【キズ・コンタミ対策】優れた非粘着性でスラリーの乾燥による固着を抑制！高耐食＆高純度被膜で歩留まり向上に貢献。
半導体製造のCMP（化学機械研磨）工程において、ウエハの歩留まり低下を引き起こす大きな要因が「固着スラリーの脱落によるスクラッチキズ」と「薬液腐食によるイオン汚染（金属コンタミ）」です。 ■固着したスラリーによるスクラッチトラブル 装置部品へ飛散したスラリーが乾燥・固着して剥がれ落ちると、研磨面に巻き込まれてデリケートなウエハ表面を傷つけてしまう場合があります。 ■薬液腐食によるコンタミ 強酸・強アルカリ薬液による基材の腐食は、回路特性を破壊する汚染不純物の発生源となります。 ■スラリーの固着防止・部品の耐食性向上に 当社の「フッ素樹脂 PFAコーティング」は、これら品質課題を解決する高機能表面処理ソリューションです。 優れた「非粘着性・撥水性」により、粘度の高いスラリーの付着を防止。万が一乾燥しても固着せず、容易に除去可能です。さらに、薬品に対して不活性な高い「耐薬品性・耐食性」を備えており、金属溶出やイオン汚染のリスクを低減します。高純度かつ滑らかな被膜がパーティクル発生も抑え、CMP工程における良品率の最大化に直結します。
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基本情報
【機能特性】 ■ 超非粘着・撥水性 粘着性スラリーの付着・乾燥固着を激減 ■ 卓越した耐薬品性・耐食性 強酸・強アルカリ薬液環境下でも基材を強力に保護 ■ 高純度・低発塵性 金属イオンの溶出を防止し、摩耗パーティクルを抑制 【対象基材・適用部位】 ■ 装置ヘッドパーツ、周辺カバー、スラリー供給・排液流路部品など ■ アルミニウム、ステンレス（SUS）等の各種金属基材 【塗膜・対応体制】 ■ 処理方式：フッ素樹脂 PFA焼付コーティング ■ テスト施工：顧客指定の薬品種・使用条件に応じたPFAグレードの選定および試作（テスト施工）対応可能
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■ 半導体製造装置（CMP装置、洗浄装置、エッチング装置など）の液接部・飛散部 ■ 薬品流路配管、配管継手、耐食カバー、各種ヘッド部品 【採用実績・導入効果】 ■ 課題：CMP装置ヘッドパーツへのスラリー固着・脱落による、ウエハのスクラッチ（キズ）不良と、薬液腐食による金属汚染リスク。 ■ 導入後：ヘッドパーツにPFAコーティングを適用した結果、スラリーの乾燥固着がほぼゼロに低減。スラリー脱落に伴う巻き込みトラブルが解消され、ウエハのキズ不良発生率が大幅に低下しました。 ■ 効果：研磨プロセスの安定化により製品歩留まりが大幅向上。高純度被膜により金属イオン汚染リスクもシャットアウトされました。
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企業情報
■機能性コーティングの受託加工メーカー 各種産業部品へのフッ素樹脂やPEEKコーティングなどの機能性コーティングの加工を行う専門メーカーです。 私たちは、ただ指示通りに塗るだけの加工業者ではありません。製造現場の「くっつく！」「滑らない！」「すぐ摩耗する！」といった頑固な表面のお悩みを、一緒に頭を悩ませて解決する一番身近な技術パートナーでありたいと考えています。 ■部品の課題を独自の表面処理で解決 非粘着性、耐食性、耐熱性、すべり性、帯電防止など、多様な機能をプラス。製造装置の長寿命化や、現場のメンテナンスの手間を減らすお手伝いをします。 ■関東エリアを中心に全国対応！ 埼玉県春日部市の工場を拠点に、関東全域（東京、神奈川、千葉、茨城、栃木、群馬）から全国までスピーディに対応。 ■表面のお悩みは日建塗装工業までご相談ください！ ・今のコーティングに満足していない ・環境規制（PFAS）に合う処理を探している など、図面段階の「こんなことできる？」から試作、量産まで一貫対応いたします。表面のガッカリをスッキリに変えるため、ぜひお気軽にご相談ください！
