テストウエハー等を研磨再生して、太陽電池用のウエハーに再生加工します。
お客様において、使用済となったテストウエハー、又はリジェクトされたプライムウエハーを研磨再生して、太陽電池用のウエハーに再生加工します。3～20mmの研磨により、ケミカル再生では実現できない清浄度や表面の傷などを削り落すことが可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
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基本情報
【特徴】 ○研磨再生により太陽電池用のウエハーに再生可能 →使用済となったテストウエハー →リジェクトされたプライムウエハー ○3～20mmの研磨 ○ケミカル再生では実現できない清浄度や表面の傷を削り落とすことが可能 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
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企業情報
2009年7月経済産業省より中小企業ものづくり基盤技術の高度化に関する研究開発計画の認定を受ける。 2010年6月太陽電池用ガラスエッチングについて、産業技術総合研究所と共同開発を開始 2011年2月3次元半導体研究センターに8インチケミカル洗浄装置を受注搬入 2011年7月埼玉県より次世代産業参入支援事業受託 2011年11月アルカリスピンエッチング装置開発。 仕様：大型基盤用（300角） 2012年2月埼玉県次世代産業参入支援事業終了 2012年4月太陽電池用シリコンウエハセパレーター新開発。