石英製非接触ロボットハンド。ベルヌーイチャックともいう。気体を噴出することによりエゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧発生と圧
ウエハを非接触チャッキングする 石英製 耐熱性 クリーンルームにて使用可能
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基本情報
石英製非接触ロボットハンド。ベルヌーイチャックともいう。気体を噴出することによりエゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧発生と圧力式エアクッション効果による正圧発生により、ウエハを空中に浮遊した無接触・非接触状態にて懸垂保持し、搬送、反転、傾斜する。排気回収機構により超クリーンルーム内での使用も可能。
価格情報
-
納期
~ 1ヶ月
用途／実績例
石英製非接触ロボットハンド。ベルヌーイチャックともいう。気体を噴出することによりエゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧発生と圧力式エアクッション効果による正圧発生により、ウエハを空中に浮遊した無接触・非接触状態にて懸垂保持し、搬送、反転、傾斜する。排気回収機構により超クリーンルーム内での使用も可能。
企業情報
当社にて発明、開発した垂直気体噴流方式の非接触搬送装置「フロートチャック」（特許）を用いたウエハ、液晶ガラス基板、ＰＤＰ、セラミック、プリント基板、ＦＰＣ基板、フィルム、紙、布等の非接触搬送装置および応用装置の製作。