低パーティクル仕様の超高性能光学薄膜用蒸着装置です。
超高性能光学薄膜用蒸着装置 「Sapio 1300/1550」は、新開発のファイバー式光学モニターの採用や、安定した温度制御が可能な80点モニターガラス機構を搭載することで設計通りの特性が得られる高精度を実現しました。 徹底した放出ガス対策により、槽内が汚れていても特性のみならず、安定した膜質が得られます。 【特徴】 ○高効率排気システム ○低パーティクル仕様（オプション） ○高精度膜厚制御システム ○高出力・大面積照射イオンソース 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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基本情報
【特徴】 ○IRカットフィルターの20バッチ連続成膜においても ヘーズ値（濁度）の増加を最小限に抑えられている ○排気・ベント手法の適正化・蒸発源近傍の防汚対策・電子銃の チューニングを行うことにより低パーティクル化を実現している ○Sapioに専用設計した高出力RFイオンソースを搭載することにより、 多層光学フィルターから、樹脂フィルムまで幅広く高品質化が可能 ○独自のアプローチによりニュートラライザーの着火性能を確実にし、 安定した稼働が可能 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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用途／実績例
光学膜 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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企業情報
株式会社昭和真空は、真空中で特定の基板に薄膜を形成させる装置を主とした、真空蒸着装置やスパッタリング装置等の真空技術応用装置（真空装置）を製造販売しております。
