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パーティクルの付着を防止でき且つ半透明で着色も可能なシリコーンゴム製品を製造可能です。 【特徴】 ■従来のパーティクル防止のシリコーンゴム＝導電タイプで黒色という常識を覆す、半透明で着色が可能なシリコーンゴムです。 ■シートでも成型品でも対応可能です。 ■半透明の吸着パッドは吸着した部品を確認しやすくなります。 ■シート厚みは0.2t～製作対応可能です。 さらに薄いものにつきましては別途ご相談させて頂ければと思います。 ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。 #半透明シリコーンゴム #帯電防止シリコーンゴム #シリコーンゴムシート
吸水性を活かし、プリント基板やディスプレイ表示ガラス関連の水切りとして使用されています。 その他様々な特徴がございます。 【特徴】 ■親水性が強く、吸水能力が抜群 ■耐摩耗性が高く、耐薬品性に優れ耐久力がある ■連続気孔である為抵抗が少なく、濾過性能に優れる ■気孔サイズ、形状の変化、また染色への対応が可能 ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。
渡辺商行では複数のシリコーンゴムシートを複合させることが可能です。 例えば、シートの軟らかさや表面の粘着性が必要だが、強度を落としたくないというご要望には、 低硬度のシートと高強度のシートを複合することで対応可能です。 従来のシートであれば低硬度と高強度は共存できず、どちらかを諦める必要がありましたが、 渡辺商行ではどちらの特性も付与することができます。 ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。
弊社独自のコーティング及び表面改質処理により、様々な特性を付与することができます。 【特徴】 ■パーティクルの付着を防止 コーティングによって表面状態をコントロールしてパーティクルの付着を軽減できます ■親水性の付与 汎用のシリコーンゴムシートは高い撥水性を持ちますが、コーティング技術により親水性を付与することができます ■摺動性を付与 ■離型性を付与 ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。
保温断熱カバーとは、耐熱クロスで断熱材を包み、使用形状に合わせて縫製した一体型の縫製加工品です。 【特徴】 ■大切な機器を保護 夏の猛暑や寒冷地においての厳しい寒さから、外置きされている通信機器などを守ります。 また、汚れ防止にもなります。 ■オーダーメイド１個から作成可能 カバーしたい箇所のサイズやご使用環境を教えていただければ、ぴったりの保温カバー、断熱カバーを1つから作成いたします。 ■簡単な着脱で作業がスムーズ マジックテープ等で保温カバー、断熱カバーを固定するため、ワンタッチで着脱でき、定期点検や 修理交換の作業がスムーズです。 ■省エネ 断熱カバーによる保温効果によって内部の機器を守る為の余分な電力消費や室内の場合は、空調設備の節電が見込めます。 ■安心 作業環境において、断熱材(中綿素材)の粉塵を抑えられているので安心してご使用いただけます。 ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。
保温断熱カバーとは、耐熱クロスで断熱材を包み、使用形状に合わせて縫製した一体型の縫製加工品です。 【特徴】 ■作業員を守ります 高温になる箇所をカバーすることによって、作業中のやけどや衝突によるケガから作業員を守ります。 ■オーダーメイド１個から作成可能 クロスと中綿をそれぞれ用途にあった素材を使用し、250℃～1000℃まで対応可能。 ■簡単着脱 マジックテープ、ベルトや紐で(高温部をカバーをするため)、定期点検や修理交換時も簡単に作業が行えます。 ■省エネ、生産効率UP 内部の流体や粉末を温め、余分な電力や空調設備の電力消費の低減が見込めます。 また、配管内部の液体や粉末を安定させることにより、製品の安定性を実現し、 高品質で生産効率UPの効果が期待されます。 ■安心 作業環境において、断熱材(中綿素材)の粉塵を抑えられているので安心してご使用いただけます。 ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。
弊社の耐極低温シリコーンゴムは、極低温 (-114℃)の過酷な環境下でもシリコーンゴムに期待される機能、特に柔軟性を発揮します。 【特徴】 ■カーボンニュートラルの実現に向けて産業、石油精製、発電、輸送等、各分野で需要が拡大している水素が使用される極低温下でも使用可能なシリコーンゴム(パッキン、チューブ等)です。 ■-114℃の極低温下において、柔軟性を発揮します。 曲げ試験、引張試験ともに汎用シリコーンゴムでは失われる極低温化の環境下において 弊社のシリコーンゴムは折れたり、破断しません。 ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。 #シリコーンゴムの耐寒性 #シリコーンゴム(Si) #シリコーンゴムシート #シリコンゴムの特性
超高耐熱 (300℃)にも耐えられるシリコーンゴムシートを製造可能です。 【特徴】 ■従来の汎用のシリコーンゴムシートでは対応不可であった300℃での使用が可能。 ※耐熱温度はご使用時間等、条件によって異なります。 ■耐熱温度以外の物性は基本的に汎用のシリコーンゴムシートと同じです。そのためシート表面に粘着性があります。しっかりと貼り付き、剥がしやすいイメージです。 また、粘着性を抑制したい場合は、コーティングや表面改質処理を施し、摩擦係数を小さくすることも可能です。 ■シート厚みは0.2t～製作対応可能です。 さらに薄いものにつきましては別途ご相談させて頂ければと思います。 ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。 #耐熱ゴムシート #耐熱性のあるゴムが欲しい #シリコーンゴム(Si) #シリコーンゴムシート #シリコンゴムの特性
渡辺商行のシリコーンゴムシートは用途によって様々な基材に一体成形が可能です。 【特徴】 ■ガラスエポキシ材などの基板上にシリコーンゴムを一体成形することができます。 主にリードフレーム、コネクター製造のメッキマスクとして使用されております。 ■レーザー加工もできます。 ■ 基板はガラスエポキシ基板以外にも対応可能です。 ・ベークライト基板 ・PETフィルム ・両面テープ ・樹脂 ・金属 等も対応可能です。 ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。
フッ素ゴム(FKM)は、突出した耐熱性、耐油性、耐薬品性を持っています。その特徴を生かし、半導体製造装置や自動車、エネルギー関連、化学プラント工場などで使用されています。 また、弊社独自のコーティング及び表面改質処理により、様々な特性を付与することができます。 【特徴】 ■耐熱性、耐油性、耐薬品性 フッ素ゴム(FKM)は高温安定性に優れており、耐油性、耐薬品に優れています ■ガス透過性が低い パッキン、Oリングなどに加工し、半導体製造装置用の気密パッキンなど幅広く使用されています ■厳しい環境下でも活躍 フッ素ゴム(FKM)は高温で耐油性が求められる自動車のエンジン部品や耐薬品性を活かした理化医療分野での利用されています ■クリーン環境下で製造 異物対策に配慮したクリーンな環境下で製造しておりますので、半導体製造プロセス及び理化医療分野にも広く使用されております。 ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。 #耐熱ゴムシート #耐油ゴムシート #耐熱性のあるゴムが欲しい #シリコーンゴム(Si) #シリコーンゴムシート
弊社のシリコーンゴムは、超低温(SF4級, 旧F4級)の過酷な環境下でもシリコーンゴムに期待される機能、特に柔軟性を発揮します。 【特徴】 ■汎用のシリコーンゴムでは使用不可であった超低温下(SF4級(旧F4級))での使用が可能です。 従って魚や肉、特にマグロやカツオの冷凍保管用パッキンとしても使用可能です。 ■-114℃の超低温下においても柔軟性を発揮するため、SF4級(旧F4級)においても使用可能です。 曲げ試験、引張試験ともに汎用シリコーンゴムでは失われる極低温化の環境下において 弊社のシリコーンゴムは折れたり、破断しません。 ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。 #シリコーンゴムの耐寒性 #シリコーンゴム(Si) #シリコーンゴムシート #シリコンゴムの特性
弊社の耐極低温シリコーンゴムは、極低温 (-114℃付近)の過酷な環境下でもシリコーンゴムに期待される機能、特に柔軟性を発揮します。 【特徴】 ■-114℃の極低温下において、柔軟性を発揮します。 曲げ試験、引張試験ともに汎用シリコーンゴムでは失われる極低温化の環境下において 弊社のシリコーンゴムは折れたり、破断しません。 そのため、極低温下となる超電導関連の実験のパッキン等にも使用することが可能です。 ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。 #シリコーンゴムの耐寒性 #シリコーンゴム(Si) #シリコーンゴムシート #シリコンゴムの特性
弊社の耐極低温シリコーンゴムは、極低温 (-114℃付近)の過酷な環境下でもシリコーンゴムに期待される機能、特に柔軟性を発揮します。 【特徴】 ■-114℃の極低温下において、柔軟性を発揮します。 曲げ試験、引張試験ともに汎用シリコーンゴムでは失われる極低温化の環境下において 弊社のシリコーンゴムは折れたり、破断しません。 ■ 厳しい試験をクリアした医療用シリコーンゴム 医療規格 (ISO 10993)や、USP (米国薬局方 クラスVI)厳しい適合性試験をクリアした医療用シリコーンゴムです。 ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。 #シリコーンゴムの耐寒性 #シリコーンゴム(Si) #シリコーンゴムシート #シリコンゴムの特性
A200Vは、層間絶縁膜・パッシベーション膜(保護膜)・犠牲膜等のシリコン酸化膜(SiO2膜)の成膜を目的とした枚葉式常圧CVD装置(APCVD装置)です。 【特徴】 ・絶縁膜・拡散/インプラマスクの成膜に好適 ・枚葉式Face-down成膜による低パーティクル成膜 ・密閉式チャンバーによる高い安全性と成膜安定性 ・ウェハ反り矯正機能（特許取得済）によるSiCウェハ対応 ・低負荷・長周期メンテナンス ・コンパクト筐体とミラータイプとの隣接設置による省スペース対応 ・低CoO(低ランニングコスト) 【用途】 ・パワー半導体用層間絶縁膜(NSG/PSG/BPSG) ・拡散/インプラ用ハードマスク, 犠牲膜(NSG) ・パッシベーション膜(保護膜・絶縁膜)(NSG) ・光導波路(NSG/BPSG) ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。
「AMAX」シリーズは、層間絶縁膜・パッシベーション膜(保護膜)・エピタキシャル(Epitaxial)ウェハ用バックシール等のシリコン酸化膜(SiO2膜)の成膜を目的とした、連続式常圧CVD装置(APCVD装置)です。 【特徴】 ・最大100枚/hの高生産性 (対応ウェハサイズ: ～8インチ) ・真空・プラズマ不要 (熱CVD) ・SiCトレー採用による重金属汚染(メタルコンタミネーション)対策 ・シンプルメンテナンス ・低CoO(低ランニングコスト) 【用途】 ・エピタキシャル(Epitaxial)ウェハ用バックシール(NSG) ・パワー半導体用層間絶縁膜(NGS/PSG/BPSG) ・拡散/インプラ用ハードマスク, 犠牲膜(NSG) ・パッシベーション膜(保護膜・絶縁膜)(NSG) ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。
「AMAX」シリーズは、層間絶縁膜・パッシベーション膜(保護膜)・エピタキシャル(Epitaxial)ウェハ用バックシール等のシリコン酸化膜(SiO2膜)の成膜を目的とした、連続式常圧CVD装置(APCVD装置)です。 【特徴】 ・～56枚/hの高生産性 (対応ウェハサイズ: ～12インチ) ・真空・プラズマ不要 (熱CVD) ・SiCトレー採用による重金属汚染(メタルコンタミネーション)対策 ・シンプルメンテナンス ・低CoO(低ランニングコスト) 【用途】 ・エピタキシャル(Epitaxial)ウェハ用バックシール(NSG) ・パッシベーション膜(保護膜・絶縁膜)(NSG) ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。
D501は、少量生産/テストや不定形基板へのシリコン酸化膜(SiO2膜)の成膜を目的とした、バッチ式(複数枚同時処理)の常圧CVD装置(APCVD装置)です。 【特徴】 ・異形状・サイズ基板の同時処理 ・高い成膜速度 ・シンプルメンテナンス ・省フットプリント ・低CoO(低ランニングコスト) 【用途】 ・層間絶縁膜(NSG/PSG/BPSG) ・拡散/インプラ用ハードマスク, 犠牲膜(NSG) ・パッシベーション膜(保護膜・絶縁膜)(NSG) ・太陽電池(セル)向け固相拡散用ソース膜(BSG,PSG)/キャップ膜(NSG) ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。
AMAX1000Sは「AMAX」シリーズの実績をもとに、太陽電池(セル)製造用に開発された連続式常圧CVD装置(APCVD装置)です。 【特徴】 ・156mm角/125mm角ウェハ対応 ・1500枚/hの高生産性 ・太陽電池用薄型ウェハ対応 【用途】 ・拡散/インプラ用ハードマスク, 犠牲膜(NSG) ・パッシベーション膜(保護膜・絶縁膜)(NSG) ・固相拡散用ソース膜(BSG,PSG)/キャップ膜(NSG) ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。
FPDなどリジット/フレキシブルデバイスに対応した4.5世代ガラス基板成膜装置です。 【特徴】 ・低温(150～300℃)成膜 ・4.5世代ガラス基板に250℃で100nmのSiO2膜をスループット 25枚/h以上の成膜 ・シンプルメンテナンス ・低CoO(低ランニングコスト) ・高品質なSiO2膜の形成: 低ストレス、プラズマダメージレス、小パーティクル ・導入・維持コストの削減: 小フットプリント、真空・プラズマ処理不要 【用途】 ・FPD向け絶縁膜(NSG) ・酸化物半導体TFT パッシベーション膜(NSG) ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。
弊社グループ会社の洗浄装置はフォトマスク／レチクル製品のハイクリーン化と歩留向上に寄与し、より完成度の高い製品の生産にご協力いたします。 【特徴】 ・ハイクリーン化と歩留向上に貢献 ・検出限界レベルまで有機物・金属イオン・異物を除去可能 ・ワーク上の不純堆積物を高速除去するとともに廃液管理も安全な環境対応ツール ・RCA洗浄液に変わる洗浄液・洗浄方法の採用 ・機能水を使用したスピン洗浄ユニットを装備 ・洗浄面への洗浄液高速拡散 ・ウォーターマークレス乾燥 【用途】 ・フォトマスク/レチクル/マスクブランクスメーカーでの製品洗浄 ・半導体デバイスメーカーの露光前レチクル洗浄 ・半導体デバイスメーカー内製マスクライン(マスクショップ)での製品洗浄 【納入実績】 ・国内外マスクブランクス/フォトマスク/レチクルメーカー ・国内外デバイスメーカー ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。
IPA蒸気を使用したウェハ乾燥装置です。スタンドアローン型・洗浄機組込型をラインナップしています。 【特徴】 ・4インチ～8インチウェハ用IPA蒸気乾燥装置 ・ウォーターマークフリー ・各種洗浄機に組み込み・ドッキング可能 ・微細パターンへ対応可能 ・高スループット対応 ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください
ウェハ搬送移載装置は、オープンカセット内のウェハを別のオープンカセット・石英(SiC)ボート等へ自動移載する装置です。 【特徴】 ・4インチ～8インチウェハ用移載機 ・CR内でのウェハの自動移載が可能 ・2カセット同時やピッチ変換・Face to Face (Back to Back)等の機能を付加可能 ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください
「HTC／VTC」シリーズは、拡散工程・CVD工程・アニール工程で使用される石英管の洗浄を目的とした石英管洗浄装置です。 【特徴】 ■石英管の形状・洗浄用途に合わせた装置ラインナップ ・6インチ・８インチ・１２インチ プロセス用の石英管に対応致 ・石英管の形状・洗浄用途に合わせ、横型式(HTC)と縦型式(VTC)の装置を選択可能 ■省スペースで「薬液・純水削減」に貢献 ・縦型式(VTCシリーズ)は、省スペースで「薬液・純水削減」に貢献 ■カスタマイズ対応可能 ■世界トップクラスの納入実績(400台以上) ・国内外 半導体デバイスメーカー/シリコンウエハメーカーへ世界トップクラスの 納入実績(400台以上)あり ■豊富な関連装置の取り扱い経験 ・石英ボート洗浄装置、石英パーツ洗浄装置、石英保管庫、石英搬送台車等の関連装置の 取扱いも多数あり ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください
石英ガラス製品は、半導体製造プロセスで幅広く使われている石英ガラスで作られている製品です。 【特徴】 ■お客様のニーズに答えます ・弊社グループ会社で生産することにより、お客様のニーズに則したサービスの提供が可能です。 ■高精度な製品 ・独自ノウハウによる自社設計の治工具を用いて高精度な製品を製作しています。 ■精度保証 ・高精度の製品は三次元測定機で測定を行い、精度保証を行います。 ■優れた特性を持つ石英ガラス製品 ・高純度はもちろんのこと、化学的安定性、耐熱性、光の透過率、電気絶縁性に優れています。 ※石英ガラス製品は、半導体産業をはじめとして、LEDや液晶パネル製造等、様々な業界で使用されています ※詳しくはお問い合わせください
弊社グループ会社ワコム製作所にて製作されるメッキマスクゴムシートは、クリーンな環境下で製作され、豊富な種類を取り揃えております。 【特徴】 ■クリーンな環境下で製作 ・異物対策に配慮して製作しております。 ■豊富な種類 ・硬度は0度から90度まで(JIS A)、厚みは0.3mmから対応いたします。 ■樹脂をゴム単体に接着可能 ・ゴム単体だけでなく、樹脂をゴム単体に接着することも可能です。 ex. 両面テープ、PETフィルム、ベークライト、ガラエポ、その他 ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。
シリコーンゲルシートは、弊社グループ会社ワコム製作所にて制作される超低硬度シリコーンゴムシートです。 衝撃吸収・マスキング等 超低硬度の需要は確実に増えてきている中、今まで入手が困難だった 超低硬度シートを標準化し、様々な業種のユーザー各位に、短納期で製品をお届けいたします。 【特徴】 ・並外れた柔らかさによる高い衝撃吸収性 ・ゴムでは不可能な優れた防振性能 ・高い熱伝導率 ・優れた防水・防塵性 ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください
シリコーンゴム中心の成形品は、グループ会社ワコム製作所で製作しております。 異物対策に配慮しクリーンな環境下で製作されており、さらには寸法精度が高いため、 半導体製造装置および医療機器用部品に適しております。 【特徴】 ■半導体製造工程装置および医療機器部品に好適 ・異物対策に配慮し材料練り～梱包に至るまでクリーンな環境下で物作りをしています。 ■製品本来の寸法値を得ることが可能 ・製品の測定は接触による「ゴムはつぶれる・変形する測定」が一般的ですが、光学測定器による非接触測定をしますので製品本来の寸法値を得ることができます。 ■ハイクオリティーな製品を提供 ・分析装置（赤外分光分析）、形状解析レーザー顕微鏡、ゴム万能自動硬度計、物性測定器を屈指し定性的・定量的に分析・解析を行い、お客様に満足していただけるようハイクオリティーな製品を提供し続けます。 ■IPX7＊（浸水に対する保護等級）をクリアする防水用部品 ・異素材との一体成型品も可能(樹脂素材＋シリコーンゴム、金属＋シリコーンゴム等) ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
弊社グループ会社ワコム製作所で製造しているシリコーンゴムシートは清掃のゆきとどいた工場内で、異物等のコンタミがほとんどなく製作されるシリコーンゴムシートです。 【仕様】 ・厚み: 0.5mm, 1mm, 1.5mm, 2mm, 3mm, 4mm, 5mm ・サイズ: 300mm×300mm, 500mm×500mm 上記の汎用品に加えて、導電性、難燃性、耐熱性、放熱性、高引裂性等の特殊仕様のシリコーンゴムシートも対応致します。 ※詳細及び上記以外の厚み、サイズにつきましてはお問い合わせください
超透明シリコーンゴムは透過率95%とガラス・アクリル樹脂並みの透明性を有しております。 厚さも100μから用意がありますので、液晶画面のキズ防止・タッチパネル等の画面操作の 緩衝保護フィルムとして最適です。 【特徴】 ・透過率95%のガラス並みの透明性 ・フレキシブルの為、割れない 【用途】 ・保護フィルム(液晶画面のキズ防止・タッチパネル等の画面操作の緩衝保護) ・LED周りの各種部品用 ・ガラス、アクリルの代替用材料 ・インテリア、玩具、アクセサリー用材料 ・特殊レンズ等の材料 ※詳しくはお問い合わせください
シリコーンシートでガラス繊維を挟んだ製品です。 クッション材としてコンベヤーベルト等に使用されております。 ※詳しくはお問い合わせください。
シリコーンは、優れた耐熱性、耐候性、電気特性などに加え、ゴム状、樹脂状といった多彩な 製品形態を持ち、あらゆる産業で利用されている機能材料です。 弊社では、一部のMOMENTIVE社製(モメンティブ社製)のシリコーン製品の在庫を持っているため、短納期にて対応できるものもございますので、是非、一度ご相談ください。 【特徴】 ・優れた熱安定性、科学的安定性、耐候性、電気絶縁性 ・離型性・非粘着性付与 ・消泡性 等 【用途】 ・室温硬化型シリコーンゴム(RTV)は接着剤、ポッティング剤、シーリング剤 等 ※詳しくはお問い合わせください。
弊社グループ会社トムコ 機械製造部では、精密治具･部品の加工から表面加工、洗浄までのワンストップサービスで、お客様設備の品質向上、コスト削減、部品の短納期化を実現します。 【特徴】 ・設計から加工、検査にいたるまで、最先端の機器を導入 ・5軸複合加工機へのアングルヘッド装着により特殊なニーズへの対応も可能。 ・設計から加工において、プログラミングによる高精度な自動化を実現、高品質を確保。 【用途・実績例】 ・金属材料: ステンレス、チタン、モリブデン、インバー、SS、アルミ、真鍮、銅 ・樹脂材料: テフロン、塩化ビニール、アクリル、PP、PRS、PEEK ・表面加工: 各種表面処理、各種メッキ、アルマイト、塗装、コーティング、電解研磨、超音波洗浄 ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください
高純度炭化けい素を主成分とするTPSSは、クアーズテック社独自の技術により開発された半導体関連材料です。 半導体熱処理炉用炉芯管をはじめ均熱管、ボート、フォークなどに応用されています。 【材料】 高純度反応焼結炭化ケイ素 TPSS 【特徴】 ・高温から低温プロセスまで幅広いユーザーニーズに対応 ・高純度、高強度、高耐食性 ・高温での使用が可能（～1350℃） ・パーティクル発生を抑制 製品の表面にCVD法により超高純度で緻密な炭化けい素膜をコーティングしたグレードも提供しており、特に、精密加工技術を取り入れたウェーハボートには定評があり、300mmウェーハプロセスの品質、歩留向上にも貢献しています。 ※詳しくはお問い合わせください
サファイアに近い特性を持った多結晶アルミナです。 高純度であると同時に気孔がほとんど無い緻密な焼結体です。 また、結晶粒径の揃った均一な組織構造を持つため、プラズマ雰囲気の過酷な環境に耐える事が出来ます。 【特徴】 ・高純度（Al2O3 ; 99.97%） ・ハロゲンプラズマへの高耐食性 ・アルミナの理論密度（3.99g/cm3） ・デポ膜が剥がれにくい ※詳しくはお問い合わせください
CERASIC常圧焼結SiCセラミックスは耐磨耗・耐食性が要求される機械部品に最適な材料です。 半導体及びFPD製造用部材としても様々な用途開発が進められており、高純度品としてCVD被膜を施した製品の供給も可能です。 【特徴】 ・高強度 ・高耐摩耗性 ・高耐食性 ※詳しくはお問い合わせください
ADSアルミナセラミックスは、吸水率が0.01％以下と非常に緻密な焼結体です。 【特徴】 ・各種産業用構造部品として幅広く利用 ・吸水率が0.01％以下と非常に緻密な焼結体 ・優れた電気絶縁性、高強度、耐摩耗性などの特性 ・半導体やFPD製造用部材としての用途が拡がっている ・酸・アルカリやハロゲンプラズマに対して高い耐食性を有する 【ADSの用途】 ・エッチング、アッシング装置用部品 ・CVD装置用部品 ・ウェーハ研磨用ラッププレート ・ウェーハ搬送用アーム ・各種大型製品や複雑形状品の対応が可能です。 ※詳しくはお問い合わせください
超高純度で耐食性及び耐熱性に優れているSiCダミーウェハは、長期のリサイクル使用が可能で、LP-CVD、高温拡散、CMP工程にてご使用頂けます。 ◆コストダウンに貢献 ・長期のリサイクル使用が可能 ・超高純度で耐食性及び耐熱性に優れている ・長期使用頂く事で、シリコンウェハの節約、ダミーウェハの交換や洗浄等管理工数削減につながる 【特徴】 ・高純度（純度はppmレベル） ・高耐酸化性（長期間酸化雰囲気で使用可能） ・高耐食性（Wet洗浄のみで堆積膜や表面汚染を除去可能） ・低拡散係数（表面汚染のSiC内部拡散は困難） ・デポ膜がはがれにくく、パーティクルの低減に貢献 ※詳しくはお問い合わせください。
ガラス状カーボンは、一般的な炭素材料の特性である、耐薬品性、耐腐食性、耐熱性、導電性に加え、気体、液体の不透過性、等方性、耐酸性、発塵が無いといった特性を有しています。 これらの優れた特徴から、主に半導体製造装置に使用される部品として用いられています。 【ガラス状カーボン共通の特徴】 ・耐薬品性、耐腐食性、耐熱性、導電性、無発塵 ・気体・液体の不透過性 ・高純度 (製造過程において特殊な処理を行うことで高純度化も可能) ・高耐熱性、X線高透過性 【ガラス状カーボンビーズの特徴】 ・滑らかな表面状態の真球状炭素材料で、フィラーやセラミックス等の造孔材として使用可能 ・熱膨張が小さく、熱衝撃にも強い ・気孔のない緻密な等方性組織 ・中心粒径100μm、200μm 【多孔質ガラス状カーボンの特徴】 ・ガラス状カーボンの特性に、さらに通気性、通液性を有する ・真空チャック用途などに使用実績あり ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください
カーボン接着剤は炭素材料用（黒鉛材、C/Cコンポジット等）に開発された高強度・耐熱接着剤です。 接着剤自体を炭素化することで、炭素材料の優れた特性を損なうことなく接着できます。 【主な用途】 ・黒鉛治具の接着 ・SiCウェハの引き上げ用種結晶の接着 ・高温真空・不活性ガス雰囲気での黒鉛、C/Cコンポジット同士の接着 ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください
高純度黒鉛材料は、半導体製造工程で幅広く使用されています。 さらに、厳選された黒鉛基材の表面にSiCコーティングを施したクリアーカーボンは、エピタキシャル用サセプターや各種治具で使用されており、その優れた特性は国内外で高く評価されています。 【特徴】 ・半導体をはじめ様々な産業で利用（特殊な処理により灰分を3ppm以下に抑えています） ・特殊炭素材料：高密度／高均熱特性／高耐酸化性 ・SiCコートグラファイト：高純度／優れた高温耐久性／高均熱特性 ・高純度グレード：特殊炭素材料は、さらなる耐酸化消耗性を備え、半導体用途に適した高純度グレードも取り揃えております。 ・Fine Grain コーティング：枚葉サセプター用には、結晶の緻密なFine Grain コーティングもございます。 ※詳しくはお問い合わせください
「SiCヒーター（炭化ケイ素発熱体）」は、800℃～1600℃での高温使用が出来るヒーターです。 単位面積当りの発熱量が大きく、短時間の昇温が可能です。 金属工業、電子工業、化学工業、窯業、開発試験用途、等の幅広い分野の電気炉に採用されています。 新規設備への設置をはじめ、既存の電気炉内のヒーターの代替として使用することが可能です。 【こんな用途に活躍】 ■各種金属の焼入、焼戻 ■セラミックコンデンサ等の焼成 ■ガラスの溶融、成形、徐冷 ■液晶ガラスの熱処理・レンズの熱処理 ■石英原料の焼成 ■ファインセラミックスの製造 など ※SiCヒーター（炭化ケイ素発熱体）の用途例はダウンロードよりカタログをご覧ください。
【特徴】 ・最高使用温度1800℃まで使用可能 ※約500℃～1800℃。 ・高寿命かつ、繰り返し使用が可能です。 ・取付取り外しが容易です。 ・温度制御がし易く、反応が早い為、炉内の特定の箇所を均等に加熱することが出来ます。 ・お客様の炉の仕様に合わせた設計が可能です。 ※半導体メーカー、光学メーカーに実績あり ※詳しくはお問い合わせください
管状炉とは、カンタルワイヤーをコイル状に加工し、断熱材、円筒形の外枠で組み立てたもので、チューブ炉とも呼ばれ、その名の通り管（筒）状の電気炉で工業炉の中でも一角を担う存在です。 【特徴】 ■精密な温度制御や温度勾配が可能 ・炉内が筒状なので温度精度に優れ、均一加熱に適した電気炉でゾーン制御(※)を行うことにより、 精密な温度制御や温度勾配が可能な電気炉となります。 ■御要望の電気炉を一台から製作可能 ・小型精密管状炉に使用している小口径から半導体製造装置（拡散炉）や工業用に使用される大口径 のものまで様々な管状炉を製作しています。 ■カンタル(高温使用できる合金)を耐熱材料や耐熱金具としても加工致します。 (※)ゾーン制御 炉内において部分的に温度を制御する事で温度精度を向上させる技術 【仕様】 ・発熱体 カンタル AF / A-1 / APM ・最高温度 発熱体 約1400℃（炉内最高 約1300℃） ※詳しくはお問い合わせください。
ブレイクフィルターは、セラミック多孔体のもつ非常に微細な細孔を利用し、圧力バッファー効果を利用した真空破壊用の高性能ディフューザーです。 【特徴】 ■スループットの向上 ロードロック室の窒素ガス吹き出し口にブレイクフィルターを取り付けることにより、スローベントが不要になり、スループットの向上が図れます。 ■パーティクルの舞い上がり防止 パーティクルの低減にも優れた効果を発揮し、突発パーティクルの防止にも多大な効果があります ■ベント時間短縮 ■高耐食性 ※詳しくはお問い合わせください
クアーズテック社のインライン・ガスフィルター『CEPURE』に採用したエレメントは、耐食性に優れた99.9%以上の高純度アルミナで、均一にコントロールされた2層もしくは3層からなる微細な細孔を有しています。 幾何学的に圧力損失を低減するデザインと共に、ろ過特性、ガス置換特性などガスフィルターに求められる特性面においても非常に優れており、理想的なフィルターメディアです。 【特徴】 ・優れたガス置換特性 ・高耐食性 【仕様】 材料：アルミナ多孔体（エレメント部）/SUS/ニッケル/PTFE 【用途】 各種半導体プロセス用インラインガスフィルター ※詳しくはお問い合わせください
【イプロス初主催】AIを活用したリアル展示会！出展社募集中
