ガス配管コンポーネント保護用ガスケット付きメタルフィルター
■配管の面シール継手部のガスケットとして単体で装着出来ます。 ■既存の配管にも改造無しで取り付けることが出来ます。
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基本情報
半導体製造ガスラインなどに用いられる(株)ピュアロンジャパン製ハイブリッドフィルターです。ガスケット型ガスフィルターを精密濾過精度のガスフィルターの入口/出口の継手部に装着することでハイブリットとし、0.3μm以上又は1μm以上の配管中の大きなパーティクルを粗取りすることで、精密濾過ガスフィルターやマスフローコントローラーの目詰まり防止に加え、メタルシールバルブ等のシール不良による出流れ防止に効果を発揮します。 ■フィルターメディアは、SUS316L製です。 ■ガスケットの材質は、SUS316L又はニッケルです。
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納期
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用途/実績例
半導体製造ガスライン、ガスキャビネット、半導体製造装置など
ラインアップ(2)
型番 | 概要 |
---|---|
PGH-**** | 口径1/4”タイプ用(リテイナー無し・有り 各種) |
PGH-**** | 口径3/8”および1/2”タイプ共通(リテイナー有り・無し各種) |
カタログ(1)
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株式会社ピー・ジェイは、(株)ピュアロンジャパンの総販売元として設立されました。(株)ピー・ジェイは全力を尽くしてピュアロン製品を世界に発信して参ります。 取扱商品 1.(株)ピュアロンジャパン製品全て ・セラミックガスフィルター ・メタルガスフィルター ・ハステロイガスフィルター ・PTFEガスフィルター ・ハイブリッドフィルター ・ガス精製器 ・ヒーター ・リキッドフィルター ・圧力センサー ・表示器 ・温度センサー ・微差圧計 ・比抵抗率計 ・デジタルフローコントロールシステム 2.半導体製造装置用及び一般産業機器向け流体制御機器部品