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【半導体向け】クーラント精密濾過装置で歩留まり改善

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最終更新日:2026年01月05日

濾過精工株式会社
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1μm濾過!半導体製造の歩留まり向上に貢献

半導体業界では、高品質な製品を安定的に製造するために、加工精度の維持が重要です。クーラント液中の異物は、加工不良や製品の性能劣化を引き起こし、歩留まりを低下させる可能性があります。当社のクーラント精密濾過装置は、1μmの濾過精度で、クーラント液を清浄に保ち、加工精度を安定させ、歩留まり向上に貢献します。 【活用シーン】 ・半導体製造工程における研削、研磨、切削加工 ・加工精度の安定化 ・不良率の低減 【導入の効果】 ・加工不具合の減少 ・不良率の低減 ・製品品質の向上

    研削盤ウエハ加工/研磨装置その他半導体製造装置
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【半導体向け】クーラント精密濾過装置で歩留まり改善

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基本情報

【特長】 ・1μmの濾過精度 ・大流量対応 ・特許取得の逆洗浄システムによるランニングコスト削減 ・水溶性・油性クーラント液に対応 ・新規・既設の加工機に取り付け可能 【当社の強み】 当社は、精密機械用クーラントに特化した高性能ろ過システムの開発と普及に取り組んできました。大手レンズメーカー様、大手精密電子メーカー様、自動車部品メーカー様をはじめ、さまざまな分野の企業様にご採用いただいております。クーラントシステム全体のご提案、スラッジ(加工屑)の回収処理についても積極的にご提案しています。

用途/実績例

※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

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当社は、クーラント(加工液)のなかでも精密機械用クーラントに特化した 高性能ろ過システムの開発と普及に取り組んできました。 近年では、精密ろ過装置だけでは無く、経験により積み上げたノウハウを活かし、クーラントタンク製造含め、クーラントシステム全体をご提案しております。 スラッジ(加工屑)の回収処理についても、積極的にご提案しています。 《ROKA》の[精密クーラントろ過システム]は、大手レンズメーカー様、 大手精密電子メーカー様、自動車部品メーカー様をはじめ、さまざまな分野の 企業様にご採用いただき、加工精度や生産効率の向上はもちろんのこと、 廃棄コストの軽減と環境負荷の抑制にも大きく貢献しています。

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