【無料配布中】自動エッチング装置や自動基盤用現像装置の総合カタログ
2インチから18インチのウエハ及び300mm口基板をローダーより多関節ロボットを使用し各工程を経てアンローダーカセットまで自動で処理する「枚葉式ウエハ処理装置」の総合カタログを無料配布中です！ デモも随時ご相談受付ておりますので、ぜひお気軽にお問合せ下さい！ ※詳しくはカタログをダウンロードもしくはお問合せ下さい。
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基本情報
【掲載内容】 ◆自動エッチング装置 枚葉式のウエハ自動エッチング装置です。ウエハ搬送は装置のセンターに3軸多関節クリーンロボットを設置しローダー、アンローダーはFOUP又はカセット式が有ります。 ◆自動基板用現像装置 枚葉式の基板自動現像装置です。現像液は電子冷熱器により常に一定温度に保たれウエハにスプレーし高精度の現像処理を行います。又現像方式はスプレー式とパドル式の選択ができます。基板搬送は装置のセンターに3軸多関節クリーンロボットを設置しローダー、アンローダーはFOUP又はカセット式が有ります。 ◆自動ウエハレジスト塗布装置 枚葉式の自動レジスト塗布装置です。レジスト塗布は粘度に応じた高性能のポンプを使用し高精度の塗布を行います。又レジストの他接着剤の塗布、保護膜の塗布などにも使用できます。ウエハの搬送は装置のセンターに3軸多関節クリーンロボットを設置しローダー、アンローダーはFOUP又はカセット式が有ります。 ※詳細はお問い合わせください。
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ジャパンクリエイトは、多様化する半導体産業に高精度化・省力化・微細化に対応すべく最先端技術にチャレンジして参りました。 私たちは、ハイテクノロジーに無限の可能性を求めて、ユーザーのニーズにマッチした確かなノウハウを独自性で創造します。 自らハイレベルな技術を目指して歩み続けます。