NAF3シリーズは、UVWの3軸アクチュエータと予圧型ダブルスライド・ユニットにて構成されています。薄型コンパクト・高剛性・高精度な位置決めが行えます。 【ラインナップ】 ○NAF3C-10-00 ○NAF3C-16K00P/S　※短納期対応可 ○NAF3C-20K01P/S　 ※短納期対応可 ○NAF3C-30K00P/S ○NAF3C-40K00P/S　 ※P：ステッピングモータ、S：サーボモータの２つの仕様からお選び頂けます。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

［製品仕様］ 『 Z軸+チルトステージ』 サイズ：Ｗ４００ｍｍ×Ｄ４０ｍｍ×Ｈ２００ｍｍ ストローク：（垂直）５ｍｍ　（搖動）±２° 負荷容量：　※ご相談下さい ●上記仕様に限らず、カスタム対応可能です。詳しくは弊社までお問い合わせ下さい。

【特徴】 ○3つのアクチュエータを同一平面上に配置することにより超薄型シンプル構造を実現。 ○「予圧型ダブルスライド」が荷重を受け、アクチュエータは直接荷重を受けません。これにより荷重変化に影響されない安定した精度が得られます。 ○テーブル中心はもとより、任意の座標点を中心にテーブルを旋回させることができます。 ○別売のアライメントステージ専用コントローラにより、複雑な計算や、煩わしいソフト開発が不要になりました。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。