り機構内蔵。 ・オプション：ヒーターユニット、ダンパー、静電気対策
独自の高効率、小流量N2パージ機能の搭載により、N2の使用量が従来装置と比べてはるかに少なく、しかも確実な置換効果が得られる。 高圧水銀ランプ仕様。 300mm／12”対応。 サイズ： 650(W)×800(D)×980(H)。
■特長 ・貼付け圧力、スピード、温度など諸条件設定可 ・ノーマルテープの貼付けピッチ可変 ・テンションフリー貼付け ・バブルフリー貼付け ・表面非接触貼付け対応可 ・静電気対策装置 ・小型、軽量、小フットプリント ■メリット ウェハーマウンターを導入する主なメリットとして、『安定した貼り付け品質』や『スピーディーな製造作業』、『チップ飛びの防止』等があります。これら特長を十分に発揮することで、高い歩留りによる生産性の向上が期待できます。作業者は、ウエハーとフレームをセットしスタートを押すだけです。また、1台2役の装置となります。
■特長 ・プリセットされた貼付け条件でオートラミネーション ・各種テープ／フィルムに対応 ・貼付け圧力可変 ・貼付けローラーのスピード可変 ・円周テープカッター内蔵 ・水平テープカッター内蔵 ・セパレーター自動巻取り機構内蔵 ・表面非接触貼付け対応可 ・ホットウェーハーチャック対応可 ・静電気対策対応可 ・小型軽量 ・テーブルトップ ■メリット ウェハーマウンターを導入する主なメリットとして、『安定した貼り付け品質』や『スピーディーな製造作業』、『チップ飛びの防止』等があります。これら特長を十分に発揮することで、高い歩留りによる生産性の向上が期待できます。フィルム貼付け時の圧力と貼付けスピードがデジタル表示で管理できます。
■主な特長 ・100,000,000円前後のマスク代を毎年削減※ ・マスクに付着したレジストを簡単に除去 ・マスクに付着したパーティクルを簡単に除去 ・マスクは消耗品から永久使用へ ・洗浄液は環境にやさしいマイルドな水溶性薬液を開発 ・熱硫酸や硫酸過水などの危険から解放 ・高価なリムーバーや現像液なども不要
■主な特長 ・常温、室温照射ができる ・光源は瞬時に立ち上げ可能 ・低消費電力 ・長寿命 ・装置はコンパクトに設計可能 ・上面照射、下面照射、側面照射など設計に自由度がある ・両面照射も可能 ・ワークの移動、または光源のスキャン移動が可能 ・ワークサイズ/照射面積に制限がない ・地球温暖化防止、CO2削減に貢献
■主な特長 ・独自の高効率、小流量N2パージ機能が搭載 ・N2の使用量が従来装置と比べてはるかに少なく、しかも確実な置換効果が得られる ・低消費電力化、微量なガス消費など、装置のランニングコストの低減に 大きく貢献するばかりでなく、装置コストの削減、高価なクリーンルームの設置スペースの減少 など、総合的な製造プロセスの効率化が図れる ※詳細は、お問い合わせ下さい。
カセット洗浄装置「モデルTCC-803」は、ハイエンド、高付加価値製品の製造プロセスで用いられるウェハーカセット、キャリアー、ボックス等の精密洗浄を 目的とした少量多品種生産用途のコンパクトな洗浄装置です。 ■特長： ・精密洗浄：ワークに上下、左右回転動作機能を持たせ隅々まで精密洗浄 ・強力洗浄：ウェハー収納ミゾ部全面に対し直角スプレーを実施 ・省スペース：縦型設計で、小フットプリントを実現
■主な特長 ・ヒーター容量は1〜36KWまで16種類 ・接液部は石英、PTFE ・液溜まりがない構造 ・小型、堅牢、安全設計 不活性ガス／クリーンドライエアー用（SHシリーズ）：加熱部に ステンレス（SUS316−EP処理）を採用 ＜特長＞ ・ヒーター容量は500〜2400Ｗまで6種類 ・加熱部、流体通路はオールステンレス電解研磨処理 ・高効率、安全、小型設計
■主な特長 ・ワークの スクラブ洗浄 ・ リンス ・ 乾燥 を一台の装置でスピーディーに行う ・特殊洗浄ブラシにてワークに傷を付けず洗浄ムラなく精密洗浄を行う ・縦型処理の為、ワークにストレスがかからない ・少量多品種、Ｒ＆Ｄ用途の基板洗浄にも好適 ・各サイズ専用ワークホルダーの用意とフリーサイズ対応ワークホルダーをご用意 ・ワーク接触部分は、樹脂にて対応 ※各種オプションも用意。 ※カスタム対応等、詳細はお気軽にお問い合わせください。
■主な特長 ・ワークの スクラブ洗浄 ・ リンス ・ 乾燥 を一台の装置でスピーディーに行う ・特殊洗浄ブラシにてワークに傷を付けず洗浄ムラなく精密洗浄を行う ・縦型処理の為、ワークにストレスがかからない ・少量多品種、Ｒ＆Ｄ用途の基板洗浄にも最適 ・各サイズ専用ワークホルダーの用意とフリーサイズ対応ワークホルダーをご用意 ・ワーク接触部分は、樹脂にて対応 ※各種オプションも用意。 ※カスタム対応等、詳細はお気軽にお問い合わせください。
■主な特長 ・用済みになれば簡単に取り外す事ができ、くり返し使用可 ・はめ合わせに方向性を持たないグリップリング ・テープ/フィルムの裂け、破れが無くなります。 ・方向確認作業がいりません。 ・慣れないオペレーターでも安心して作業が出来ます。 ・鋭角部が無いので手や指が痛くなりません。 ・裂け破れの原因となる樹脂注入時の突起（ゲート）がありません。 ・カラー製作も可能です。
■特長 ・ランニングコストが1/10以下！ ・常温 / 室温での照射が可能！ ・瞬時の光源立ち上がり ・照度バラツキを解消 ・波長365ｎｍを採用、全ＵＶテープ対応 ・小流量Ｎ2パージ機能内蔵 ・小型、軽量、テーブルトップタイプ ・光源交換は通常使用で10年以上不要 ※評価用デモ機の貸出中！
■主な特長 ・高密度ＵＶグリッドランプを使用。 ・ワーク面に対して照射が均一。 ・省スペース、コンパクト設計。 ・シンプルなユーティリティー。 ・両面洗浄、片面洗浄の対応が可能。 ・簡単操作、セーフティー機能内蔵。
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