【仕様(抜粋)】 ■MC-7100 ・流量レンジ(N2 換算)：5～5000SCCM ・バルブ動作：ノーマリクローズ ・流量制御範囲：2～100%F.S. ・必要差圧：50～300kPa ■MC-7200 ・流量レンジ(N2 換算)：10, 20SLM ・バルブ動作：ノーマリクローズ ・流量制御範囲：2～100%F.S. ・必要差圧：100～300kPa ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 流量制御
• 計量制御

○デジタルインターフェイスのデジタルマスフローコントローラ 　 (SEMI E54. 20-1108) ○高性能（メタルシール、ピエゾバルブ、高精度、マルチガス対応） ○＋11〜24V DC の単電源動作 ○各種面実装規格に対応 (SEMI STD.) ○リンテック独自の自己温度補正方式のセンサを採用（米国、日本特許） ○完全デジタル操作 ○超高性能1.125インチ幅 ○面実装ガス　インターフェイス対応

• 配管材
• 真空機器
• 流量制御

○RoHS対応 ○高速応答 1sec以内 ○短納期対応モデル ○高精度（±1％F.S.）モデル ○ラバーシール採用の低コストモデル ○RS-485デジタル通信やマルチレンジ機能を搭載（オプション）

• 配管材
• 真空機器
• 流量制御

○圧力損失を低減することで流量制御後にも設置が可能 ○オールメタルシールのクリーン構造 ○接ガス部材質はSUS316L ○異常加熱検出用サーマルスイッチ内蔵 ○熱電対内蔵 ○コンパクトサイズでありながらMax300℃の加熱が可能

• 真空機器
• 加熱装置

○独自の低圧損構造により、6Torrの差圧で10SCCM(N2)を制御可能 ○AsH3やPH3などのインプラ用途や、液体を加温なしで気体制御も可能 ○汎用インターフェースRS485が使用可能 ○標準でメタルシール、内面精密研磨のウルトラクリーン仕様 ○高速・高性能なピエゾアクチュエータを搭載

• 配管材
• 真空機器
• 流量制御

○短納期対応モデル ○高速・高性能なピエゾアクチュエータ搭載 ○汎用インターフェースRS485が使用可能 ○標準でメタルシール、内面精密研磨のウルトラクリーン仕様 ○ロータリスイッチにより各種ガスや各種レンジに変更可能

• 配管材
• 真空機器
• 流量制御

○RoHS対応 ○使用温度120℃、ベーキング温度150℃（非通電）が可能 ○デジタルインターフェイスRS-485を装備 ○独自特許技術のセンサを搭載 ○高温対応・高精度のデジタルMFC

• 配管材
• 真空機器
• 流量制御

○液体を気化器の器壁（金属製）に接触する機会が少なく、 　 （軽接触）効率よく気化 ○アトマイザによる液滴化とブローガスによる微細化による 　 高効率気化 ○液体マスフローメータLM-3000L seriesとの組合せにより、 　 液体材料を精密流量制御し、効率良く気化（US PAT.5372754） ○熱分解し易い液体を低温にて気化する方式の気化器

• 配管材
• 真空機器
• 流量制御

○デバイスネットインターフェイスのデジタルマスフローコントローラ 　 (SEMI E54, ODVA SEMI SIG MFC Profile) ○高性能（メタルシール、ピエゾバルブ、高精度、マルチガス対応） ○＋11〜24V DC の単電源動作 ○各種面実装規格に対応 (SEMI STD.) ○リンテック独自の自己温度補正方式のセンサを採用（米国、日本特許） ○コネクタ方式（横・上）選択可能 ○完全デジタル操作 ○超高性能1.125インチ幅 ○面実装ガス　インターフェイス対応

• 配管材
• 真空機器
• 流量制御

○積層圧電素子を用いたバルブの為、高速制御可能 ○高推力、高分解能バルブの為、微小流量、低圧力の精密制御可能 ○気体ならびに液体の流量制御および圧力制御可能 ○接続部は、金（Au）製メタルシールを採用しているので、 　 実質的にリークフリー ○パーティクルフリーの材質、構造設計

• 配管材
• 真空機器
• 圧力制御

○高分解能（16ビット）A/D、D/Aコンバーターの採用による高精度化 ○アラーム出力機能を標準装備 ○アラーム状態表示ＬＥＤを装備 ○オートゼロ機能装備 ○汎用デジタルインターフェースを装備 ○デバイス番号の設定が可能 ○従来品との電気的互換性を保持 ○コンパクトなボディサイズ ○メタルシールを採用 ○ボディ内部精密研磨を標準装備 ○各種ガスの流量測定

• 配管材
• 真空機器
• 流量制御

○リンテック独自の周囲温度補償方式の 　 流量センサによる長期流量安定 ○ボディ面幅28.6mm、バルブ一体型構造のコンパクト設計 ○汎用デジタルインターフェイスを装備（RS-485準拠） ○ピエゾアクチュエータ採用による高速応答 ○ダイアフラムバルブ構造を採用 　 （デッドスペース極小、気泡が発生しにくい構造） ○バイパスレス構造 　 （液体導入、内部パージが容易、取付姿勢自由） ○RoHS対応

• 配管材
• 真空機器
• 流量制御

○各種液体材料の高精度流量計測を実現 ○リンテック社独自の熱式マスフローセンサ（特許出願中）採用、 　 電子回路はデジタル化され、高速、高精度の流量計測が可能 ○コントロールバルブとの組合せにより、高精度の流量制御が可能 ○リンテック社独自の気化器との組合せにより、 　　高速、高精度の液体気化供給が可能 ○RoHS指令準拠

• 配管材
• 真空機器
• 流量制御

○液体マスフローメータLM-3000L seriesとの組合せにより、 　 各種液体を流量制御し、効率よく気化（US PAT.5372754） ○減圧プロセスから常圧プロセスまで可能 ○最高200℃の高温加熱が可能 ○コンパクトなボディサイズ ○キャリアガスの流量に応じた豊富なバリエーション（50CCM-4SLM) ○RoHS対応

• 配管材
• 真空機器
• 流量制御

○高性能1.125インチサイズ・デジタルマスフローコントローラ 　 (ピエゾバルブ、高精度(S.P.保証）、デジタル制御） ○アナログマスフローコントローラとの互換性を維持 ○汎用インターフェースRS485が使用可能 ○標準でメタルシール、内面精密研磨のウルトラクリーン仕様 ○SEMI STD.の各種面実装に対応

• 配管材
• 真空機器
• 流量制御

○液体マスフローメータLM-3000L seriesとの組合せにより、 　 各種液体材料（TEOS、TEB、TEPO、etc）を精密流量制御する 　 と同時に高効率で気化可能 ○ピエゾバルブ採用 ○常圧プロセスから減圧プロセスまで対応 ○最高160℃の加熱が可能 ○コンパクトなボディサイズ ○RoHS対応

• 配管材
• 真空機器
• 流量制御

○液体マスフローメータLM-3000L seriesとの組合せにより、 　 各種液体を精密流量制御し、効率よく気化（US PAT.5372754） ○常圧条件下で水の気化供給が可能 ○最高200℃の加熱が可能 ○コンパクトなボディサイズ ○キャリアガスの流量に応じた豊富なバリエーション 　 （1SLM〜100SLM） ○RoHS対応

• 配管材
• 真空機器
• 流量制御