【製品情報】メタルシールマスフローコントローラ/メータ『GF100シリーズ』
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モデル GF100 / GF101 / GF120 / GF120XSL / GF120XSD / GF121 / GF125 / GF126
『優れた応答速度や繰り返し性で、高清浄度・超高清浄度のプロセスガス供給を実現』
半導体、MOCVD、その他のガス流量コントロール用アプリケーションを想定して作られたGF100シリーズは、高い繰り返し性と安定性能を確保し、業界標準を超える信頼性を提供します。標準のMultiFlo(TM) テクノロジーにより、ガスラインから切り離したり、精度を犠牲にすることなく、数千種類ものガスタイプとレンジの組み合わせをサポートします。
業界最高レベルのガス清浄度を実現するとともに、プロセスの柔軟性と効率性を向上し、収率と生産性を最大限に拡大することができます。
用途
■ 半導体エッチングツール
■ 薄膜化学蒸着(CVD)システム(CVD、MOCVD、PECVD、ALD)
■ 物理蒸着(PVD)システム
■ エピタキシャルプロセスシステム
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