８インチWafer専用に開発したPrestige IIのコストダウンモデル。Wafer上の欠陥とムラを同時に検査することが可能。
PRESTIGE Vは既存PRESTIGE IIの廉価版製品。装置のサイズを50%ダウンし、省スペース化しました。カメラアングルは評価段階で設定し、工場出荷時に固定し、ウェハサイズに制限はあるものの検査機能はPRESTIGE IIを継承した廉価版製品になります。
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基本情報
● 高解像度仕様7μm、高スループット仕様38μmの画素分解能を用意、幅広い検査に対応 ● 照明にRGB 3色LEDを採用、パターンに応じた最適照明 ● カメラアングルを評価時に設定、装置を小型化 ● 欠陥検査とムラ検査が同時処理 ● 6/8インチ対応
価格帯
納期
用途／実績例
半導体の各製造工程、成膜、レジスト塗布、リソグラフィー、エッチング、CMPなど、ウェア上の各ダイに均一な製造工程を行いたいもの。しかしながら、現実には異物混入、パターン欠陥や膜厚などのばらつきにより、ウェハー上にムラが発生します。その各工程に自動化した検査装置を入れることにより、各工程の半導体工程作業の微調整を可能にします。また、半導体のウェハーのみならず、金属エッチング加工製品では、目視で欠陥やゆがみなどを検査しますが、それら加工製品の数量が増加すれば、目視検査での見落とし、また、人件費が膨大に膨れます。その見落としと人件費を削減するために、半導体、金属エッチング加工製品の検査工程にPrestigeを導入することにより、検査工程の見落としから費用の削減までを可能にします。
詳細情報
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外観検査装置 Prestige V
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企業情報
2008年4月に中国、杭州に設立した半導体検査装置メーカー。ウェハープローバーからテスター、ハンドラーを開発設計し、大手半導体メーカーへ供給しています。2017年には、中国、深セン株式市場に上場を果たし、2017年、台湾事務所設立、2018年7月には日本事務所を設立、2019年にはシンガポールの外観検査装置メーカー、Semiconductor Technologies & Instruments Ptd Ltdを配下に置き、2020年9月にはサトウプロダクト（株）の半導体事業部門を吸収し、検査装置メーカーの市場へより良い検査装置をご提供しております。