ウエーハ材質に影響を受けない新型アライナ
各種ウェーハに対応した100～200mm新型アライナ。 シリコンウェーハ、シリコンウェーハBGテープ（乳白色）付、透明、半透明ウェーハなどウェーハ材質に影響を受けずにアライメント可能 独自開発のイメージセンサを使用し、モータドライバ、コントローラを本体に内蔵 ウェーハサイズ、材質にあわせてスピンドルの径、形状、材質の変更も対応可能 ベルヌーイスピンドルも搭載可能 制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O SEMI規格にない形状のノッチ、オリフラ等への対応も可能 ウェーハ持ち直し動作が可能なZ軸付きも製作可能
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基本情報
○被搬送物SEMI規格 100～200mmウェーハ（透明、半透明、シリコン） （その他特殊なワーク、材質へも柔軟にカスタマイズ対応致します） ○位置決め精度センタリング：±0.1mm以内 ○オリフラノッチロケート：±0.1度以内 ○位置決め時間3秒(ウェーハの受渡時間は含みません) ○センサLED照明付+イメージセンサユニットによるウェーハエッジ検出 ○位置補正範囲半径4mm以内 ○ウェーハ保持方式真空吸着による保持 ○クリーン度ISOクラス2(駆動部排気時) ○質量約10kg ○ユーティリティ電流電圧：DC24V±10% 3A 真空：-53kPa以上
価格帯
納期
用途／実績例
各種ウェーハに対応した100～200mm新型アライナ。
企業情報
◆信頼を大切にします ご満足いただける製品の提供はもとより、まず「お客様」「取引先」との信頼を経営の基本に据え、大切にしていきたいと考えております。 ◆心 「社員の働き甲斐、生き甲斐が無い職場に心のこもったサービスは生まれない。」との認識に立ち、小さな組織で隅々まで心の通いあった会社創りを目指しています。 ◆スピード どんなに良いものでも必要に間に合わなければ、良いものではない。 ◆技 長年の経験、蓄積したデータ、開発した技術により、ニーズを的確に理解した物創りができます。 ◆お客様の信頼と満足 「心」「技」一体で、「ＪＥＬ製品を導入してよかった」という、最終的なご満足をいただけるものと確信します。
