Aqua Plasmaの効果として、ESCAによる表面の深さ分析結果などを掲載しています
当資料では、アクア プラズマの画期的な銀電極、銅電極の表面処理技術を ご紹介しています。 Aqua Plasmaの効果として、銅サンプル表面の酸化深さをESCAで Arビームエッチングを用いながら組成分析した結果などを掲載。 ぜひ、ご一読ください。 【掲載内容】 ■はじめに ■Aqua Plasmaの効果 ■ESCAによる表面―深さ分析結果 ■フォトレジストの除去レート ■新製品 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。