a-SiC:H(堅牢膜)等のパッシベーション膜形成が可能！高密度プラズマによる表面除染
当社で取り扱う『Corial D250L/Kayen HDRF』により、 プラズマ技術のバイオ・医療への応用が可能です。 人体埋め込み型センサーや医療機器のパッシベーション膜を形成。 複雑な形状のインプラント用セラミック、金属物の 表面除染も対応可能です。 【パッシベーション膜の特長】 ■現在、業界で注目されている、以下4種の膜形成が可能 ・a-SiC:H(堅牢膜) ・a-C:H(不活性で耐摩耗性膜) ・SiN(ストレスと堅牢制御膜) ・SiO2：BioMEMS(低ストレスで高い絶縁破壊膜) ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【表面除染の特長】 ■複雑な形状のインプラントを効率的に掃除する用の高密度プラズマ ■液体除染の欠点を補うドライプロセス ■イオンフラックス制限・低温処理によるダメージの最小化 ■有機汚染・残留を除去する高密度O*プラズマ ■金属表面の酸化層を除去する高密度H*プラズマ ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■人体埋め込み型センサーや医療機器のパッシベーション膜の形成 ■インプラント用セラミック、金属物の表面除染(複雑形状可) ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
企業情報
当社は、プラズマ技術を応用したエッチング、成膜、切断装置に加え、 ICP, RIE, DSE, IBE, IBD, PECVD, HDPCVD, HDRF F.A.S.T.-ALD装置の販売、 並びに、当該装置に関するカスタマーサービスの提供しております。 米国フロリダ州に本社を構える、Plasma-Therm LLCは、1974年に設立。 設立以来、48年間プラズマ技術を応用した半導体製造装置の製造・販売を 行っています。 ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。 ▼グループ会社Corial 公式サイト https://corial.plasmatherm.com/en