半導体製造プロセスの工程と品質管理に欠かせない分析法を紹介した技術資料
プロセス分析計での包括的な測定例を一覧で紹介
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基本情報
メトロームの分析機器を使用し、分析可能なパラメータをまとめたものです。より詳細な情報は、リンク先のメトロームアプリケーションドキュメント(リンク)をご覧いただくか、メトロームジャパンまでお問い合わせください。
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用途／実績例
●滴定：、純粋な酸および塩基の定量、ならびにエッチング液中の個々の酸濃度の定量 ●イオンクロマトグラフィ：、酸、有機溶媒、および高純度水中のイオン性不純物を定量 ●CVSとボルタンメトリー：、銅めっき浴中の有機添加剤（すなわち、抑制剤、光沢剤、および平滑剤）を分析 ●近赤外分光：、エッチング液の品質を評価 ●ラマン分光：洗浄液およびエッチング液の非破壊リ アルタイムモニタリング ●プロセス分析：水の純度、エッチング液中の酸およびめっき浴中の金属含有量など、各種パラメータをオンラインでモニタリング
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企業情報
スイス・ヘリザウに本社を置くメトローム社は、70年以上にわたりイオン分析を中心とした分析機器の開発・製造を行うリーディングカンパニーです。イオンクロマトグラフィー、電位差滴定、カールフィッシャー水分測定、ラマン分光分析など、高精度な測定技術を核とした幅広い製品群を、世界140か国以上のお客様へお届けしています。日本法人であるメトロームジャパン株式会社は、スイス本社で培われた高い技術力と品質を背景に装置の3年保証を実現するとともに、環境、食品、医薬品、半導体、化学など幅広い分野のお客様に対し、販売からアプリケーション相談、導入後のメンテナンス・サービスまで、メーカーならではのきめ細やかなサポート体制で対応しています。
