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STF-MF1 メガフローシリーズ

最終更新日:2016年04月27日

株式会社ピー・ジェイ
株式会社ピー・ジェイ
  • 公式サイト

最大1,000lpmまでの流量を確保

■小型・大流量 一般的なインラインガスフィルタのサイズで、大流量濾過が可能です。 高い粒子除去性能 ■0.003μm 以上の粒子を高い効率で除去致します。 ■優れた耐食性 フィルターメディアとサポート材は全てフッ素樹脂を採用し、ハウジングにはSUS316L材を使用しております。 ※半導体製造装置からPV用バルクガス供給ライン等幅広い用途にご使用できます。

    CVD装置エッチング装置蒸着装置
img.jpg

小型・大流量PTFEガスフィルター「メガフロー」

img.jpg
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  • 関連リンク - http://pureron.co.jp/product/stf-mf1/index.html

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基本情報

濾過精度0.003μm 常用圧力1MPa未満 最大許容正差圧0.7MPa(20℃) 最大許容逆差圧0.3MPa(20℃) 最高許容温度120℃(不活性ガス) 外部漏量2×10-11Pa・m3/sec以下 構成部材ハウジング:SUS316L(電解研磨処理)  内面粗度:Rmax0.5μm以下 フィルターメディア:PTFE  サポート:PFA 継手1/4"、3/8"、1/2"VCR(標準)、Swagelok、その他

価格帯

1万円 ~ 10万円

納期

~ 1ヶ月

用途/実績例

半導体/PV/FPD製造装置各種ガス供給配管 半導体/PV/FPD製造工場各種ガス供給配管

ラインアップ(5)

型番 概要
STF-MF1-02VR・P 1/4
STF-MF1-02SW・P 1/4
STF-MF1-03SW・P 3/8
STF-MF1-04VR・P 1/2
STF-MF1-04SW・P 1/2

企業情報

株式会社ピー・ジェイ

株式会社ピー・ジェイ

電子部品・半導体

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株式会社ピー・ジェイは、(株)ピュアロンジャパンの総販売元として設立されました。(株)ピー・ジェイは全力を尽くしてピュアロン製品を世界に発信して参ります。 取扱商品 1.(株)ピュアロンジャパン製品全て  ・セラミックガスフィルター  ・メタルガスフィルター  ・ハステロイガスフィルター  ・PTFEガスフィルター  ・ハイブリッドフィルター  ・ガス精製器  ・ヒーター  ・リキッドフィルター  ・圧力センサー  ・表示器  ・温度センサー  ・微差圧計  ・比抵抗率計  ・デジタルフローコントロールシステム 2.半導体製造装置用及び一般産業機器向け流体制御機器部品

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