最先端アライメントに最適! 多軸&高速＆高精度を合わせ持ったヘキサポッドとピエゾステージの統合位置決めシステム！
＜高速＆高精度駆動＞ この9軸アライメントシステムは、H-811型ヘキサポッドとP-616型ピエゾナノポジショナーを統合した高剛性システムです。 ※ヘキサポッドは、6本脚が1枚の駆動面を支えることで高剛性、かつ非常に滑らかな駆動が可能です。 ※P-616型ピエゾナノポジショナーは、ナノメートルの位置精度を持ち、高速スキャンモーションを可能にします。高性能フィードバック位置センサーが装備されているため、正確で高再現性を実現します。 ＜高解像度アナログ信号入力＞ コントローラは高解像度アナログ入力を介して、光強度信号を直接受信することができます。カメラを使った複雑なセットアップは必要ありません。 ＜ピボットポイントの任意設定＞ システムのピボットポイントは、例えば、ファイバーの先端、ビームウエスト、SiPウェーハの表面などに任意に設定できます。
この製品へのお問い合わせ
関連動画
基本情報
システム駆動軸：9軸 ＜ヘキサポッドラフポジショニング＞ トラベルレンジ： X, Y, Z＝±17, ±16, ±6.5mm、θX, θY, θZ＝±10, ±10, ±21度 最小移動量：XY=0.1µm、Z=0.05µm ロータリーエンコーダ ＜ピエゾファインポジショニング＞ トラベルレンジ： X, Y, Z＝100µm 最小移動量：2.5nm 内蔵センサー ＜システム専用コントローラ＞ C-887型ヘキサポッドアナログ入力付属コントローラ＆ソフトウェア E-712型デジタルピエゾコントローラアナログ入力付属 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
価格帯
納期
用途／実績例
・シリコンフォトニクスアライメント＆組立て ・光ファイバーアライメント＆組立て ・微小部品アライメント＆組立て ・光学部品アライメント ・光学部品試験 ・各種計測
カタログ（1）
カタログをまとめてダウンロード
企業情報
ドイツ本社は50年以上、日本法人として30年の精密位置決め製品のPI社が新たなソリューションをご提案 世界シェアNo.1のピエゾステージ＆アクチュエータやヘキサポッド位置決め製品をご提供。 さらに、リニアモータ駆動製品と高精度エアベアリングステージのラインアップを充実させています。 位置決めにおいて、土台にも注意が必要で、弊社ではグラナイト定盤もご提供し、複合システムもご提案可能です。 世界中の生産現場や先端機器、様々な分野の最先端研究に 最新技術を提供している多彩なラインナップを是非ご覧下さい。