片面および両面、直立およびロープロファイル、高精度アライメントルーチン
ヘキサポッド6軸モーターステージと、XYZ軸ピエゾステージを組み合わせた高速・高精度フォトニクスアライメントシステム。 SiPhウェーハ、フォトニックデバイス、PIC、および光ファイバーに最適化されたスキャン/アライメントルーチン、強力な配列アライメントアルゴリズムで、高速・高精度、かつ同時アライメントを可能にします。 ヘキサポッドは、6軸をDCサーボモータ駆動で動作、サブミクロン位置決めが可能。 また様々なデバイスに合わせて、任意に回転中心の設定が可能です。 XYZ軸ピエゾステージは、ナノレベル位置決めが可能で、高い共振周波数で高速応答・スキャンを可能にします。 WindowsおよびLinux上のC#、Python、LabVIEW、MATLABなどの一般的な言語のサポートを含む、迅速なプロセス開発のための広範で深いソフトウェアサポート。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
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基本情報
システム駆動軸：9軸 ＜ヘキサポッドラフポジショニング＞ トラベルレンジ： X, Y, Z＝±17, ±16, ±6.5mm、θX, θY, θZ＝±10, ±10, ±21度 最小移動量：XY=0.1µm、Z=0.05µm ロータリーエンコーダ ＜ピエゾファインポジショニング＞ トラベルレンジ： X, Y, Z＝100µm 最小移動量：2.5nm 内蔵センサー ＜システム専用コントローラ＞ C-887型ヘキサポッドアナログ入力付属コントローラ＆ソフトウェア E-712型デジタルピエゾコントローラアナログ入力付属 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
価格帯
納期
用途／実績例
・シリコンフォトニクスアライメント＆組立て ・光ファイバーアライメント＆組立て ・微小部品アライメント＆組立て ・光学部品アライメント ・光学部品試験 ・各種計測
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企業情報
ドイツ本社は50年以上、日本法人として30年の精密位置決め製品のPI社が新たなソリューションをご提案 世界シェアNo.1のピエゾステージ＆アクチュエータやヘキサポッド位置決め製品をご提供。 さらに、リニアモータ駆動製品と高精度エアベアリングステージのラインアップを充実させています。 位置決めにおいて、土台にも注意が必要で、弊社ではグラナイト定盤もご提供し、複合システムもご提案可能です。 世界中の生産現場や先端機器、様々な分野の最先端研究に 最新技術を提供している多彩なラインナップを是非ご覧下さい。
