半導体製造プロセスの工程と品質管理に欠かせない分析法
プロセス分析計での包括的な測定例を一覧で紹介
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基本情報
メトロームの分析機器を使用し、分析可能なパラメータをまとめたものです。より詳細な情報は、リンク先のメトロームアプリケーションドキュメント(リンク)をご覧いただくか、メトロームジャパンまでお問い合わせください。
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用途／実績例
●滴定：、純粋な酸および塩基の定量、ならびにエッチング液中の個々の酸濃度の定量 ●イオンクロマトグラフィ：、酸、有機溶媒、および高純度水中のイオン性不純物を定量 ●CVSとボルタンメトリー：、銅めっき浴中の有機添加剤（すなわち、抑制剤、光沢剤、および平滑剤）を分析 ●近赤外分光：、エッチング液の品質を評価 ●ラマン分光：洗浄液およびエッチング液の非破壊リ アルタイムモニタリング ●プロセス分析：水の純度、エッチング液中の酸およびめっき浴中の金属含有量など、各種パラメータをオンラインでモニタリング
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企業情報
スイスのヘリザウに本社を置くメトローム社は、70年以上の歴史を持つイオン分析に特化した分析機器のリーディングカンパニーです。世界140か国以上で製品とサービスを提供しています。長年培われたスイスの技術をベースに、装置は3年保証を実現しています。
