プラズマ応用装置の開発と製造販売なら当社にお任せください！
ノベリオンシステムズ株式会社は、核融合プラズマ加熱装置用の大電流負 イオン源技術を起源とする、技術開発型ベンチャー企業です。 新規の技術ニーズに応えるべく、酸素や各種の活性ガスが使用できるECR （電子サイクロトロン共鳴）高密度プラズマ源およびECR大電流イオン ビーム源の開発を行っております。 各種プラズマ応用装置をお考えのお客様は、是非当社をご用命ください。 【事業内容】 ■プラズマ応用装置の開発と製造販売 ■特殊成膜プロセスの加工受託 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【取扱製品】 ■高出力ECRプラズマ源（EPS-120） ■小型ECR原子ビーム源（ERS-35） ■ミリング装置用アンペア級イオン源 ■EDRラインビームイオン源（ELBS-150） ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
ノベリオンシステムズ株式会社は、プラズマ応用装置の開発と製造販売、特殊成膜プロセスの加工受託を軸に事業を展開している会社です。技術開発型ベンチャー企業として、新規の技術ニーズに応えるべく、酸素や各種の活性ガスが使用できる ECR（電子サイクロトロン共鳴）高密度プラズマ源およびECR大電流イオンビーム源の開発を進めています。