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最終更新日:2020年11月10日

サムコ株式会社
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Aqua Plasmaの効果として、ESCAによる表面の深さ分析結果などを掲載しています

当資料では、アクア プラズマの画期的な銀電極、銅電極の表面処理技術を ご紹介しています。 Aqua Plasmaの効果として、銅サンプル表面の酸化深さをESCAで Arビームエッチングを用いながら組成分析した結果などを掲載。 ぜひ、ご一読ください。 【掲載内容】 ■はじめに ■Aqua Plasmaの効果 ■ESCAによる表面―深さ分析結果 ■フォトレジストの除去レート ■新製品 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

    CVD装置
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【資料】アクア プラズマ~画期的な銀電極、銅電極の表面処理技術~

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ナノレベル~マイクロレベルの薄膜形成および加工の技術に優れ、研究開発用途から生産用途までの装置・技術提供に定評があります。加えまして、今後の市場拡大が見込まれております光源(LED・半導体レーザ)などのオプトエレクトロニクス分野に特化しております。

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