半導体製造プロセスの工程と品質管理に欠かせない分析法を紹介した技術資料
プロセス分析計での包括的な測定例を一覧で紹介
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基本情報
メトロームの分析機器を使用し、分析可能なパラメータをまとめたものです。より詳細な情報は、リンク先のメトロームアプリケーションドキュメント(リンク)をご覧いただくか、メトロームジャパンまでお問い合わせください。
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用途／実績例
●滴定：、純粋な酸および塩基の定量、ならびにエッチング液中の個々の酸濃度の定量 ●イオンクロマトグラフィ：、酸、有機溶媒、および高純度水中のイオン性不純物を定量 ●CVSとボルタンメトリー：、銅めっき浴中の有機添加剤（すなわち、抑制剤、光沢剤、および平滑剤）を分析 ●近赤外分光：、エッチング液の品質を評価 ●ラマン分光：洗浄液およびエッチング液の非破壊リ アルタイムモニタリング ●プロセス分析：水の純度、エッチング液中の酸およびめっき浴中の金属含有量など、各種パラメータをオンラインでモニタリング
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企業情報
スイスのヘリザウに本社を置くメトローム社は、70年以上の歴史を持つイオン分析に特化した分析機器のリーディングカンパニーです。世界140か国以上で製品とサービスを提供しています。長年培われたスイスの技術をベースに、装置は3年保証を実現しています。
