ドライ洗浄のプラズマ技術で環境を守り、半導体デバイスの生産性を大幅に向上させます。
当カタログは、ヤマトマテリアルが取り扱うプラズマ装置を掲載したカタログです。 デモ機や、プラズマ装置のラインアップの他、「RIE プラズマ処理のしくみ」や、 「DP プラズマ処置のしくみ」などもご紹介しています。 当社では、プラズマドライクリーナー、エッチャー（エッチング）、アッシャー（アッシング）の処理目的に合った プラズマ装置を、標準品以外にもカスタムメイドで対応。 企画から提案まで一環してお引き受けしています。 【掲載内容】 ■市場・用途 ■プラズマモードの説明 ■デモ機ラインアップ ■プラズマ装置ラインアップ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【掲載製品(抜粋)】 プラズマ装置 プラズマドライクリーナー プラズマ洗浄装置 プラズマクリーナー プラズマ自動機 プラズマエッチャー プラズマアッシャー ■PIPI ■PDC210 ■PDC510 ■PDC610 ■YSP600U/YSP2KU ■YSP63FA ■YSP68W/YSP68WL ■YSP650W ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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納期
用途／実績例
【用途(抜粋)】 プラズマドライクリーナー プラズマ洗浄装置 プラズマクリーナー プラズマエッチャー プラズマアッシャー 濡れ性向上 ■半導体関連 ・フォトレジスト密着性の向上、レジスト除去 ■IC/LED組立関連 ・ワイヤーボンディング接合強度向上、ダイアタッチ前洗浄 ■光学関連 ・レンズ接着・コーティング前処理 ■バイオ・医用関連 ・マイクロチップ強度向上、マイクロチップ流路親水性向上 ■マテリアル ・高分子材料張り合わせ強度向上、高分子材料のコーティング前処理 ■FPD関連 ・液晶パネル張り合わせ強度向上、保護・偏向フィルム密着性向上 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
半導体評価用のICソケットの開発で半導体メーカーから高い評価を頂いてきました。現在では、カーエレクトロニクス・イメージセンサー・半導体メーカー様の多様なニーズに柔軟かつ迅速に対応し、開発・試作・評価・生産・出荷に必要な資材を一括提案。新製品の開発にも果敢に挑み、秒刻みで変化するエレクトロニクス業界を支援しています。また、2006年10月1日より、ヤマト硝子は、より大きな可能性を目指して発展する企業「ヤマトマテリアル株式会社」へ社名変更し、適確な企業ブランドイメージの浸透とともに、更なる事業展開を目指します。
