数百nm〜数十μmの粒子を摩擦帯電により分散、均一に散布する、散布装置です。帯電量フィードバック制御で安定した散布を実現します。
液晶パネル製造におけるスペーサ散布工程のドライ散布技術を発展させた、ナノ粒子にも対応可能な粒子の分散・散布装置です。 散布時の帯電量を元にしたフィードバック制御により、散布量の制御を行います。ノズルは固定式のマルチプレクサーノズルを使用し、ノズルを動かすことなく、各方向へ均一に粒子を散布します。また、壁面への高電圧を印加することで、粒子の壁面付着を抑え、粒子の利用効率を改善するとともに、大きなサイズのワークにおいても均一な分散性能を確保します。 100〜200mm角程度の研究開発用途からG6サイズ等の量産装置まで対応します。（クラスタークリーナー、検査装置などを組合せたインライン装置のご提案・製造も対応可能です。） 20〜30μmなどの大粒径スペーサーの散布、調光ガラス、スマートガラスなどのプロセスにも対応可能。粒子の入手などについてもご相談ください。 ※詳しくはお問い合わせください。
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基本情報
卓上型 乾式散布装置 δ−1（デルタワン） 基本構成 １ 散布チャンバー チャンバー ✕ 1式 高圧ユニット ✕ 1式（※オプション） 調整範囲 ±1〜10kv ２ 秤量ユニット 秤量器 ✕ 1式 ホッパー ✕ 1式（粒子収容器） エアー機器 ✕ 1式 操作パネル ✕ 1式 制御部 ✕ 1式 コントロールボード内蔵 ３ 粒子圧送用SUS配管 （増幅部・帯電センサー付）
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■液晶ディスプレイ材料用 試作装置 ■各種粒子の分散・散布（100nm〜） ■アルミナ・シリカ・各粒子の散布 ■粒子の積層コーティング ■粒子の定量散布 ■建築用液晶ガラス向け製造 ■調光ガラス・スマートガラスなどの研究開発・製造
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企業情報
EXTENSIVE VISION ON SYSTEM （幅広い視野に立ったシステム構築） を目的として、独自性の高い製品を作るという意味から名づけられた社名です。 現在の技術革新には目覚ましいものがあり、時代の要求は常に高度なものになっております。熟成化された今の装置産業に革命を起こすべく、常に他社との差別化をなした装置の提案を行い、産業界に貢献する会社であることが我々ゼビオスの使命だと考えております。
