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AOP-PCI

最終更新日:2025年05月16日

マーポス株式会社
マーポス株式会社
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要求の厳しい複雑な表面測定に対応する高精度3D表面計測

AOP-PCI(プローブカード検査)は、プローブカードを総合的にチェックするための多機能、非接触、非破壊検査ツールです。 エアベアリングステージと最先端クラスのセンサーおよびビジョンシステムを組み合わせることで、フルサイズのスクエアダイレクト ドックプローブカードでも、プローブカードの先端、ヘッド形状、PCB表面の高精度データを取得できます。 さらに、専用の測定アルゴリズムにより、データ取得と分析の両方のルーチンをシームレスに実行可能です。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

    ウエハー半導体検査/試験装置その他計測・記録・測定器
Solarius_AOPPCI_00s.jpg

プローブカード検査『AOP-PCI』

Solarius_AOPPCI_00s.jpg
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  • SOLARIUS(ソラリウス) AOP-PCI
  • 特設サイト - 製品・サービス詳細 - https://pr.mono.ipros.com/marposs/product/

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基本情報

解像度:横方向解像度:1 μm 以上、垂直方向解像度 1 nm 以上 スキャン速度:処理時間 30 x 30 mm プローブチップアレイ:4分未満(高解像度)、処理時間 80 x 80 mm プローブヘッド形状:3分未満(低解像度) 寸法:受注生産 変更時間(異なる種類のプローブカード間):2分未満 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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用途/実績例

<代表的なアプリケーション> • プローブチップ/ピン検査 高さ、直径、位置ずれ、プレゼンス、破片/粒子、共平面性、損傷、傾き • プローブヘッド検査 - 緩み/欠けネジ 輪郭、形状、破片/粒子、欠陥/損傷の検出 • PCB 検査 形状、欠落した部品、共平面性、破片/粒子、欠陥 • プローブマーク検査 深さ、位置、パッドエッジの損傷、形状、粒子 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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プローブカード検査『AOP-PCI』

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この製品に関するニュース(1)

SEMICON JAPAN 2024 出展のご案内

  • セミナー・イベント

弊社は2024年12月11日(水)より東京ビッグサイトで開催される 「SEMICON JAPAN 2024」 に出展いたします。(ブース番号:2705) 本展示会では、日々進化を遂げる半導体製造プロセスの信頼性、半導体性能の向上に寄与する半導体産業専用アプリケーション及び非接触式測定器をご紹介いたします。 是非弊社のブースにお立ち寄りの上、ぜひご覧頂きたくご案内申し上げます。 展示製品: ・非接触式厚さ測定ゲージ(インターフェロメトリ技術) ・接触式/非接触式(コンフォーカル技術)ハイブリッドアプリケーション ・光学式3D表面粗さ・形状測定器 ・プローブカード検査向けハイエンド3D表面計測 ・ダイシング工程向けビジュアルブレード検査システム

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マーポス株式会社

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マーポス株式会社は、世界のものづくりのパートナーを目指すイタリアのマーポスグループの日本法人として1970年に設立されました。 製造工程における機械加工中、加工後に使用する精密測定、検査及びプロセス管理システムを国内50年以上にわたりご提供しています。 ICE(内燃機関車)およびEV(電気自動車)ともに大手自動車メーカーのメインサプライヤーであり、半導体、航空宇宙、医療分野、エネルギー、家電業界へもサービスを展開しています。 お客様の規模や業種にかかわらず、品質向上、合理化、フレキシブル化、生産性向上のためにマーポスの技術とノウハウをもって果敢に貢献しつづけます。 さらに、マーポスの企業理念に則りトータル・クオリティの向上を追い求め、ISO 9001:2015の認証を受け、日本での設計、製造、組立も行っています。 国内に6ヶ所、海外に2ヶ所の拠点があり、地域のお客様に密接したサービスを提供しています。

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