半導体用クリーンルーム対応リフロー炉
ウェハーレベルのソルダバンプ形成とベアチップのフェースダウン実装を可能にした最新のマイクロソルダリング用リフロー炉です。
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基本情報
【特徴】 ○炉内清浄度クラス1000を実現 (ウォーキングビーム搬送方式と遠赤・輻射加熱方式) ○炉内酸素濃度100ppm以下 (気密性に優れたチャンパー構造) ○フラックスヒューム回収装置 炉内で発生したフラックスヒュームは回収装置によって回収・除去 ○自在性の高い温度設定 ヒーターは搬送方向に4ゾーン、各ゾーンが8ブロック分割制御されており、自在性の高い温度設定が可能(32面制御) ○搬送機構 発塵しないウォーキングビーム方式を採用し、タクト運転により、各ゾーンで安定した加熱 ○輻射加熱 強制対流を必要としない遠赤外線・輻射加熱方式を採用しているため、熱風によるバンプ表面仕上がり不良を抑制 ○鉛フリーはんだ・高温はんだにも対応 ●その他詳細についてはカタログをご覧頂くか、もしくはお問い合わせください。
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【環境理念】 当社は、地球環境保全が人類共通の重要な使命であることを認識します。 私たちは、この使命のもとに、循環型社会の形成に寄与すべく、自然と事業活動との調和を図り、子々孫々に豊かな地球を残すことに全力を尽くします。 【環境方針】 1.環境関連法規制を遵守すると共に、必要に応じて定める自主管理基準の達成をめざします。 又、地域との環境に関する協定等の約束事項を遵守します。 2.当社が行う事業活動の中で、特に環境に与える影響が大きい次の項目を重点テーマとして定めます。 1) 省エネルギー・省資源化の推進 2) 廃棄物排出量の削減 3) 特に定める化学物質使用量の低減 3.ISO14001に基づく環境マネジメント活動を推進し、継続的な改善及び汚染の予防を行っていきます。 4.地域社会とのコミュニケーションを図り、人と自然にやさしい町づくりに協力していきます。 5.環境目的・目標を設定し、必要に応じ見直します。