スピン回転により洗剤（界面活性剤等）でブラシ洗浄します。
「小型スピン洗浄装置 ME-510」は対象ワークを手動にてセットし、スピン回転により洗剤（界面活性剤等）でブラシ洗浄し、純水リンス洗浄、エアブロー乾燥の処理を行うマニュアルスピンナーです。対応回転数はMAX3000rpm、対応試料サイズは30～150角、PETフィルム及びガラスとなっています。ブラシ部はブラシ昇降、旋回、ブラシ回転、洗剤供給を行い、純水供給部はエアシリンダーによる旋回、純水供給を行います。本体サイズはW650ｘD800ｘH710でアルミフレームになります。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
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基本情報
【仕様】 ○対応回転数：MAX 3000rpm ○対応試料サイズ：30～150角、PETフィルム及びガラス ○ブラシ部：ブラシ昇降、旋回、ブラシ回転、洗剤供給 ○純水供給部：エアシリンダーによる旋回、純水供給 ○エアーブロー：エアブロー乾燥 ○本体サイズ：W650ｘD800ｘH710、アルミフレーム ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
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企業情報
2009年7月経済産業省より中小企業ものづくり基盤技術の高度化に関する研究開発計画の認定を受ける。 2010年6月太陽電池用ガラスエッチングについて、産業技術総合研究所と共同開発を開始 2011年2月3次元半導体研究センターに8インチケミカル洗浄装置を受注搬入 2011年7月埼玉県より次世代産業参入支援事業受託 2011年11月アルカリスピンエッチング装置開発。 仕様：大型基盤用（300角） 2012年2月埼玉県次世代産業参入支援事業終了 2012年4月太陽電池用シリコンウエハセパレーター新開発。