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【ホットステージ】超高温基板加熱ステージ Max1800℃

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最終更新日:2026年09月14日

テルモセラ・ジャパン株式会社 本社
テルモセラ・ジャパン株式会社 本社
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基板上下昇降・回転、RF/DC基板バイアスの機能を備える超高温基板加熱ステージ Max1800℃

半導体、電子基板、真空薄膜プロセス装置・研究開発用【超高温基板加熱機構】 対応基板サイズ:Φ2〜6inch 真空(UHV対応可能)・不活性ガス・O2・各種プロセス反応性ガス雰囲気等でご仕様いただけます。(詳細別途協議)

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【ホットステージ】超高温基板加熱ステージ Max1800℃

Hot-Stage_2024-1.png
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  • 特設サイト - 製品・サービス詳細 - https://pr.mono.ipros.com/thermocera/product/

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基本情報

◉ 超高真空・不活性ガス雰囲気中・その他各種プロセスガス雰囲気に対応 ◉ ステージ上下昇降(基板又はヒーター昇降、基板・ヒータ二段昇降式) ◉ 基板回転 ◉ RF(1KW)/DC(500V)バイアス印加(逆スパッタ) ◉ 使用環境に応じたエレメントの選択: カンタル, NiCr, グラファイト, CCコンポジット, SiCコーティング ◉ 各種真空フランジ接続:ICF, ISO(KF/LF), JIS(VG/VF)フランジ ◉ K, C熱電対付属 ◉ その他オプション:温度制御ユニット, 特注基板ホルダー

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※詳細は当社までお問合せ下さい。

用途/実績例

【用途】 CVD/PVD(蒸着/スパッタリング)ALD, 高温試料解析, 高温アニール用途、など 【実例】 ・既存薄膜装置加熱ステージの高温化, 上下/回転/バイアス機構の増設改造 ・新規プロセス評価機、試作機への搭載

詳細情報

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    4inch hot stage max1200C with bias 4inch hot stage max1200℃ RF bias事例

  • 4inch-hot-stage-with-water-cooling.jpg

    4inch hot stage with water cooling 4inch hot stage水冷ハウジング付き設置事例 Max1200℃グラファイトエレメント インコネルウエハーホルダー

  • Air-side-Z-shift-50mm-stroke.jpg

    大気側Z軸駆動モーター 大気側Z軸駆動モーター(50mmストローク例) RFバイアス

  • 2inch-hot-stage-1000C-with-1KW-bias.jpg

    2inch hot stage NiCr element max1000C with bias 2inch hot stage NiCr element max1000C with bias Inconel wafer holder

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ホットステージ【基板加熱機構】超高温基板加熱ヒーター

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【SH 高温 基板加熱ヒーター】(Inc/BNプレート Max1100℃)PVD CVD 真空薄膜用 高温 プレートヒーター

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VOXIA series X線CT撮影装置

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【MiniLab-WCF 超高温ウエハーアニール炉】Max2000℃

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【nanoCVD-8G】グラフェン合成装置

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ウエハースケール グラフェン合成装置【nanoCVD-WGP】

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【nanoPVD-S10A】RF/DCマグネトロンスパッタリング装置

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◆nanoPVD-T15A◆ 高性能 有機膜・金属膜蒸着装置

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スパッタ・蒸着ソース混在 複合型成膜装置【nanoPVD-ST15A】

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【マグネトロンスパッタリングカソード】

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◆HTEヒーター/OLED有機蒸着・高温金属蒸着セル◆ Max1500℃

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【MiniLab(ミニラボ)】シリーズフレキシブル薄膜実験装置

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【MiniLab-026】フレキシブル薄膜実験装置

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【MiniLab-026/090】グローブボックス薄膜実験装置

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多元マルチスパッタリング装置【MiniLab-S125A】Φ4〜12"対応

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グローブボックス薄膜実験装置【MiniLab-026/090-GB】

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多機能スパッタリング装置 【MiniLab-S070】

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【PyroUSB】USB接続式 高精度赤外線温度センサー

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【PyroNFC】スマートホン設定式赤外線放射温度センサー

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【PyroCouple】 (パイロカップル)赤外線温度センサー

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【PyroCV】建設機械・工事車両用 赤外線放射温度センサー

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この製品に関するニュース(49)

【PyroMini】小型高性能赤外線温度センサー画像

■□【PyroMini】(パイロミニ)□■ 小型高性能赤外線温度センサー

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高機能タッチパネル変換器で簡単設定・データロギング・microSDカードにデータ保存 PM2.2は光沢金属表面の測定も可能 【概要】 視認性の良い高輝度タッチパネルディスプレーで、温度レンジ・放射率・サンプリングレート等のパラメータを直感的に操作・設定。 microSDカードで長期間のデータ保存・管理が可能です。 (*オプションでディスプレー無しの変換器もあります) φ18mm x 45mmの小型センサヘッドで、狭い場所での温度測定も可能、耐ノイズ性に優れたセンサ・ケーブルを採用しておりますので、ロボットアームなどの動く機器への組込みにも適します。 PM2.2モデルは、短波長2.2um波長を採用、高温(Max2000℃)、光沢性のある金属材料表面の測定などにも対応します。 【特徴】 ◎ ワイドレンジ:-20〜1000℃(PM), 100〜2000℃(PM2.2) ◎ 優れた基本性能:精度±1%, 再現性±0.5%、240msec高速応答 ◎ 測定波長領域:8〜14μm(PM), 2.0〜2.2μm(PM2.2) ◎ 小型Φ18mm x 45mm

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PyroNFC スマートホン設定式赤外線放射温度センサー画像

★【PyroNFC】スマートホン設定式赤外線放射温度センサー★

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温度範囲・放射率・アラーム等のパラメータをスマートホン、タブレットで設定 表示計器、計器用電源を必要とせず簡単に設定できます。 ● スマホ・タブレットを使い設定を行う事ができます。 ● 専用アプリをGoogle Playから無料ダウンロード(Android4.1〜5.1) ● AndroidのNFC通信を使い、センサ部にタッチするだけで読込み・書出しをします。 ● 超小型センサ(Φ31mm x t29mm)狭い場所でも温度測定が可能。 ● 高速応答125msec、高精度±1.5% ● 電圧出力(0-5V or 0-10V)、又はK熱電対出力 【その他仕様】 ◉ 視野角:15:1 ◉ 温度範囲:0℃〜1000℃ ◉ 測定波長領域:8〜14μm ◉ 放射率: 0.2〜1.0 ◉ 電源:24VDC(最小6V/10V〜最大28VDC) ◉ ケーブル:1m付属(最長30m延長可能) 【オプション】 ◉ 本体固定金具 ◉ 延長ケーブル ◉ エアパージキット

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■□【PyroCouple】□■ 小型非接触式赤外線温度センサー

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小型計量・堅牢ボディ・高精度±1%・240msec高速応答 産業用機械制御用、生産現場の温度監視など多目的に応用できます。 【特徴】 ◎ アンプ・センサ一体型 ◎ 4-20mA出力(標準)、0-50mV、熱電対K, J出力(オプション) ◎ 精度:±1% or ±1℃(いずれか大きい値) ◎ 再現性:±0.5% or ±0.5℃(いずれか大きい値) ◎ 応答速度:240msec ◎ 保護等級:IP65 【その他仕様】 ◉ 視野角:2:1, もしくは15:1 ◉ 温度範囲: ・LT(-20℃〜100℃) ・MT(0〜250℃) ・HT(0〜500℃) ◉ 測定波長領域:8〜14μm ◉ 放射率:0.95(固定) ◉ 電源:24VDC ◉ 本体寸法:Φ18mm(径) x 103mm(長さ) ◉ 重量:約95g ◉ ケーブル1m(標準付属):延長最長3m(オプション)

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PyroUSB高精度赤外線温度センサー画像

■□【PyroUSB】□■ USB接続式 高精度赤外線温度センサー

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【概要】 標準付属の「CalexConfig」とUSBケーブル(1.8m付属)でWindowsPCに接続、PC上でセンサの測定パラメータ設定、測定結果の解析・CSV出力ができます。 1) 4-20mA出力 2) USB出力(USBバスパワーで動作) 3) 4-20mA/USB出力の同時使用 の3通りの使い方が可能です。 【特徴】 ◎ USBデータロギング/4-20mAアナログ出力の同時使用可能 ◎ 優れた基本性能:精度±1%, 再現性±0.5%、200msec高速応答 ◉ PUA2:短波長2.0〜2.4μmもカバー、金属表面も測定可能 ◉ PUA5:ガラス表面測定用に最適 波長5μm ◉ PUA8:一般用途 幅広い用途に 波長8-14um 【その他仕様】 ◉ 視野角:15:1, 25:1, 30:1, 又は75:1 ◉ 放射率設定範囲:0.1〜1.0 ◉ 電源:24VDC ◉ 本体寸法:Φ27.6mm(径) x 61mm(長さ) ◉ 重量:約155g ◉ アナログ信号ケーブル1m(標準付属、延長最長30mまで) *USBケーブル1.8m(USBケーブルは延長不可)

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テルモセラ・ジャパン株式会社

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産業用電気機器

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【Endless possibility_thermal engineering...】 当社は半導体・電子機器基礎研究用真空薄膜装置、CVD基板加熱用超高温ヒーター、実験炉、温度計測機器などを販売しております。 いつの時代でも欠かす事のできない「熱」に対する尽きぬ需要、基礎技術開発分野での様々なご要求にお応えすべく、最新の機器を紹介し、日本の研究開発に貢献してまいりたいと考えます。

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