緻密な塗膜でイオン溶出や不純物の発生を抑制。厳しいクリーンネスが求められる環境の表面処理をサポート。
■プロセスの高純度化を損なわずに、装置パーツへ強靭な耐薬品・防食性をプラス 最先端の半導体製造分野では、極めて高い薬品耐性に加え、微小粒子の発生（低パーティクル性）や不純物の溶出を限界まで抑える非汚染性が厳格に求められます。わずかなコンタミがウエハの欠陥や製品歩留まりの低下に直結するため、使用する表面処理の選定には細心の注意が必要です。 当社のフッ素樹脂PFAコーティングは、加熱溶融時の滑らかな流動特性を活かし、ボイド（空隙）やピンホールを徹底して抑えた連続皮膜を成膜。 腐食性ガスや強薬液の浸透を遮断し、金属基材からのイオン溶出やガス放出リスクの低減を支援します。 ■プロセス汚染の防止と稼働安定へのメリット 【クリーンな環境の維持に貢献】 樹脂自体の純度が高く、経時劣化による微細な剥離やパーティクルの発生抑制に努めます。 【過酷な薬液環境での母材保護】 フッ酸や強アルカリ洗浄液が接触する部位でも、下地金属の腐食を穏やかにガード。 実稼働におけるガス条件や温度変化に応じた最適仕様の選定から、評価用の試作検証まで、丁寧に対応いたします。
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基本情報
■ピンホールを抑えた緻密なバリア層で、精密基材の汚染リスクを和らげるコーティング仕様 テトラフルオロエチレンとパーフルオロアルキルビニルエーテルの共重合体（PFA）を用い、半導体製造環境に適した高純度な保護膜を定着するフッ素樹脂コーティング技術です。 ■半導体分野向け受託加工の特長 【隙間のない平滑な成膜構造】 溶融流動性に優れたフッ素樹脂の性質を活かし、ミクロな隙間を埋めることでガス透過や液溜まりの抑制に貢献。 【アルミニウムや精密金属への適応】 装置内部で多用される精密アルミニウムパーツや、各種薄板金属への施工に対応。熱歪みを抑えた管理体制で施工。 【膜厚コントロールによる高絶縁・防食】 複数回の重ね塗りによる厚膜化が可能。要求される耐電圧や防食レベルに応じた膜厚設計を後押し。 薬品環境や熱サイクルが複合する条件下でも、被膜の密着性を保ち、装置部品の長期信頼性維持に努めます。
価格帯
納期
※基材の形状・サイズ・数量により、納期は変動します。詳しくは当社までお問い合わせください。
用途／実績例
■金属イオンの溶出とガス透過をクリアし、チャンバー周辺の非汚染性を導いた施工事例 腐食性ガスへの耐性と低アウトガス性が重視される、前工程・後工程の各種装置パーツや薬液ラインに採用されています。 ■主な半導体関連用途と対象製品 【ガス・薬液接触パーツ】 アルミニウム製等のガス排気ダクト、バルブボディ、マニホールド（腐食抑制、コンタミ防止） 【ウエハ搬送・治具周辺】 搬送アームの爪、ワーク保持プレート、位置決めピン（非粘着性の付与、傷付き・付着防止） 【洗浄・ウエットプロセス】 各種処理槽、攪拌インペラ、液送り配管の内面（強酸・強アルカリ液に対する防食対策） ■導入によって期待できる効果 【製品歩留まりの安定化】 表面からの不純物溶出や塗膜片の飛散を抑え、クリーンなチャンバー内環境の維持をサイドアップ。 【メンテナンスサイクルの長期化】 フッ素樹脂特有の非粘着・滑り性により、薬液や汚れの拭き取り清掃が容易になり、装置のダウンタイム短縮を支援。
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この製品に関するニュース（2）
企業情報
■機能性コーティングの受託加工メーカー 各種産業部品へのフッ素樹脂やPEEKコーティングなどの機能性コーティングの加工を行う専門メーカーです。 私たちは、ただ指示通りに塗るだけの加工業者ではありません。製造現場の「くっつく！」「滑らない！」「すぐ摩耗する！」といった頑固な表面のお悩みを、一緒に頭を悩ませて解決する一番身近な技術パートナーでありたいと考えています。 ■部品の課題を独自の表面処理で解決 非粘着性、耐食性、耐熱性、すべり性、帯電防止など、多様な機能をプラス。製造装置の長寿命化や、現場のメンテナンスの手間を減らすお手伝いをします。 ■関東エリアを中心に全国対応！ 埼玉県春日部市の工場を拠点に、関東全域（東京、神奈川、千葉、茨城、栃木、群馬）から全国までスピーディに対応。 ■表面のお悩みは日建塗装工業までご相談ください！ ・今のコーティングに満足していない ・環境規制（PFAS）に合う処理を探している など、図面段階の「こんなことできる？」から試作、量産まで一貫対応いたします。表面のガッカリをスッキリに変えるため、ぜひお気軽にご相談ください！
