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レジスト剥離装置(ストリッピング)|厚膜・強固な剥離残りを一掃

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TSK Schill GmbH

最終更新日:2026年03月21日

ワールドリンク合同会社
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厚膜レジストや強固なドライフィルムも完全に除去。基板ダメージを抑えつつ、剥離残りを防ぎ後工程の歩留まりを最大化します。

・難剥離レジストへの対応力  パワー半導体用の厚膜レジストや、熱履歴を受けた強固なフィルムでも、高圧スプレーと最適な液温度管理でスピード剥離。 ・基板・回路への低攻撃性  物理的なブラシを使わない非接触洗浄プロセスにより、微細な銅回路の脱落や基板表面の傷を徹底排除。 ・薬液寿命の延長とコストダウン  メンテナンス性の高さにより、長期にわたって安定した薬液パフォーマンスを維持 ・最新の振動メッシュ・ドラムフィルターにより、微細パターンの隙間のレジストまで確実に除去 。 世界中で750台以上の稼働実績を誇るHöllmüller by TSKの標準機です 。 「世界トップクラスの半導体メーカーである独インフィニオン(Infineon Technologies)社をはじめ、グローバル大手企業に多数の採用実績を持つ独TSK Schill社 。その厳しい品質基準を支える水平型ウェットプロセス技術を継承したのが、この『Höllmüller STRIP』です 。高アスペクト比の構造内でも残渣(ざんさ)ゼロの剥離を実現し、次世代基板の歩留まり向上に直結します 。」

    基板加工機
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レジスト剥離装置(ストリッピング)|厚膜・強固な剥離残りを一掃

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基本情報

- レジストの剥離 - 傾斜式・振動メッシュユニットやドラムフィルターによるレジスト除去 - ノズルはクイックリリース式インラインフィルターで保護 - 乾いたレジストを確保できる 2分割バスケット付き回収ユニット - オプション:高圧セクション - オプション:ドラムフィルターシステム/レジスト脱水ステーション - オプション:自動レジスト処理ステーション - 一体型ポストストリッパーセクション

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用途/実績例

> 世界中で 750台以上のストリッピングマシンが稼働中 ・プリント基板(PCB)や各種表面へのフォトレジスト剥離 ・高アスペクト比を持つ微細構造の洗浄・剥離 ・フレキシブル材料およびリール to リール(RtoR)生産ライン

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当社は、PCB(プリント回路版)製造機器メーカーである 「Photonics Systems Group GmbH」「TSK Schill GmbH」の日本正規代理店です。 今お使いの他社製ラインへのモジュール追加や、部分的な改善のご相談も承ります。 主要スペアパーツ(ノズルマニホールド・ポンプ・フィルター等)を 国内常備→最短即日発送など、日本国内だから実現できる、 圧倒的なサポートスピード。 「もっと均一性を上げたい」「極薄材で液ムラがどうしても出る」 「メンテに時間がかかりすぎている」「もっと早く細くビアを開けたい」 そんなお悩みを、PSG x TSK Schill×ワールドリンクが一気に解決します。

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