【基礎知識】研磨加工の種類

CMPプロセスにおける研磨用パッドのディファクトスタンダード。世界シェアNo.1！

これまでに数多くの採用実績があり、今もなお高いシェアを維持しています。 IC1000(TM)は、特殊な材料・製造・加工技術、そして高いアプリケーション・評価技術をベースにデザインされていますので、最適なパフォーマンスをお届けします。

• その他研磨材

鏡面研磨加工における一次研磨に最適な研磨パッド

EXTERION(TM)シリーズは、優れた発泡コントロール技術から生まれたポリウレタン発泡パッドです。シリコンウェーハや化合物基板などの一次研磨に使用され、高品位な仕上がり面と信頼性の高い研磨性能を得ることができます。また特殊な加工技術により　優れた厚み精度と立ち上げ性能を発揮します

• その他研磨材

様々な用途にバランスよく対応する不織布ベースの研磨パッド

『Suba(TM)』は、原料にポリエステル繊維を使用しており、乾式法により成形した不織布にポリウレタンを含浸させた研磨パッドです。 主に、シリコンウェーハやサファイアウェーハ、酸化物ウェーハなどの 一次研磨・二次研磨用として優れた性能を発揮します。 また、エッジ研磨やノッチ研磨にも使用可能で、それぞれのプロセスに 応じた幅広い製品ラインナップを持っております。 【特長】 ■高研磨レート ■低欠陥性 ■高平坦性 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• ウエハ加工/研磨装置
• 手研磨・ヤスリ
• その他研磨材

ディフェクトフリーを実現する仕上げ用研磨パッド

H1000シリーズパッドはシリコンウェーハのファイナル研磨用パッドとして開発されました。独自の樹脂　設計により優れたスクラッチ性能を示し、ストレートポア構造により高い安定性、ロングライフを実現します。

• その他研磨材

ナノレベルの表面品質を実現する研磨スラリー

Nanopure(TM)シリーズは、主にシリコンウェーハの一次研磨・二次研磨・仕上げ研磨・エッジ研磨用に用いられる研磨スラリーです。砥粒は高純度のコロイダルシリカを採用し、最適な添加剤配合により優れた研磨性能を実現します。 お客様の目的や用途によって最適な製品ラインナップをご提案させて頂きます。

• その他研磨材

高研磨レートと良好な表面品質を実現する研磨スラリー

コロイダルシリカをベースとした砥粒配合技術と添加剤配合技術により、高研磨レート・高表面品質を実現します。サファイア・ガラス・水晶・　酸化物・樹脂など研磨目的・用途別に応じて製品をラインナップしています。 お客様の目的や用途によって最適な製品ラインナップをご提案させて頂きます。

• その他研磨材

『ホットジェブロ ふじやまR2』は、 米国製トラックマウントの仕組みを応用し、 日本の建物環境や作業方法に合わせて小型化 更に、積み降ろしが可能なユニット型として設計・製造しております。 アフターにも考慮したメンテナンス体制、国内部品を活用した 完全国内生産のメイドインジャパンです。 最大20MPa（約200kgf/㎠）の高圧噴射水を 自動生成した最高80℃の温水を利用して洗浄しながら、 同時に洗浄汚水の回収処理が可能になります。 1台の中に多機能を組み込んだ、画期的な特殊洗浄機です。 2つの異なる作業を1工程に集約、工程短縮しているため、 作業時間と人工の削減、コストの大幅な削減に貢献します。 デモのご相談も可能です！ ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 洗浄のビフォーアフター動画も下記よりご覧いただけます！

日之出水道機器(株)「メカニカルスティッチ工法」は、熱を加えずに金属クラック補修が可能な新工法です。 特殊ボルトと補強プレートを使用しクラックを物理的に除去し、母材に熱影響を一切与えずに補修致します。 火気が使用できない環境でも補修できます。熱を加えないことから設備の分解が最小限に抑えられます。 ◎詳しくはお問合せください。 ◎詳細技術説明が必要な場合はお問合せください。

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当社で行った、超硬測定子微細SR加工事例をご紹介いたします。 【事例概要】 ■用途：測定端子 ■規格：SR0.025(＋0.005/0) ■材質：超硬合金 ■SR0.025部加工機：プロファイルグラインダー ■SR0.025部測定器：全周3次元測定器MLP-3 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい

ノイズ対策を考慮した高品質な電子回路の開発・設計を行う技術者のための 情報サイトノイズ対策ドットコムでは、ノイズに関するノウハウを一冊にまとめたハンドブックをプレゼントしております。ハンドブック無料プレゼントまたはお問い合わせについては、下記フォームにご入力の上、送信願います。 https://www.noise-counterplan.com/inquiry/ なお、お問い合わせは24時間お受けしておりますが、回答は当社営業時間内での返信とさせていただきます。 お問い合わせの内容により、回答までにお時間をいただく場合がございますので、予めご了承ください。